微型发光二极管显示器件及制备方法技术

本申请公开了微型发光二极管显示器件及制备方法，包括：驱动基板、多个LED单元、阻挡层、反射层和键合层；驱动基板包括多个触点；LED单元阵列排布于驱动基板上，与对应的触点连接，且LED单元通过对应的触点单独被驱动；阻挡层具有多个阵列排布且贯穿的开口，开口与LED单元对应设置；反射层包括反射单元和与反射单元连接的连接单元，反射单元位于驱动基板和阻挡层之间，连接单元填充于开口并用于与LED单元连接；键合层位于反射层和驱动基板之间。本申请通过设置阻挡层，防止LED单元刻蚀过程中刻蚀物质与反射层反应造成的金属刻蚀或溢出，避免反射层的金属迁移造成的漏电或短路问题，能够提高LED单元的制备良率。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于微显示，具体涉及一种微型发光二极管显示器件及制备方法。

技术介绍

1、micro led又称微型发光二极管，是指由led像素点高密度集成的led阵列，每一个led像素点都能自发光。在micro led制程中，为了增加led像素点的出光效率，需要在led像素点和驱动基板之间增加一层反射镜以提高led像素点的底部对光的反射效果。led像素点可以通过干法或湿法化学刻蚀形成，但刻蚀过程中，刻蚀物质容易与反射镜结构的材质反应从而造成金属的腐蚀或溢出，影响反射镜的反射效果并可能造成显示器件的漏电或短路，影响系统可靠性。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种微型发光二极管显示器件及制备方法，通过引入阻挡层提高刻蚀工艺窗口，抑制刻蚀气体与反射层金属反应造成的金属溢出。

2、技术方案：本申请提供一种微型发光二极管显示器件，包括：

3、驱动基板，所述驱动基板包括驱动电路和与所述驱动电路连接的多个触点；

4、多个led单元，阵列排布于所述驱动基板上，所述led单元与对应的所述触点本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.微型发光二极管显示器件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的微型发光二极管显示器件，其特征在于，所述触点位于相邻的所述LED单元之间，所述触点上设有沿所述驱动基板厚度方向依次贯穿所述阻挡层、所述反射单元和所述键合层的第一通孔；

3.根据权利要求2所述的微型发光二极管显示器件，其特征在于，所述LED单元为台阶结构，所述台阶结构包括第一掺杂型半导体层、第二掺杂型半导体层和位于两者之间的有源层；所述台阶结构至少使相邻的LED单元的第二掺杂型半导体层和有源层分别相互断开且电隔离；

4.根据权利要求2所述的微型发光二极管显示器件，其特征在于，还包括：...

【技术特征摘要】

1.微型发光二极管显示器件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的微型发光二极管显示器件，其特征在于，所述触点位于相邻的所述led单元之间，所述触点上设有沿所述驱动基板厚度方向依次贯穿所述阻挡层、所述反射单元和所述键合层的第一通孔；

3.根据权利要求2所述的微型发光二极管显示器件，其特征在于，所述led单元为台阶结构，所述台阶结构包括第一掺杂型半导体层、第二掺杂型半导体层和位于两者之间的有源层；所述台阶结构至少使相邻的led单元的第二掺杂型半导体层和有源层分别相互断开且电隔离；

4.根据权利要求2所述的微型发光二极管显示器件，其特征在于，还包括：

5.根据权利要求1所述的微型发光二极管显示器件，其特征在于，所述开口的面积为s1μm2，所述阻挡层的厚度为h μm，满足：1×10-5≤s1×h≤3.2。

6.根据权利要求5所述的微型发光二极管显示器件，其特征在于，所述led单元沿所述驱动基板厚度方向的正投影的面积为s2 μm2，所述显示器件进一步满足如下特征中的至少一者：

7.根据权利要求1所述的微型发光二极管显...

【专利技术属性】
技术研发人员：漆龙恒，庄永漳，
申请(专利权)人：镭昱光电科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：