一种线宽测量机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种线宽测量机，包括：光栅、测试镜头；其特征在于，所述线宽测量机还包括：照度感应装置、控制单元以及光栅驱动单元；其中，所述控制单元与所述照度感应装置相连，所述照度感应装置，用于接收光信号并将不同强度的光信号转换为不同的电信号，并将所述电信号传送给所述控制单元；所述控制单元用于根据所述电信号控制所述光栅驱动单元。本实用新型专利技术可避免因线宽测量机中光源随时间的衰减而导致测量结果准确性变差的问题，可控性高，且实现方法简单。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种线宽测量机
本技术涉及液晶显示
中的线宽测量技术，尤其涉及一种线宽测量 机。
技术介绍
现有的TFT液晶显示器的制备过程中所使用的线宽测量机的结构如图1所示，包 括:测试镜头固定梁11、测试镜头12、光纤13、光栅14和光源15组成的灯箱16、信息处理 器17、测试机台18。其中，所述测试镜头12设置于所述测试镜头固定梁11下部、所述测试 镜头12可沿平行于所述测试镜头固定梁11的方向在所述测试镜头固定梁11水平移动，所 述测试镜头固定梁11可在垂直于自身的水平方向上移动；所述测试镜头12通过光纤13与 所述灯箱16相连,光纤13将灯箱16发出的测试光传输到测试镜头12,所述灯箱16中的 光栅14用于控制光源15发出的光线通过量，并与滤光片共同作用提供单色光；所述信息处 理器17与所述灯箱16以及所述测试镜头12电连接；如图2 (a)所示，所述灯箱16中还包 括滤光片110。实际应用过程中，待测试基板19至于所述测试机台18上。目前，所述光源 15通常为卤素灯，但由于其使用寿命有限，且在使用过程中照度会持续衰减，进而导致到达 测试镜头12的光量变弱而最终导致测试准确性变差。现有技术通过定期的手动校正来实现消除因光源衰减造成的测量误差。其做法是 定期在线宽测量机上通过手动模式对各个薄膜晶体管液晶显示器的扫描式电子显微镜标 准片或标准掩膜版进行测量，通过调节测量时使用的光栅光量通过条件，使之与扫描式电 子显微镜标准片或标准掩膜版上的线宽相吻合，然后通过信息处理器修改测试程式中光栅 光量通过条件，即光栅位置。这种方法的不足之处在于:I)由于每种型号的TFT液晶显示器均需要单独制备特殊的SEM标准片或者标准掩 膜版，因此，程序繁琐且实现较困难；2)线宽测量机的光源使用寿命一般在2000小时左右，由于其衰减并非是等量衰 减，故在2000小时内需多次校准，不但费时费力，测量结果可控性也较差；3)校准工作为全手动方法进行,无法避免人为的误差。综上所述，有待提出一种可控性较高的避免因线宽测量机中光源随时间的衰减而 导致测量结果准确性变差的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的主要目的在于提供一种线宽测量机，可避免因线宽测量 机中光源随时间的衰减而导致测量结果准确性变差的问题，可控性高。为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的:本技术提供了一种线宽测量机，包括光栅、测试镜头；所述线宽测量机还包 括:照度感应装置、控制单元以及光栅驱动单元；其中，所述控制单元与所述照度感应装置 相连，所述照度感应装置，用于接收光信号并将不同强度的光信号转换为不同的电信号，并将所述电信号传送给所述控制单元；所述控制单元用于根据所述电信号控制所述光栅驱动单元。其中，所述光栅驱动单元为电机，用于驱动所述光栅进行旋转。其中，所述照度感应装置与所述控制单元电连接。上述方案中，所述照度感应装置设置于所述测试机台上表面任一一角的位置。上述方案中，所述照度感应装置的感应面与所述测试镜头所在平面平行。本技术提供的线宽测量机包括:照度感应装置、控制单元以及光栅驱动单元；其中，所述控制单元与所述照度感应装置相连，所述照度感应装置，用于接收光信号并将不同强度的光信号转换为不同的电信号，并将所述电信号传送给所述控制单元；所述控制单元用于根据所述电信号控制所述光栅驱动单元。在实际进行线宽测量时，控制模块通过照度测试时记录的照度值与光栅旋转位置的对应关系找到测试程式中设定的照度值，并通过所述光栅驱动单元将所述光栅旋转到与所述测试程式中设定的照度值对应的位置处，因此，可实现测试镜头端的照度值保持为测试程式中设定的照度值不变，进而保证线宽测量结果的稳定性，消除由于光源衰减造成的测量准确性变差的问题。此外，由于本技术只需在所述测试机台上设置一个照度感应装置，并设置所述控制单元和光栅驱动单元，由于光源光量的衰减可以通过照度感应装置测试后不断补正，保证测试镜头端的测试光量不变，因此光源的使用寿命得到延长，直至达到其使用的安全电压范围。另外，由于本技术的光栅旋转位置的调整均通过所述控制单元和光栅驱动单元的结合自动调节，相对于现有的手动调节，大大降低了设备校准所用时间和工作量；本技术在照度测试后即可及时进行光栅位置的调节，不需人为参与，因此测量结果的可控性高。【附图说明】图1为现有线宽测量机的结构示意图；图2 Ca)为现有线宽测量机中灯箱的结构示意图；图2 (b)为所述灯箱中光栅的平面结构示意图；图2 (C)为所述灯箱中滤光片的平面结构示意图；图3为现有灯箱中光栅开口率与光栅闭合位置的关系；图4为现有光源的光强随时间增加而衰减的曲线图；图5为现有光源光量衰减前后固定光栅位置与光强对应关系图；图6为本技术实施例所述线宽测量机的结构示意图；图7为本技术实施例所述光栅的不同旋转位置与照度间的对应关系；图8为利用本技术所述线宽测量机进行线宽测量实施例一的流程示意图；图9为利用本技术所述线宽测量机进行线宽测量实施例二的流程示意图。附图标记说明:11测试镜头固定梁；12、22测试镜头；13光纤；14、24光栅；15光源；16、26灯箱；17、27信息处理器；18、28测试机台；19待测试基板；110滤光片；211照度感应装置；212控制单元；213光栅驱动单元。【具体实施方式】本技术的基本思想是:在所述测试机台上设置照度感应装置，并在所述信息处理器内设置与所述照度感应装置相连控制模块，以及设置与所述光栅相连的光栅驱动单元，所述照度感应装置，用于接收光信号并将不同强度的光信号转换为不同的电信号，并将所述电信号传送给所述控制单元；所述控制单元用于根据所述电信号控制所述光栅驱动单J Li ο进行线宽测量时，控制模块通过照度测试时记录的照度值与光栅旋转位置的对应关系找到测试程式中设定的照度值，并通过所述光栅驱动单元将所述光栅旋转到与所述测试程式中设定的照度值对应的位置处，从而实现测试镜头端的照度值保持为测试程式中设定的照度值不变，进而保证线宽测量结果的稳定性，消除由于光源衰减造成的测量准确性变差的问题。下面对图1所示现有的线宽测量机的应用方法进行简单描述，如下:使用过程中，由光源15发出测试光经由光栅14旋转到测试程式中定义的位置来控制所需的光量，再经由光纤15传输到测试镜头12，然后再经由测试镜头12照射到测试机台18上的待测试基板19上。传输到测试镜头12的光量由信息处理器17对灯箱16进行自动调节和控制。对待测试基板19进行测量时，信息处理器17读取自身内部存储的测试程式，之后通过控制灯箱中的光栅14的位置，使得最终发出的光线达到测试程式中所需的光量条件后，即可开始测量，直至测量结束。光栅14通过旋转闭合的不同位置来达到测试程式中限定的条件，在光源照度稳定的条件下光栅闭合与光线通过量的比例如图3所示，光栅14全闭合状态，即:开口率为O时，光线通过量(光强)为O ;光栅14全打开状态，即:开口率为100时，光线通过量为100，开口率在O?100之间对应测试程式中定义的具体光栅14的旋转位置。普通线宽测量机测试程式中定义的线宽测量条件为:编辑测试程式时，光量条件(光强)与光栅14打开位置相对应，在测试程式编本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种线宽测量机，包括光栅、测试镜头；其特征在于，所述线宽测量机还包括：照度感应装置、控制单元以及光栅驱动单元；其中，所述控制单元与所述照度感应装置相连，所述照度感应装置，用于接收光信号并将不同强度的光信号转换为不同的电信号，并将所述电信号传送给所述控制单元；所述控制单元用于根据所述电信号控制所述光栅驱动单元。

【技术特征摘要】
1.一种线宽测量机，包括光栅、测试镜头；其特征在于，所述线宽测量机还包括:照度感应装置、控制单元以及光栅驱动单元；其中，所述控制单元与所述照度感应装置相连， 所述照度感应装置，用于接收光信号并将不同强度的光信号转换为不同的电信号，并将所述电信号传送给所述控制单元；所述控制单元用于根据所述电信号控制所述光栅驱动单元。2.根据权利要求1所述的线宽测量机，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚长勇，孙林，汪雄，鲁成祝，黄炳相，
申请(专利权)人：合肥京东方光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：