温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明实施例提供一种多轴运动台检测系统，包括：相机，采集检测物的图像；图像采集卡，与相机电连接，向相机发送采集信号，相机接收采集信号进行图像采集；载物台，位于相机的成像视野内，包括运动模组，运动模组带动检测物在XY平面内移动和/或转动；Z轴...
该专利属于上海御微半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海御微半导体技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。