输送系统和输送系统的控制方法技术方案

本发明专利技术提供输送系统和输送系统的控制方法。输送系统包括：动子，其上安装有工件并且能够在第一方向上移动；定子，其具有在第一方向上布置的多个线圈，并通过使用所述多个线圈向动子施加力，所述力在第一方向上输送动子，同时使动子在与第一方向交叉的第二方向上浮起；控制单元，其获取在第二方向上浮起的同时在第一方向上移动的动子的位置和姿势，并且基于获取的位置和姿势来控制施加到所述多个线圈的电流以控制对动子的操作；以及定位部，其限制动子的移动，其中，所述定位部包括第一定位部，所述第一定位部限制动子在施加到工件的外力的方向上的移动。的方向上的移动。的方向上的移动。

【技术实现步骤摘要】
输送系统和输送系统的控制方法


[0001]本专利技术涉及输送系统和该输送系统的控制方法。

技术介绍

[0002]通常，输送系统被用于生产线中，该生产线被用于组装工业产品、半导体曝光装置等。特别地，生产线中的输送系统在工厂自动化生产线内的多个站之间或工厂自动化生产线之间输送诸如组件的工件。此外，这样的输送系统可以用作处理装置内的输送装置。作为输送系统，已经提出了一种具有非接触可移动磁体式线性电机的输送系统。
[0003]在具有非接触可移动磁体式线性电机的输送系统中，多个动子输送诸如组件的工件。在生产线的各处理中，对工件进行处理操作。日本特开第2020
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28212号公报公开了一种方法，其中，永磁体被布置在动子的侧表面以实现对工件的良好接近，并通过具有高自由度的处理装置对动子上的工件进行处理操作。
[0004]为了实现生产线的各处理中的稳定处理，需要输送工件的动子在处理期间抵抗外力而保持稳定的位置，并且精确地定位该工件。
[0005]在这方面，日本特开第2020
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28212号公报中公开的方法通过接收从具有控制刚性的处理施加到动子的外力来将动子保持在稳定的位置。即，在日本特开第2020
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28212号公报中公开的方法通过控制流过用于向动子施加力的线圈的电流来保持动子的稳定位置。
[0006]另一方面，由于可以施加到线圈的电流存在上限，因此将动子保持在稳定位置所需的力也存在上限。因此，从处理施加到动子的外力必须小于用于保持动子的稳定位置的力的上限。
[0007]因此，在处理期间，动子可能无法通过抵抗较大的外力来保持稳定位置。为了精确定位工件，在工件的处理期间，无论施加到动子的外力大小如何，都需要保持动子的稳定位置。

技术实现思路

[0008]本专利技术的目的在于提供一种浮起式输送系统以及该输送系统的控制方法，在工件的处理期间无论施加到动子的外力大小如何，该方法都能够稳定动子的位置。
[0009]根据本专利技术的一个方面，提供一种输送系统，所述输送系统包括：动子，其上安装有工件并且能够在第一方向上移动；定子，其具有在第一方向上布置的多个线圈，并通过使用被施加有电流的所述多个线圈向动子施加力，所述力在第一方向上输送动子，同时使动子在与第一方向交叉的第二方向上浮起；控制单元，其获取在第二方向上浮起的同时在第一方向上移动的动子的位置和姿势，并且基于获取的位置和获取的姿势来控制施加到所述多个线圈的电流以控制对动子的操作；以及定位部，其限制动子的移动，其中，所述定位部包括第一定位部，所述第一定位部限制动子在施加到工件的外力的方向上的移动。
[0010]根据本专利技术的另一个方面，提供一种输送系统的控制方法，所述输送系统包括：动子，其上安装有工件并且能够在第一方向上移动；定子，其具有在第一方向上布置的多个线
圈，并通过使用被施加有电流的多个线圈向动子施加力，所述力在第一方向上输送动子，同时使动子在与第一方向交叉的第二方向上浮起；以及定位部，其限制动子的移动，其中，所述定位部包括第一定位部，所述第一定位部在工件的处理期间限制动子在施加到动子的外力的方向上的移动，所述控制方法包括：获取在第二方向上浮起的同时在第一方向上移动的动子的位置和姿势，并且基于获取的位置和获取的姿势来控制施加到多个线圈的电流以控制对动子的操作；以及使动子在外力方向上着落，并进行按压控制以按压动子，使得动子的移动由所述第一定位部限制。
[0011]根据下面参照附图对示例性实施例的描述，本专利技术的进一步特征将变得显而易见。
附图说明
[0012]图1是示出根据本专利技术第一实施例的输送系统的构造的示意图。
[0013]图2A是示出根据本专利技术第一实施例的输送系统的构造的示意图。
[0014]图2B是示出根据本专利技术第一实施例的输送系统的构造的示意图。
[0015]图3是示出根据本专利技术第一实施例的输送系统中的线圈和与该线圈相关的构造的示意图。
[0016]图4是示出根据本专利技术第一实施例的控制输送系统的控制系统的示意图。
[0017]图5是示出根据本专利技术第一实施例的输送系统中的动子的姿势控制方法的示意图。
[0018]图6是示出根据本专利技术第一实施例的输送系统中的用于控制动子的位置和姿势的控制块的示例的示意图。
[0019]图7A是示出根据本专利技术第一实施例的输送系统中使用动子位置计算功能的处理的示意图。
[0020]图7B是示出根据本专利技术第一实施例的输送系统中使用动子位置计算功能的处理的示意图。
[0021]图8是示出根据本专利技术第一实施例的输送系统中使用动子姿势计算功能的处理的示意图。
[0022]图9A是示出根据本专利技术第一实施例的输送系统中使用动子姿势计算功能的处理的示意图。
[0023]图9B是示出根据本专利技术第一实施例的输送系统中使用动子姿势计算功能的处理的示意图。
[0024]图10是示出根据本专利技术第一实施例的输送系统中作用于附接到动子的轭板的力与作用于动子的力分量和扭矩分量之间的关系的示意图。
[0025]图11是示意性地示出根据本专利技术第一实施例的输送系统中在Z方向上的推力常数分布的曲线图。
[0026]图12A是示出根据本专利技术第一实施例的输送系统中的定子的线圈的示意图。
[0027]图12B是示出根据本专利技术第一实施例的输送系统中的定子的线圈的示意图。
[0028]图13是示意性地示出根据本专利技术第一实施例的输送系统中施加到线圈的电流量与作用于线圈与轭板之间的吸引力大小之间的关系的曲线图。
[0029]图14是当在Z方向上从上向下观察时根据本专利技术第一实施例的输送系统中的动子的示意图。
[0030]图15是示意性地示出根据本专利技术第一实施例的在输送系统中的Y方向上的吸引力分布的曲线图。
[0031]图16是示出控制根据本专利技术第一实施例的输送系统的方法的流程图。
[0032]图17A是示出根据本专利技术第二实施例的输送系统的构造的示意图。
[0033]图17B是示出根据本专利技术第二实施例的输送系统的构造的示意图。
[0034]图18是示出控制根据本专利技术第二实施例的输送系统的方法的流程图。
[0035]图19A是示出根据本专利技术第三实施例的输送系统的构造的示意图。
[0036]图19B是示出根据本专利技术第三实施例的输送系统的构造的示意图。
[0037]图20A是示出根据本专利技术第三实施例的输送系统的另一构造的示意图。
[0038]图20B是示出根据本专利技术第三实施例的输送系统的另一构造的示意图。
[0039]图21A是示出根据本专利技术第三实施例的输送系统的另一构造的示意图。
[0040]图21B是示出根据本专利技术第三实施例的输送系统的另一构造的示意图。
[0041]图22是示出控制根据本专利技术第三实施例的输送系统的方法的流程图。
具体实施方式
[0042]第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种输送系统，其包括：动子，其上安装有工件并且能够在第一方向上移动；定子，其具有在第一方向上布置的多个线圈，并通过使用被施加有电流的所述多个线圈向动子施加力，所述力在第一方向上输送动子，同时使动子在与第一方向交叉的第二方向上浮起；控制单元，其获取在第二方向上浮起的同时在第一方向上移动的动子的位置和姿势，并且基于获取的位置和获取的姿势来控制施加到所述多个线圈的电流以控制对动子的操作；以及定位部，其限制动子的移动，其中，所述定位部包括第一定位部，所述第一定位部限制动子在施加到工件的外力的方向上的移动。2.根据权利要求1所述的输送系统，其中，外力的方向为第二方向或与第一方向和第二方向交叉的第三方向。3.根据权利要求1或2所述的输送系统，其中，控制单元使动子在外力的方向上着落，并进行按压控制以按压动子，使得动子的移动由所述第一定位部限制。4.根据权利要求1或2所述的输送系统，其中，定位部包括第二定位部，所述第二定位部限制动子在与第一方向和外力的方向交叉的方向上的移动。5.根据权利要求4所述的输送系统，其中，控制单元使动子在与外力的方向和第一方向交叉的方向上着落，并进行按压控制以按压动子，使得动子的移动由所述第二定位部限制。6.根据权利要求1或2所述的输送系统，其中，定位部包括第三定位部，所述第三定位部限制动子在第一方向上的移动。7.根据权利要求6所述的输送系统，其中，控制单元使动子在第一方向上着落，并进行按压控制以按压动子，使得动子的移动由所述第三定位部限制。8.根据权利要求1或2所述的输送系统，其中，定位部被构造为可移动，以确保动子的输送路径。9.根据权利要求3所述的输送系统，其中，控制单元进行控制以产生旋转力，所述旋转力抵消通过按压控制作用在动子上的旋转力。10.根据权利要求1或2所述的输送系统，其中，定位部是限制动子的可移动范围的止动件。11.根据权利要求10所述的输送系统，其中，定位部被配设在可移动范围中。12.一种处理系统，其包括：根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤井信明，温品聪，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：