一种多轴运动台检测系统技术方案

本发明专利技术实施例提供一种多轴运动台检测系统，包括：相机，采集检测物的图像；图像采集卡，与相机电连接，向相机发送采集信号，相机接收采集信号进行图像采集；载物台，位于相机的成像视野内，包括运动模组，运动模组带动检测物在XY平面内移动和/或转动；Z轴模组，带动相机沿Z方向移动，Z方向垂直于XY平面；至少两个单轴驱动器，单轴驱动器驱动Z轴模组或者运动模组运动；同步控制板卡，接收至少两个单轴驱动器发出的位置触发信号，将位置触发信号传输至图像采集卡，控制图像采集卡输出采集信号至相机；处理器。本发明专利技术实施例提供一种多轴运动台检测系统，以实现至少两个运动轴的硬件同步触发，采集速率快，无延时，同步性高。同步性高。同步性高。

【技术实现步骤摘要】
一种多轴运动台检测系统


[0001]本专利技术涉及视觉检测技术，尤其涉及一种多轴运动台检测系统。

技术介绍

[0002]随着工业自动化、智能化的深入及普及，使用自动光学检测设备(Auto Optical Inspection,AOI)替代传统的人工目检，已成为技术发展趋势。AOI设备凭借其快速、精确的缺陷识别定位能力，在汽车、医药、交通、半导体等领域广泛使用。目前，现有的AOI设备通常包括光学成像系统、精密运动台、物料传输系统等。其中精密运动台一般包括三个运动轴，Z向运动轴用于光机模组的焦面调节；T向旋转轴置于载物台的底部，带动工件旋转从而实现全面检测；Y向运动轴用于带动载物台及T轴水平方向移动，实现工件水平向的扫描。三运动轴的同步作用实现工件的全面检测。
[0003]当前图像采集方案中，一般分为软件同步和硬件同步两种。软件同步是指在运动台到达指定采集位置后，上位机通过某种网络协议给相机采集信号；硬件同步是指运动台在运动的同时给通过硬件电路给相机采集信号。由于软件同步存在软件延时流程异常等问题，半导体设备中一般采用硬件同步的采集方案。随本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多轴运动台检测系统，其特征在于，包括：相机，采集检测物的图像；图像采集卡，与所述相机电连接，向所述相机发送采集信号；所述相机接收所述采集信号进行图像采集；载物台，位于所述相机的成像视野内，包括运动模组，所述运动模组带动检测物在XY平面内移动和/或转动；Z轴模组，带动所述相机沿Z方向移动，所述Z方向垂直于所述XY平面；至少两个单轴驱动器，所述单轴驱动器驱动所述Z轴模组或者所述运动模组运动；同步控制板卡，接收至少两个所述单轴驱动器发出的位置触发信号，将所述位置触发信号传输至所述图像采集卡，控制所述图像采集卡输出所述采集信号至所述相机；处理器，与所述图像采集卡、单轴驱动器和同步控制板卡均电连接。2.根据权利要求1所述的多轴运动台检测系统，其特征在于，所述运动模组包括Y轴模组和/或T轴模组，所述Y轴模组带动所述检测物在Y方向运动，所述T轴模组带动所述检测物在所述XY平面内旋转，所述Y方向平行于所述XY平面；所述单轴驱动器包括Z轴驱动器、Y轴驱动器和/或T轴驱动器，所述Z轴驱动器驱动所述Z轴模组运动，所述Y轴驱动器驱动所述Y轴模组运动，所述T轴驱动器驱动所述T轴模组运动；所述同步控制板卡接收所述Z轴驱动器、所述Y轴驱动器和/或所述T轴驱动器发出的位置触发信号。3.根据权利要求2所述的多轴运动台检测系统，其特征在于，所述运动模组还包括X轴模组；所述X轴模组带动所述检测物在X方向运动；所述单轴驱动器还包括X轴驱动器；所述同步控制板卡接收所述X轴驱动器发出的位置触发信号。4.根据权利要求1所述的多轴运动台检测系...

【专利技术属性】
技术研发人员：江齐，
申请(专利权)人：上海御微半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：