一种用于单晶炉的原料输送装置制造方法及图纸

技术编号:35998332 阅读:42 留言:0更新日期:2022-12-17 23:15
本实用新型专利技术涉及单晶炉技术领域,具体为一种用于单晶炉的原料输送装置,包括单晶炉本体,单晶炉本体的内部设置有石英锅,所述单晶炉本体的顶端连接有加料管,加料管的内部插入有载料筒,载料筒内部左侧和内部右侧均设置有通槽,两个通槽的内部均滑动设置有拉杆,两个拉杆的底端均固定连接有拉绳,载料筒的内部底侧固定连接有连接板,连接板的底端左侧和底端右侧均铰链连接有密封板,两个密封板的顶端分别与两个拉绳的底端固定连接,载料筒的外部上侧固定套设有固定环,固定环的左端和右端均设置有滑槽,两个滑槽的内部均滑动设置有滑块;其避免了卡死的现象出现,能够保证正常送料,提高了其使用的实用性。提高了其使用的实用性。提高了其使用的实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶炉的原料输送装置


[0001]本技术涉及单晶炉
,具体为一种用于单晶炉的原料输送装置。

技术介绍

[0002]半导体材料单晶硅是在单晶炉中拉制出来的,目前,通用的生产工序是:清炉

向石英埚中投料

关闭炉门、升温熔料

拉制单晶硅棒

冷却、开炉、取单晶硅棒,其中在向石英锅内投料时需要使用到原料输送装置。
[0003]经检索,中国专利号为CN200920103292.6的技术专利公开了一种用于单晶炉的原料输送装置,构成中包括载料筒、导料锥、托盘和承力杆,载料筒上下贯通,其上部设有支承檐,承力杆下部固接托盘,其在使用中,下降卡具直到载料筒的支承檐与阀口接触并由阀口支承,继续下降卡具,载料筒静止而托盘、导料锥下降,原料沿导料锥落入石英埚内,但当原料对载料筒和石英药管挤压的力度较大时,即原料与载料筒和石英药管之间的摩擦力大于原料、托盘和导料锥的重力时,托盘和导料锥不便于下降,不便于使原料落至石英锅的内部,影响正常送料,导致其使用的实用性较低。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足,本技术提供了一种用于单晶炉的原料输送装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种用于单晶炉的原料输送装置,包括单晶炉本体,单晶炉本体的内部设置有石英锅,所述单晶炉本体的顶端连接有加料管,加料管的内部插入有载料筒,载料筒内部左侧和内部右侧均设置有通槽,两个通槽的内部均滑动设置有拉杆,两个拉杆的底端均固定连接有拉绳,载料筒的内部底侧固定连接有连接板,连接板的底端左侧和底端右侧均铰链连接有密封板,两个密封板的顶端分别与两个拉绳的底端固定连接,载料筒的外部上侧固定套设有固定环,固定环的左端和右端均设置有滑槽,两个滑槽的内部均滑动设置有滑块,滑块远离载料筒的一端均连接有压缩弹簧,滑块靠近载料筒的一端固定连接有卡柱,两个卡柱分别延伸至两个通槽的内部,两个拉杆的侧端均设置有多个与卡柱相适配的卡槽,滑槽的底端设置有凹槽,凹槽的内部滑动设置有梯形块,梯形块的底端固定连接有顶柱,顶柱的底端延伸至固定环的下方,所述滑块的底端设置有梯形槽,梯形块的顶端插入至梯形槽的内部,固定环的左端和右端均螺纹连接有固定板,两个压缩弹簧远离载料筒的一端分别与两个固定板的侧端抵紧。
[0006]为便于将载料筒固定在卡具上,所述载料筒的内部顶端固定连接有横板,横板的固定连接有连接杆,连接杆的顶端固定连接有吊环。
[0007]为避免拉杆在通槽的内部转动,所述拉杆与通槽均设置有方形结构。
[0008]为便于原料从连接板上滑落,所述连接板的截面设置有三角形结构。
[0009]为便于拉动拉杆向上移动,两个所述拉杆的顶端均固定连接有拉板。
[0010]为便于将卡柱挤压至通槽的外部,所述卡柱的底端靠近拉杆的一侧设置有斜边。
[0011]与现有技术相比,本技术提供了一种用于单晶炉的原料输送装置,具备以下有益效果:
[0012]该用于单晶炉的原料输送装置,在输送原料时,通过卡具将载料筒放下,使载料筒插入至加料管的内部,当固定环的底端与加料管的顶端接触时,加料管对顶柱进行挤压,顶柱推动梯形块向上移动,通过梯形块有梯形槽的配合推动滑块向远离拉杆的一端滑动,使卡柱与卡槽的分离,通过密封板的重力,密封板拉动拉绳和拉杆向下移动,并且密封板向下转动,载料筒内部的原料通过重力落至石英锅的内部,从而避免了卡死的现象出现,能够保证正常送料,提高了其使用的实用性。
附图说明
[0013]图1为本技术结构示意图;
[0014]图2为本技术载料筒从单晶炉本体内部拉出后的剖面结构示意图;
[0015]图3为本技术图1中A处的局部放大结构示意图;
[0016]图4为本技术图2中B处的局部放大结构示意图;
[0017]图5为本技术图2中C处的局部放大结构示意图。
[0018]图中符号说明:
[0019]1、单晶炉本体;2、石英锅;3、加料管;4、载料筒;5、拉杆;6、拉绳;7、连接板;8、密封板;9、固定环;10、滑块;11、压缩弹簧;12、卡柱;13、梯形块;14、顶柱;15、固定板;16、横板;17、连接杆;18、吊环;19、拉板。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0021]实施例:
[0022]请参阅图1

5,一种用于单晶炉的原料输送装置,包括单晶炉本体1,载料筒4的内部顶端固定连接有横板16,横板16的固定连接有连接杆17,连接杆17的顶端固定连接有吊环18,便于将载料筒4固定在卡具上,单晶炉本体1的内部设置有石英锅2,单晶炉本体1的顶端连接有加料管3,加料管3的内部插入有载料筒4,载料筒4内部左侧和内部右侧均设置有通槽,两个通槽的内部均滑动设置有拉杆5,两个拉杆5的顶端均固定连接有拉板19,便于拉动拉杆5向上移动,拉杆5与通槽均设置有方形结构,避免拉杆5在通槽的内部转动,两个拉杆5的底端均固定连接有拉绳6,载料筒4的内部底侧固定连接有连接板7,连接板7的截面设置有三角形结构,便于原料从连接板7上滑落,连接板7的底端左侧和底端右侧均铰链连接有密封板8,两个密封板8的顶端分别与两个拉绳6的底端固定连接,载料筒4的外部上侧固定套设有固定环9,固定环9的左端和右端均设置有滑槽,两个滑槽的内部均滑动设置有滑块10,滑块10远离载料筒4的一端均连接有压缩弹簧11,滑块10靠近载料筒4的一端固定连接有卡柱12,卡柱12的底端靠近拉杆5的一侧设置有斜边,便于将卡柱12挤压至通槽的外部,两个卡柱12分别延伸至两个通槽的内部,卡柱12与固定环9和载料筒4滑动配合,两个拉
杆5的侧端均设置有多个与卡柱12相适配的卡槽,滑槽的底端设置有凹槽,凹槽的内部滑动设置有梯形块13,梯形块13的底端固定连接有顶柱14,顶柱14的底端延伸至固定环9的下方,滑块10的底端设置有梯形槽,梯形块13的顶端插入至梯形槽的内部,固定环9的左端和右端均螺纹连接有固定板15,两个压缩弹簧11远离载料筒4的一端分别与两个固定板15的侧端抵紧,在输送原料时,通过卡具将载料筒4放下,卡具在专利号为CN200920103292.6的技术专利中为已经公开的常规设备,对其结构和功能在这不进行详细介绍,使载料筒4插入至加料管3的内部,当固定环9的底端与加料管3的顶端接触时,加料管3对顶柱14进行挤压,顶柱14推动梯形块13向上移动,通过梯形块13有梯形槽的配合推动滑块10向远离拉杆5的一端滑动,使卡柱12与卡槽的分离,通过密封板8的重力,密封板8本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶炉的原料输送装置,包括单晶炉本体(1),单晶炉本体(1)的内部设置有石英锅(2),其特征在于:所述单晶炉本体(1)的顶端连接有加料管(3),加料管(3)的内部插入有载料筒(4),载料筒(4)内部左侧和内部右侧均设置有通槽,两个通槽的内部均滑动设置有拉杆(5),两个拉杆(5)的底端均固定连接有拉绳(6),载料筒(4)的内部底侧固定连接有连接板(7),连接板(7)的底端左侧和底端右侧均铰链连接有密封板(8),两个密封板(8)的顶端分别与两个拉绳(6)的底端固定连接,载料筒(4)的外部上侧固定套设有固定环(9),固定环(9)的左端和右端均设置有滑槽,两个滑槽的内部均滑动设置有滑块(10),滑块(10)远离载料筒(4)的一端均连接有压缩弹簧(11),滑块(10)靠近载料筒(4)的一端固定连接有卡柱(12),两个卡柱(12)分别延伸至两个通槽的内部,两个拉杆(5)的侧端均设置有多个与卡柱(12)相适配的卡槽,滑槽的底端设置有凹槽,凹槽的内部滑动设置有梯形块(13),梯形块(13)的底端固定连接有顶柱...

【专利技术属性】
技术研发人员:王守海孙海青
申请(专利权)人:中科力联山东光电设备有限公司
类型:新型
国别省市:

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