线宽测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及对线宽或尺寸等进行测量或检查的装置，尤其涉及多摄像头方式的测量或检查的装置。随着被测对象物的大型化，由于其质量、静电等的影响，移动被测对象物本身很困难，强制性的定位动作困难，定位动作不良经常发生。为了减少这种定位动作不良，作为装置需要具有复杂顺序的定位机构和动作顺序。本发明专利技术的线宽测量装置是使用所摄像的图像的校准方式，即，不是物理地对基片等被测对象物进行定位，而是根据所摄像的相机图像来测量被测对象物（试样）的搭载位置，进行观察定位的校正。因此，本发明专利技术具有用于对摄像装置的头部进行位置校正的微动轴机构和校正控制机构。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种线宽测量装置，具有多个摄像头部和图像处理部，通过由上述图像处理部对上述摄像头部所取得的图像进行图像处理，来对被测对象物的所希望的部位进行测量或检查，其特征在于，　　　　该线宽测量装置，具有分别对上述多个摄像头部的位置进行校正的位置校正机构，　　　　上述图像处理部根据上述多个摄像头部所取得的图像，对上述多个摄像头部的位置进行检测，　　　　上述位置校正机构基于上述所检测出的位置，分别地对上述多个摄像头部的位置进行校正。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：深町哲昭，大重信，广川智，
申请(专利权)人：株式会社日立国际电气，
类型：发明
国别省市：JP[日本]