粉末镀膜装置制造方法及图纸

技术编号:35914892 阅读:16 留言:0更新日期:2022-12-10 10:56
本实用新型专利技术涉及一种粉末镀膜装置,包括搅拌装置,搅拌装置包括真空腔、搅拌机构、加热装置;搅拌机构包括伸入到真空腔内并转动设置的驱动轴、以及在驱动轴位于真空腔内的轴段上设置的旋叶片,以带动真空腔内粉末样品流化;加热装置对真空腔内进行加热。搅拌装置是由外部驱动轴转动带动真空腔内的旋叶片转动,搅拌真空腔内的粉未材料,在有限的真空腔内配合流化床作用充分解决粉未材料相互接触、团聚等现象。象。象。

【技术实现步骤摘要】
粉末镀膜装置


[0001]本技术涉及镀膜领域,更具体地说,涉及一种粉末镀膜装置。

技术介绍

[0002]微纳米尺寸的粉末材料,因为表现出诸多优异的物化性能而在诸如电池电极材料、催化剂等领域应用广泛,如果能在其表面均匀镀上一层纳米级薄膜,将会带来更多积极的效果。
[0003]原子层沉积技术是一种利用反应气体在材料表面交替饱和自吸附并发生化学反应生成目标物质的气相化学气相沉积技术。
[0004]到目前为止,原子层沉积方法是唯一可以在大的比表面积材料表面均匀镀膜且精确控制膜厚的技术,但这些应用多是材料表面完全暴露在空气中的情况。
[0005]在粉末表面均匀镀膜的原子层沉积装置在生产中粉末材料会出现相互接触、团聚等现象,常规的原子层沉积方法很难在其表面均匀镀膜,而现有的振动法和流化法只能克级的实验室上运用。
[0006]粉未ALD镀膜的现有设备,由于粉末材料会出现相互接触、团聚等现象,只有通过振动,流化床等方法来解决,但有一定的局限性;在粉未材料体量大的流化床真空腔中镀膜,要达到完全分散粉未材料,就要腔体大,气体流量大,成本高,且时间长。

技术实现思路

[0007]本技术要解决的技术问题在于,针对现有技术的上述缺陷,提供一种粉末镀膜装置。
[0008]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:构造一种粉末镀膜装置,包括搅拌装置,所述搅拌装置包括真空腔、搅拌机构、加热装置;
[0009]所述搅拌机构包括伸入到所述真空腔内并转动设置的驱动轴、以及在所述驱动轴位于所述真空腔内的轴段上设置的旋叶片,以带动所述真空腔内粉末样品流化;
[0010]所述加热装置对所述真空腔内进行加热。
[0011]优选地,所述真空腔包括腔体和腔盖,所述搅拌装置还包括设置在所述腔盖上的磁流体,所述驱动轴与所述磁流体转动配合,所述粉末镀膜装置还包括对所述磁流体进行冷却的冷却装置。
[0012]优选地,所述旋叶片呈螺旋状沿所述驱动轴的轴向连续设置。
[0013]优选地,所述搅拌装置还包括带动所述驱动轴转动的电机,所述驱动轴上设有套设到所述驱动轴上的同步轮,所述电机与所述同步轮之间设有同步带。
[0014]优选地,所述加热装置包括在所述真空腔外壁面设置的加热器。
[0015]优选地,所述驱动轴为空心,所述加热装置包括设置在所述驱动轴内的加热棒。
[0016]优选地,所述粉末镀膜装置还包括用于对所述真空腔抽真空的真空泵。
[0017]优选地,所述粉末镀膜装置还包括与所述真空腔连通的收料筒,所述收料筒供粉
末放置,并在所述真空泵抽真空时,把所述收料筒中的粉末吸入所述真空泵。
[0018]优选地,所述粉末镀膜装置还包括在所述真空腔底部设置的进气装置,所述进气装置包括在所述真空腔底部连通设置的进气腔、设置在所述进气腔和所述真空腔之间的过滤装置,以及与所述真空腔连通的进气管路。
[0019]优选地,所述过滤装置包括过滤板和/或过滤芯。
[0020]实施本技术的粉末镀膜装置,具有以下有益效果:搅拌装置是由外部驱动轴转动带动真空腔内的旋叶片转动,搅拌真空腔内的粉未材料,在有限的真空腔内配合流化床作用充分解决粉未材料相互接触、团聚等现象。
附图说明
[0021]下面将结合附图及实施例对本技术作进一步说明,附图中:
[0022]图1是本技术实施例中的粉末镀膜装置的结构示意图。
具体实施方式
[0023]为了对本技术的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解,现对照附图详细说明本技术的具体实施方式。
[0024]如图1所示,本技术一个优选实施例中的粉末镀膜装置包括搅拌装置1、冷却装置2、真空泵3、收料筒4、以及进气装置5。
[0025]搅拌装置1包括真空腔11、搅拌机构12、加热装置13,搅拌机构12包括伸入到真空腔11内并转动设置的驱动轴121、以及在驱动轴121位于真空腔11内的轴段上设置的旋叶片122,以带动真空腔11内粉末样品流化。
[0026]加热装置13对真空腔11内进行加热,让真空腔11内的粉末能均匀的受热,并能满足镀膜要求。
[0027]搅拌装置1是由外部驱动轴121转动带动真空腔11内的旋叶片122转动,搅拌真空腔11内的粉未材料,在有限的真空腔11内配合流化床作用充分解决粉未材料相互接触、团聚等现象。
[0028]真空腔11包括腔体111和腔盖112,搅拌装置1还包括设置在腔盖112上的磁流体14,驱动轴121与磁流体14转动配合,能实现驱动轴121转动孔位置的密封。
[0029]冷却装置2对磁流体14进行冷却,保护磁流体14,避免温度过高造成损坏。
[0030]优选地,旋叶片122呈螺旋状沿驱动轴121的轴向连续设置,使真空腔11中的粉末不断上下交换,更加的均匀。
[0031]通常,搅拌装置1还包括带动驱动轴121转动的电机123,电机123位于真空腔11外,驱动轴121上套设有同步轮124,电机123与同步轮124之间设有同步带125,让电机123带动驱动轴121转动。
[0032]优选地,加热装置13包括在真空腔11外壁面设置的加热器131,通电后从外部加热真空腔11。进一步地,在一些实施例中,驱动轴121为空心,加热装置13包括设置在驱动轴121内的加热棒132,加热棒132通电后从内部加热真空腔11,使得温度更加地均匀。
[0033]真空泵3用于根据需要对真空腔11抽真空,满足镀膜要求。
[0034]优选地,收料筒4与真空腔11连通,收料筒4供粉末放置,并在真空泵3抽真空时,把
收料筒4中的粉末吸入真空泵3,在粉末被抽入真空腔11后,密封收料筒4的进料口。
[0035]在一些实施例中,进气装置5在真空腔11底部设置,进气装置5包括在真空腔11底部连通设置的进气腔51、设置在进气腔51和真空腔11之间的过滤装置52,以及与真空腔11连通的进气管路53。
[0036]过滤装置52包括过滤板和过滤芯,也可单独包括过滤板或过滤芯。
[0037]粉末镀膜装置的工作过程步骤如下:
[0038]1:公斤级粉未样品放入收料筒4,连接真空腔11;
[0039]2:通过真空泵3产生抽力把收料筒4内的粉未样品送入真空腔11后,密封进料口;
[0040]3:打开加热器131与加热棒132,加热真空腔11;
[0041]4:启动电机123,转动旋转驱动轴121,开始旋转流化样品;
[0042]5:启动真空泵3,打开抽气管路31上的截止阀门,进气管路53上的质量流量控制器控制清洗气体进入下部进气腔51,上升真空腔11形成流化床效应;
[0043]6:通过ALD阀门的控制,真空泵3与抽气管路31的配合,在进气管道处进入多次间隔脉冲反应物料源蒸气,即反应气体,随着载气进入真空腔11中,反应气体通过滤板进入粉末内部,在粉末本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种粉末镀膜装置,其特征在于,包括搅拌装置(1),所述搅拌装置(1)包括真空腔(11)、搅拌机构(12)、加热装置(13);所述搅拌机构(12)包括伸入到所述真空腔(11)内并转动设置的驱动轴(121)、以及在所述驱动轴(121)位于所述真空腔(11)内的轴段上设置的旋叶片(122),以带动所述真空腔(11)内粉末样品流化;所述加热装置(13)对所述真空腔(11)内进行加热。2.根据权利要求1所述的粉末镀膜装置,其特征在于,所述真空腔(11)包括腔体(111)和腔盖(112),所述搅拌装置(1)还包括设置在所述腔盖(112)上的磁流体(14),所述驱动轴(121)与所述磁流体(14)转动配合,所述粉末镀膜装置还包括对所述磁流体(14)进行冷却的冷却装置(2)。3.根据权利要求1所述的粉末镀膜装置,其特征在于,所述旋叶片(122)呈螺旋状沿所述驱动轴(121)的轴向连续设置。4.根据权利要求1所述的粉末镀膜装置,其特征在于,所述搅拌装置(1)还包括带动所述驱动轴(121)转动的电机(123),所述驱动轴(121)上套设有同步轮(124),所述电机(123)与所述同步轮(124)之间设有同步带(125)。5.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员:ꢀ七四专利代理机构
申请(专利权)人:深圳市原速光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1