MicroLED微显示芯片及其制造方法技术

本申请披露了一种Micro LED微显示芯片及其制造方法，该Micro LED微显示芯片包括：驱动面板；多个LED单元，排布在所述驱动面板上，所述多个LED单元具有一一对应的多个LED台面，每一所述LED单元能够由所述驱动面板单独驱动；具有多个栅格孔的栅栏结构，所述多个栅格孔分别围绕所述多个LED台面设置，所述LED台面与对应的所述栅格孔之间形成凹陷区域；波长转换层设置于栅栏结构上，所述波长转换层包括第一波长转换层，所述第一波长转换层具有多个第一波长转换单元，所述第一波长转换单元填充对应的所述凹陷区域，所述LED单元发射第一颜色光，所述第一波长转换单元将所述第一颜色光转换为第二颜色光。第二颜色光。第二颜色光。

【技术实现步骤摘要】
Micro LED微显示芯片及其制造方法


[0001]本申请实施例涉及LED显示
，并且更为具体地，涉及一种Micro LED微显示芯片及其制造方法。

技术介绍

[0002]现代社会已经进入信息化并向智能化方向发展，显示是实现信息交换和智能化的关键环节。在目前众多显示技术中，Micro LED显示技术被认为是具有颠覆性的下一代显示技术，并受到了广泛关注。Micro LED显示技术是一种自发光显示技术，通过将阵列化的微米级LED单元（也称LED发光单元）集成在有源寻址驱动面板上，以实现单独控制和点亮，从而输出显示图像。
[0003]随着Micro LED微显示技术的出现，使得显示设备如增强现实（augmented reality，AR）显示设备、虚拟现实（virtual reality，VR）显示设备、近眼显示（near
‑
eye display，NED）以及抬头显示（head up display，HUD）设备等的微型化和高分辨率成为可能。
[0004]Micro LED微显示芯片一般会包括多个LED自发光单元，但是，在工作过程中，LED单元发出光比较分散或波长转换材料较少，从而导致Micro LED微显示芯片中波长转换层的波长转换效率较低。

技术实现思路

[0005]本申请实施例提供一种Micro LED微显示芯片及其制造方法。下面对本申请实施例涉及的各个方面进行介绍。
[0006]第一方面，提供一种Micro LED微显示芯片，包括：驱动面板；多个LED单元，排布在所述驱动面板上，所述多个LED单元具有一一对应的多个LED台面，每一所述LED单元能够由所述驱动面板单独驱动；具有多个栅格孔的栅栏结构，所述多个栅格孔分别围绕所述多个LED台面设置，所述LED台面与对应的所述栅格孔之间形成凹陷区域；波长转换层设置于栅栏结构上，所述波长转换层包括第一波长转换层，所述第一波长转换层具有多个第一波长转换单元，所述第一波长转换单元填充对应的所述凹陷区域，所述LED单元发射第一颜色光，所述第一波长转换单元将所述第一颜色光转换为第二颜色光。
[0007]作为一种可能的实现方式，所述第一波长转换层的上部设置有第一滤光层，所述第一滤光层用于过滤其他颜色光并使所述第二颜色光通过。
[0008]作为一种可能的实现方式，所述波长转换层还包括第二波长转换层，所述第二波长转换层具有多个第二波长转换单元，所述第二波长转换单元填充对应的所述凹陷区域，所述第二波长转换单元将所述第一颜色光转换为第三颜色光。
[0009]作为一种可能的实现方式，所述第二波长转换层上设置有第二滤光层，所述第二滤光层用于过滤其他颜色光并使所述第三颜色光通过。
[0010]作为一种可能的实现方式，所述波长转换层还包括第三波长转换层，所述第三波
长转换层具有多个第三波长转换单元，所述第三波长转换单元填充对应的所述凹陷区域，所述第三波长转换单元将所述第一颜色光转换为第四颜色光。
[0011]作为一种可能的实现方式，所述第三波长转换层的上部设置有第三滤光层，所述第三滤光层用于过滤其他颜色光并使所述第四颜色光通过。
[0012]作为一种可能的实现方式，所述波长转换层的材料包括波长转换粒子以及光刻胶，所述波长转换粒子为荧光粉和/或量子点。
[0013]作为一种可能的实现方式，所述波长转换层的顶表面齐平或低于所述栅栏结构的顶表面。
[0014]作为一种可能的实现方式，所述栅栏结构的表面设置有反光层，所述反光层设置在所述栅格孔的侧壁和所述栅栏结构的顶表面。
[0015]作为一种可能的实现方式，所述LED单元的尺寸为0.1
‑
10微米。
[0016]第二方面，提供一种制造Micro LED微显示芯片的方法，包括：提供一驱动面板；在所述驱动面板上形成多个LED单元，所述多个LED单元具有一一对应的多个LED台面，每一所述LED单元能够由所述驱动面板单独驱动；形成具有多个栅格孔的栅栏结构，所述多个栅格孔分别围绕所述多个LED台面设置，所述LED台面与对应的所述栅格孔之间形成凹陷区域；在所述栅栏结构上形成波长转换层，所述波长转换层包括第一波长转换层，所述第一波长转换层具有多个第一波长转换单元，所述第一波长转换单元填充对应的所述凹陷区域，所述LED单元发射第一颜色光，所述第一波长转换单元将所述第一颜色光转换为第二颜色光。
[0017]作为一种可能的实现方式，在所述栅栏结构上形成波长转换层，包括：在所述栅栏结构上形成第一波长转换材料层；根据图形化掩膜，对所述第一波长转换材料层进行曝光显影，以形成所述第一波长转换层。
[0018]作为一种可能的实现方式，所述方法还包括：在所述第一波长转换层的上部形成第一滤光层，所述第一滤光层用于过滤其他颜色光并使所述第二颜色光通过。
[0019]作为一种可能的实现方式，在所述栅栏结构上形成波长转换层，包括：在所述栅栏结构上形成第二波长转换材料层；根据图形化掩膜，对所述第二波长转换材料层进行曝光显影，以形成第二波长转换层；其中，所述第二波长转换层具有多个第二波长转换单元，所述第二波长转换单元填充对应的所述凹陷区域，所述第二波长转换单元将所述第一颜色光转换为第三颜色光。
[0020]作为一种可能的实现方式，所述方法还包括：在所述第二波长转换层的上部形成第二滤光层，所述第二滤光层用于过滤其他颜色光并使所述第三颜色光通过。
[0021]作为一种可能的实现方式，在所述栅栏结构上形成波长转换层，包括：在所述栅栏结构上形成第三波长转换材料层；根据图形化掩膜，对所述第三波长转换材料层进行曝光显影，以形成第三波长转换层；其中，所述第三波长转换层具有多个第三波长转换单元，所述第三波长转换单元填充对应的所述凹陷区域，所述第三波长转换单元将所述第一颜色光转换为第四颜色光。
[0022]作为一种可能的实现方式，所述方法还包括：在所述第三波长转换层的上部形成第三滤光层，所述第三滤光层用于过滤其他颜色光并使所述第四颜色光通过。
[0023]作为一种可能的实现方式，在所述栅栏结构上形成波长转换层之前，所述方法还包括：在所述多个栅格孔的栅栏结构表面形成反光层。
[0024]作为一种可能的实现方式，在所述栅栏结构表面形成反光层，包括：在所述多个LED台面和所述栅栏结构之上形成反光材料层；对所述多个LED台面上的反光材料层进行刻蚀去除，以在所述栅格孔的侧壁和所述栅栏结构的顶表面形成所述反光层。
[0025]作为一种可能的实现方式，在所述驱动面板上形成多个LED单元，包括：在所述驱动面板上形成LED外延层；根据图形化掩膜设计的MESA图形，对所述LED外延层进行刻蚀，以形成所述多个LED单元。
[0026]本申请实施例中的Micro LED微显示芯片，包括多个LED单元、具有多个栅格孔的栅栏结构和波长转换层。多个LED单元具有一一对应的多个LED台面，多个栅格孔分别围绕该多个LED台面设置，且L本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种Micro LED微显示芯片，其特征在于，包括：驱动面板；多个LED单元，排布在所述驱动面板上，所述多个LED单元具有一一对应的多个LED台面，每一所述LED单元能够由所述驱动面板单独驱动；具有多个栅格孔的栅栏结构，所述多个栅格孔分别围绕所述多个LED台面设置，所述LED台面与对应的所述栅格孔之间形成凹陷区域；波长转换层设置于栅栏结构上，所述波长转换层包括第一波长转换层，所述第一波长转换层具有多个第一波长转换单元，所述第一波长转换单元填充对应的所述凹陷区域，所述LED单元发射第一颜色光，所述第一波长转换单元将所述第一颜色光转换为第二颜色光。2.根据权利要求1所述的Micro LED微显示芯片，其特征在于，所述第一波长转换层的上部设置有第一滤光层，所述第一滤光层用于过滤其他颜色光并使所述第二颜色光通过。3.根据权利要求1所述的Micro LED微显示芯片，其特征在于，所述波长转换层还包括第二波长转换层，所述第二波长转换层具有多个第二波长转换单元，所述第二波长转换单元填充对应的所述凹陷区域，所述第二波长转换单元将所述第一颜色光转换为第三颜色光。4.根据权利要求3所述的Micro LED微显示芯片，其特征在于，所述第二波长转换层上设置有第二滤光层，所述第二滤光层用于过滤其他颜色光并使所述第三颜色光通过。5.根据权利要求3所述的Micro LED微显示芯片，其特征在于，所述波长转换层还包括第三波长转换层，所述第三波长转换层具有多个第三波长转换单元，所述第三波长转换单元填充对应的所述凹陷区域，所述第三波长转换单元将所述第一颜色光转换为第四颜色光。6.根据权利要求5所述的Micro LED微显示芯片，其特征在于，所述第三波长转换层的上部设置有第三滤光层，所述第三滤光层用于过滤其他颜色光并使所述第四颜色光通过。7.根据权利要求1所述的Micro LED微显示芯片，其特征在于，所述波长转换层的材料包括波长转换粒子以及光刻胶，所述波长转换粒子为荧光粉和/或量子点。8.根据权利要求1所述的Micro LED微显示芯片，其特征在于，所述波长转换层的顶表面齐平或低于所述栅栏结构的顶表面。9.根据权利要求1所述的Micro LED微显示芯片，其特征在于，所述栅栏结构的表面设置有反光层，所述反光层设置在所述栅格孔的侧壁和所述栅栏结构的顶表面。10.根据权利要求1所述的Micro LED微显示芯片，其特征在于，所述LED单元的尺寸为0.1
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10微米。11.一种制造Micro LED微显示芯片的方法，其特征在于，包括：提供一驱动面板；在所述驱动面板上形成多个LED单元，所述多个LED单元具有一一对应的多个LED台面，每一所述LED单元能够由所述驱动面板单独驱动；形成具有多个栅格孔的栅栏结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：张闹，庄永漳，张超，曾鸿图，仉旭，
申请(专利权)人：镭昱光电科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：