本发明专利技术提供了一种在沿着天花板设置的轨道上行进的传送单元，所述传送单元包括：主体，所述主体设置有行进驱动器；行进轮，所述行进轮通过从所述行进驱动器接收动力而进行旋转；夹持构件，所述夹持构件被配置为夹持物品；升降构件，所述升降构件设置在所述主体与所述夹持构件之间并且被配置为在竖直方向上移动所述夹持构件；以及控制器，其中所述控制器在所述传送单元在所述轨道上行进时使所述夹持构件降低或升高，其中所述控制器控制所述升降构件和所述行进驱动器，使得在所述传送单元以恒定速度行进的定速段中执行所述夹持构件的降低或升高。低或升高。低或升高。
【技术实现步骤摘要】
传送单元、物品传送系统以及传送单元的控制方法
[0001]本专利技术涉及一种传送单元、一种物品传送系统以及一种传送单元的控制方法。
技术介绍
[0002]一般而言，为了制造半导体器件，执行各种类型的工艺，诸如沉积、光刻和蚀刻，并且执行这些工艺中的每一者的装置被布置在半导体生产线中。可以在被容纳在诸如FOUP或POD的容器中的状态下向每个半导体处理设备提供物品，诸如基板(例如，晶片、玻璃)，这些物品是要在半导体器件制造工艺中处理的对象。另外，可以从每个半导体处理设备将已经执行了工艺的物品收集到容器中，并且可以将收集有物品的容器传送到外部。
[0003]容器由诸如高架提升运输(OHT)设备的传送载具传送。传送载具在沿着半导体生产线的天花板设置的轨道上行进。传送载具将容纳有物品的容器传送到半导体处理装置中的任一者的装载端口。另外，传送载具可以从装载端口拾取容纳有经过处理的物品的容器并将该容器传送到外部，或者将该容器传送到半导体处理装置中的另一者。
[0004]图1是示出相关技术中的传送载具将容器传送到端口的方法的图。参考图1，一般而言，传送载具A(诸如OHT设备)包括用于保持容器F的夹持器G、连接到夹持器G的带B，以及用于卷绕或解开带B以提升或降低夹持器G的升降器L。此外，传送载具A沿着轨道R行进。当沿着轨道R行进时，传送载具A使容器F放置在端口P中。在图1中，AP表示传送载具A的行进路径。另外，在图1中，GP表示夹持器G的移动路径。
[0005]如可以从图1中看出，传送载具A按以下次序运行：移动到端口P的上部部分并停止；解开带B以降低夹持器G和容器F；以及根据夹持器G的打开和闭合而在端口P上将容器F放下、卷绕带B以提升夹持器并且开始行进。然而，以这种方式，传送载具A的等待时间较长，使得传送载具AP的操作效率降低。
[0006]为了解决这个问题，如图2所示，可以考虑一种在传送载具A行进的同时卷绕或解开带B的方法。在这种情况下，优点是传送载具A的等待时间可以缩短，使得传送载具A的操作效率可以增加。然而，在这种方法中，由于传送载具A在带B的长度增加的状态下行进，因此连接到带B的夹持器G的位置可能大大改变。例如，图3示出了传送载具A的位置x随时间t的变化、传送载具A的速度v随时间t的变化和带B的长度l随时间t的变化，以及带B的角度θ随时间t的变化。带B的角度θ意指在垂直于地面的轴线与带B之间的角度。如图3所示，可以看出，当带B的长度l从t2到t3(这是传送载具A加速和减速的区段)改变时，带B的角度θ显著改变。在这种情况下，连接到带B的夹持器G也极大地摇晃。另外，当夹持器G在保持容器F时，在容器F中产生杂质(诸如颗粒)，从而污染物品(诸如基板)或损坏物品。
技术实现思路
[0007]提出本专利技术以便提供一种传送单元、一种物品传送系统以及一种传送单元的控制方法，它们能够稳定地传送物品。
[0008]还提出本专利技术以便提供一种传送单元、一种物品传送系统以及一种传送单元的控
制方法，它们能够最小化在物品或容纳有物品的容器中产生的振动。
[0009]还提出本专利技术以便提供一种传送单元、一种物品传送系统以及一种传送单元的控制方法，它们能够缩短传送物品或容纳有物品的容器的时间。
[0010]本专利技术的目的不限于此，并且本领域的普通技术人员将从以下描述中清楚地理解未提及的其他目的。
[0011]本专利技术的示例性实施例提供了一种在沿着天花板设置的轨道上行进的传送单元，所述传送单元包括：主体，所述主体设置有行进驱动器；行进轮，所述行进轮通过从所述行进驱动器接收动力而进行旋转；夹持构件，所述夹持构件被配置为夹持物品；升降构件，所述升降构件设置在所述主体与所述夹持构件之间并且被配置为在竖直方向上移动所述夹持构件；以及控制器，其中所述控制器被配置为控制所述升降构件和所述行进驱动器以在所述传送单元在所述轨道上行进时使所述夹持构件降低或升高，并且所述控制器控制所述升降构件和所述行进驱动器，使得在所述传送单元以恒定速度行进的定速段中执行所述夹持构件的降低或升高。
[0012]根据示例性实施例，所述升降构件可以包括：带，所述带与所述夹持构件连接；以及升降驱动器，所述升降驱动器卷绕或解开所述带。
[0013]根据示例性实施例，所述控制器可以控制所述行进驱动器和所述升降驱动器，使得所述带的长度在加速段中或在减速段中是固定的。
[0014]根据示例性实施例，所述控制器可以控制所述行进驱动器，使得在所述传送单元的行进速度增加的加速段中或在所述传送单元的所述行进速度降低的减速段中执行使所述夹持构件所夹持的所述物品的摇晃衰减的摇晃衰减操作。
[0015]根据示例性实施例，所述摇晃衰减操作可以是在所述物品的摇晃周期的半周期中改变所述传送单元的行进加速度的操作。
[0016]根据示例性实施例，所述摇晃衰减操作可以是将所述传送单元的所述行进加速度从第一加速度改变为小于所述第一加速度的第二加速度的操作。
[0017]根据示例性实施例，所述摇晃衰减操作可以是将所述传送单元的所述行进从处于所述第一加速度的第一加速行进改变为恒定速度行进以及将所述传送单元的所述行进从所述恒定速度行进改变为处于所述第二加速度的第二加速行进的操作。
[0018]根据示例性实施例，所述传送单元执行所述恒定速度行进的时间可以比所述传送单元执行所述第一加速行进或所述第二加速行进的时间短。
[0019]本专利技术的另一示例性实施例提供了一种用于沿着连续地设置有半导体处理装置的生产线的天花板来传送容纳有物品的容器的物品传送系统，所述物品传送系统包括：轨道，所述轨道沿着所述天花板设置；端口，所述端口被配置为允许放置所述容器；传送单元，所述传送单元沿着所述轨道行进并且被配置为将所述容器传送到所述端口，其中所述传送单元包括：主体，所述主体设置有行进驱动器；夹持构件，所述夹持构件被配置为夹持所述容器；升降构件，所述升降构件设置在所述主体与所述夹持构件之间并且被配置为在竖直方向上移动所述夹持构件；以及控制器，其中所述控制器被配置为控制所述升降构件和所述行进驱动器以在所述传送单元在所述轨道上行进时使所述夹持构件降低或升高，并且所述控制器控制所述升降构件和所述行进驱动器，使得在所述传送单元以恒定速度行进的定速段中执行所述夹持构件的所述降低或升高。
[0020]根据示例性实施例，所述升降构件可以包括：带，所述带与所述夹持构件连接；以及升降驱动器，所述升降驱动器通过卷绕或解开所述带来改变所述带的长度。
[0021]根据示例性实施例，所述控制器可以控制所述行进驱动器和所述升降驱动器，使得所述带的所述长度在所述传送单元的行进速度增加的加速段中和在所述传送单元的所述行进速度降低的减速段中是固定的。
[0022]根据示例性实施例，所述控制器可以控制所述行进驱动器，使得在所述传送单元的行进速度增加的加速段中或在所述传送单元的所述行进速度降低的减速段中执行使所述夹持构件所夹持的所述物品的摇晃衰减的摇晃衰减操作。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种在沿着天花板设置的轨道上行进的传送单元，所述传送单元包括：主体，所述主体设置有行进驱动器；行进轮，所述行进轮通过从所述行进驱动器接收动力而进行旋转；夹持构件，所述夹持构件被配置为夹持物品；升降构件，所述升降构件设置在所述主体与所述夹持构件之间并且被配置为在竖直方向上移动所述夹持构件；以及控制器，其中所述控制器被配置为控制所述升降构件和所述行进驱动器以在所述传送单元在所述轨道上行进时使所述夹持构件降低或升高，并且所述控制器控制所述升降构件和所述行进驱动器，使得在所述传送单元以恒定速度行进的定速段中执行所述夹持构件的所述降低或升高。2.根据权利要求1所述的传送单元，其中所述升降构件包括：带，所述带与所述夹持构件连接；以及升降驱动器，所述升降驱动器卷绕或解开所述带。3.根据权利要求1或权利要求2所述的传送单元，其中所述控制器控制所述行进驱动器，使得在所述传送单元的行进速度增加的加速段中或在所述传送单元的所述行进速度降低的减速段中执行使所述夹持构件所夹持的所述物品的摇晃衰减的摇晃衰减操作。4.根据权利要求3所述的传送单元，其中所述控制器控制所述行进驱动器和所述升降驱动器，使得所述带的长度在所述加速段中或在所述减速段中是固定的。5.根据权利要求3所述的传送单元，其中所述摇晃衰减操作是在所述物品的摇晃周期的半周期中改变所述传送单元的行进加速度的操作。6.根据权利要求5所述的传送单元，其中所述摇晃衰减操作是将所述传送单元的所述行进加速度从第一加速度改变为小于所述第一加速度的第二加速度的操作。7.根据权利要求6所述的传送单元，其中所述摇晃衰减操作是将所述传送单元的所述行进从处于所述第一加速度的第一加速行进改变为恒定速度行进并且将所述传送单元的所述行进从所述恒定速度行进改变为处于所述第二加速度的第二加速行进的操作。8.根据权利要求7所述的传送单元，其中所述传送单元执行所述恒定速度行进的时间比所述传送单元执行所述第一加速行进或所述第二加速行进的时间短。9.一种用于沿着连续地设置有半导体处理装置的生产线的天花板来传送容纳有物品的容器的物品传送系统，所述物品传送系统包括：轨道，所述轨道沿着所述天花板设置；端口，所述端口被配置为允许放置所述容器；传送单元，所述传送单元沿着所述轨道行进并且被配置为将所述容器传送到所述端口，其中所述传送单元包括：主体，所述主体设置有行进驱动器；行进轮，所述行进轮通过从所述行进驱动器接收动力而进行旋转；夹持构件，所述夹持构件被配置为夹持所述容器；升降构件，所述升降构件设置在所述主体与所述夹持构件之间并且被配置为在竖直方
向上移动所述夹持构件；以及控制器，并且其中所述控制器被配置为控制所述升降构件和所述行进驱动器以在所述传送单元于所述轨道上行进时使所述夹持构件降低或升高，并且所述控制...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔仁诚，李俊范，梁东勋，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：
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