【技术实现步骤摘要】
一种柱状隔垫物检查机
本技术涉及液晶显示
，尤其涉及一种用于测量柱状隔垫物高度的柱状隔垫物检查机。
技术介绍
柱状隔垫物检查机是一种利用白光干涉原理的3D非接触式纳米检测设备。测量时，先根据Recipe找到检测点，然后通过扫描器中心来对焦，测量镜头采集检测点柱状隔垫物的图像并与标准图像比对，最后通过使用特殊算法得到高度值。由于检测系统的高精密度，对检测点图像与标准图像的相似度和扫描器对焦中心要求比较高。检测点偏移较大时，检测点图像与标准图像的相似度将不匹配；扫描器中心偏离过多时会导致干涉图案的周期性偏移，严重影响测量结果的准确性。因而，检测点位置和扫描器中心的选定对干涉图案的形成和柱状隔垫物的高度测定有着重要作用。柱状隔垫物检查机的检测内容包括CF基板上的柱状隔垫物的高度、上下表面的直径以及红绿蓝像素的高度，检测数据的精密度为lnm，设备的重现性和再现性在35nm以内。柱状隔垫物检查机的主要作用是用于监控投入成盒工艺产线的CF玻璃基板的状况，督促CF工厂提高工艺和解决不良以及通过测量柱状隔垫物的情况向液晶涂布机反馈需要滴加液晶的数量。柱状隔垫物检...
【技术保护点】
一种柱状隔垫物检查机，包括：用于对柱状隔垫物进行测量的测量模块，其特征在于，所述柱状隔垫物检查机还包括：用于获取柱状隔垫物图像的图像采集模块；用于将所述图像采集模块采集的图像与标准图像进行比对、获取柱状隔垫物测量位置与预设位置在Z轴方向的偏差值，并根据所述偏差值下发测量位置修正指令的处理模块；用于根据所述处理模块的指令对所述柱状隔垫物测量位置进行Z轴位置修正的位置修正模块，所述位置修正模块与所述处理模块连接。
【技术特征摘要】
1.一种柱状隔垫物检查机，包括:用于对柱状隔垫物进行测量的测量模块，其特征在于，所述柱状隔垫物检查机还包括: 用于获取柱状隔垫物图像的图像采集模块； 用于将所述图像采集模块采集的图像与标准图像进行比对、获取柱状隔垫物测量位置与预设位置在Z轴方向的偏差值，并根据所述偏差值下发测量位置修正指令的处理模块； 用于根据所述处理模块的指令对所述柱状隔垫物测量位置进行Z轴位置修正的位置修正模块，所述位置修正模块与所述处理模块连接。2.根据权利要求1所述的柱状隔垫物检查机，其特征在于，所述位置修正模块包括与所述图像采集模块连接的电容式位置传感器。3.根据权利要求2所述的柱状隔垫物检查机，其特征在于，所述电容式位置传感器包括动极板和静极板，所述动极板与所述图像采集模块连接，其中，所述动极板和所述静极板具有第一状态和第二状态； 所述第一状态包括所述动极板在所述图像采集模块的带动下移动到第一位置，使得所述图像采集模块的测量位置位于定位精度范围内； 所述第二状态包括所述动极板在处理模块的控制...
【专利技术属性】
技术研发人员：黎关超，王健，司磊，胡亮，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方显示技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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