镀膜设备的过渡腔室制造技术

本实用新型专利技术公开一种镀膜设备的过渡腔室，包括主体，主体内设置有腔体，腔体内部设置有基座，基座上间隔设置有支撑架，支撑架用于支撑面板，支撑架通过连接件与基座连接，基座内设置有气体通道，气体通道的两端分别为第一端和第二端，第一端与主体外的抽气设备连通，第二端与腔体连通，第二端邻近于连接件。通过设置气体通道，将气体通道与抽气设备连通，可以通过抽气设备将腔体内的杂质抽出，避免杂质堆积在腔体的内部；由于连接件的两侧为杂质产生量最多的地方，设置第二端邻近于连接件，可以使得第二端邻近于杂质产生的源头，提高清洁效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
镀膜设备的过渡腔室


[0001]本技术涉及面板加工设备领域，尤其涉及一种镀膜设备的过渡腔室。

技术介绍

[0002]显示设备的显示面板在加工时，需要使用镀膜设备对显示面板(以下简称面板)进行镀膜处理。
[0003]参照图1和图2，镀膜设备包括过渡腔室100＇、分配腔室200＇和多个镀膜腔室300＇，分配腔室200＇和镀膜腔室300＇均为真空环境，面板进入过渡腔室100＇之后，需要先对过渡腔室100＇抽真空，然后再将面板送入分配腔室200＇内，由分配腔室200＇内的机械手将面板送入相应的镀膜腔室300＇；当面板镀膜完成后，面板经分配腔室200＇回到过渡腔室100＇，此时，需要向过渡腔室100＇通入气体，使过渡腔室100＇内恢复大气压，然后才能将面板移送到外部。过渡腔室100＇的腔体内设置有基座1＇，基座1＇上设置有用于支撑面板的支撑架2＇，支撑架2＇和基座1＇之间通过垫片3＇间隔。
[0004]现有技术存在以下问题：过渡腔室100＇持续在真空状态和大气压状态下切换，过渡腔室100＇内气压变化大，零部件受气压的影响会出现膨胀或收缩，导致零部件之间出现摩擦(特别是垫片3＇的两侧)，产生杂质，杂质容易附着在面板上，从而影响面板的镀膜质量。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于：提供一种镀膜设备的过渡腔室，其能够保持内部环境的清洁。
[0006]为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]提供一种镀膜设备的过渡腔室，包括主体，所述主体内设置有腔体，所述腔体内部设置有基座，所述基座上间隔设置有支撑架，所述支撑架用于支撑面板，所述支撑架通过连接件与所述基座连接，所述基座内设置有气体通道，所述气体通道的两端分别为第一端和第二端，所述第一端与所述主体外的抽气设备连通，所述第二端与所述腔体连通，所述第二端邻近于所述连接件。
[0008]作为镀膜设备的过渡腔室的一种优选方案，包括三通管，所述三通管包括主管和两条支管，所述第一端通过所述主管和其中一条所述支管与所述抽气设备连通，另一条所述支管与通气设备连通，所述通气设备用于向所述腔体输送洁净的冷空气。
[0009]作为镀膜设备的过渡腔室的一种优选方案，所述支管上设置有阀门，所述支管与所述通气设备和/或所述抽气设备可拆卸连接。
[0010]作为镀膜设备的过渡腔室的一种优选方案，所述第二端设置有多个，所述支撑架的下方设置有所述第二端。
[0011]作为镀膜设备的过渡腔室的一种优选方案，所述腔体内设置有可移动的喷头，所述喷头通过软管与所述第二端连接。
[0012]作为镀膜设备的过渡腔室的一种优选方案，所述基座上设置有导向组件，所述喷头滑动设置在所述导向组件上。
[0013]作为镀膜设备的过渡腔室的一种优选方案，所述导向组件包括固定座、丝杆、滑块和滑轨，所述固定座固定在所述基座上，所述丝杆与所述固定座可转动连接，所述滑块与所述丝杆螺纹连接，所述滑轨固定在所述固定座上，所述滑块滑动设置在所述滑轨上，所述喷头设置在所述滑块上。
[0014]作为镀膜设备的过渡腔室的一种优选方案，包括电机，所述电机的输出轴与所述丝杆可拆卸连接。
[0015]作为镀膜设备的过渡腔室的一种优选方案，所述固定座包括板本体和设置在所述板本体两侧的连接板，所述丝杆的一端通过轴承与所述连接板连接，所述丝杆的另一端贯穿所述连接板与所述电机的输出轴连接。
[0016]作为镀膜设备的过渡腔室的一种优选方案，所述腔体内设置有吹气机，所述吹气机朝向所述连接件吹气。
[0017]本技术的有益效果为：通过设置气体通道，将气体通道与抽气设备连通，可以通过抽气设备将腔体内的杂质抽出，避免杂质堆积在腔体的内部；由于连接件的两侧为杂质产生量最多的地方，设置第二端邻近于连接件，可以使得第二端邻近于杂质产生的源头，提高清洁效果。
附图说明
[0018]下面根据附图和实施例对本技术作进一步详细说明。
[0019]图1为现有技术所述镀膜设备示意图。
[0020]图2为现有技术所述镀膜设备的过渡腔室示意图。
[0021]图3为本技术实施例所述镀膜设备的过渡腔室主视剖视示意图。
[0022]图4为图3的A
‑
A剖视示意图。
[0023]图5为本技术实施例所述镀膜设备的过渡腔室侧视剖视示意图。
[0024]图6为本技术实施例所述导向组件和电机示意图。
[0025]图1和图2中：
[0026]100＇、过渡腔室；200＇、分配腔室；300＇、镀膜腔室；
[0027]1＇、基座；2＇、支撑架；3＇、垫片；
[0028]图3至图6中：
[0029]100、腔体；200、主体；300、门；
[0030]1、基座；101、气体通道；1011、第一端；1012、第二端；2、支撑架；3、连接件；4、三通管；41、主管；42、支管；5、阀门；6、吹气机；7、导向组件；701、固定座；7011、板本体；7012、连接板；702、丝杆；703、滑块；704、轴承；705、滑轨；8、喷头；9、软管；10、电机。
具体实施方式
[0031]参考下面结合附图详细描述的实施例，本技术的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本技术不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本技术的公开并且使本领域技术人员充分
地了解本技术的范围，并且本技术仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
[0032]以下，参照附图来详细描述本技术。
[0033]如图3和图4所示，本技术提供的一种镀膜设备的过渡腔室(以下简称过渡腔室)，包括主体200，主体200内设置有腔体100，主体200的两侧设置有门300，当门300开启时，面板可以进入到腔体100的内部，腔体100内部设置有基座1，基座1上间隔设置有支撑架2，支撑架2用于支撑面板，支撑架2通过连接件3与基座1连接，基座1内设置有气体通道101，气体通道101的两端分别为第一端1011和第二端1012，第一端1011与主体外的抽气设备连通，第二端1012与腔体100连通，第二端1012邻近于连接件3。通过设置气体通道101，将气体通道101与抽气设备(图中未示出)连通，可以通过抽气设备将腔体100内的杂质抽出，避免杂质堆积在腔体100的内部；由于连接件3的两侧为杂质产生量最多的地方，设置第二端1012邻近于连接件3，可以使得第二端1012邻近于杂质产生的源头，提高清洁效果。
[0034]具体地，过渡腔室包括三通管4，三通管4包括主管41和两条支管42，主管41与第一端1011连通，一条支管42与抽气设备连通，即第一端1011通过主管41和其中一条支管42与抽气设备连通，另一条支管42与通气设备连通，通气设备用于向腔体100输送洁净的冷空气。通过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备的过渡腔室，包括主体，所述主体内设置有腔体，所述腔体内部设置有基座，所述基座上间隔设置有支撑架，所述支撑架用于支撑面板，所述支撑架通过连接件与所述基座连接，其特征在于，所述基座内设置有气体通道，所述气体通道的两端分别为第一端和第二端，所述第一端与所述主体外的抽气设备连通，所述第二端与所述腔体连通，所述第二端邻近于所述连接件。2.根据权利要求1所述的镀膜设备的过渡腔室，其特征在于，包括三通管，所述三通管包括主管和两条支管，所述第一端通过所述主管和其中一条所述支管与所述抽气设备连通，另一条所述支管与通气设备连通，所述通气设备用于向所述腔体输送洁净的冷空气。3.根据权利要求2所述的镀膜设备的过渡腔室，其特征在于，所述支管上设置有阀门，所述支管与所述通气设备和/或所述抽气设备可拆卸连接。4.根据权利要求1所述的镀膜设备的过渡腔室，其特征在于，所述第二端设置有多个，所述支撑架的下方设置有所述第二端。5.根据权利要求1所述的镀膜设备的过渡腔室，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙梅丽，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：新型
国别省市：