光刻机灯室装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种光刻机灯室装置，包括灯室外壳、散热罩和光源组件。灯室外壳设置有第一进风口、出风口和出光口。散热罩位于灯室外壳内，其开口端与所述出光口重合，散热罩的外壁与灯室外壳的内壁之间形成第一腔室，散热罩内部为第二腔室，散热罩还设置有第二进风口。光源组件位于第二腔室，包括光源和椭球反射镜，椭球反射镜将所述光源发出的光线反射后由出光口射出。第一腔室及第二腔室彼此连通，通过第一进风口和第二进风口分别向第一腔室和第二腔室吹入冷却风，第一腔室内的冷却风流经散热罩的外表面后从出风口流出，第二腔室的冷却风流入第一腔室后从出风口流出。在本发明专利技术使得所述光刻机灯室装置具有更好的散热效果。得所述光刻机灯室装置具有更好的散热效果。得所述光刻机灯室装置具有更好的散热效果。

【技术实现步骤摘要】
光刻机灯室装置


[0001]本专利技术涉及光刻机
，尤其涉及一种光刻机灯室装置。

技术介绍

[0002]在半导体制造领域中，为了提高曝光产率和制造效率，常常需要使用数千瓦甚至更高功率的汞灯作为光源。光刻机等光学设备上通常会设置有灯室，以用于安置汞灯。汞灯的发热量高，为了保证曝光光源运行稳定，需要对灯室内部环境进行冷却。目前，业内应用在光刻机等光学设备上的灯室主要采用风冷或风冷加水冷的冷却方式。但是水冷加风冷冷却的系统，结构复杂且内部水头较多，易发生漏液等问题。
[0003]此外，随着光刻精度的不断提高，光刻机对使用环境的要求越来越苛刻，光刻机各分系统的散热量必须要严控，灯室外部罩壳容易出现局部温度过高的问题。
[0004]此外，汞灯对温度稳定性有较高的要求，温度稳定性差会导致汞灯的发光稳定性差。同时，灯室采用风冷，冷却效果有限，而且有大量冷却风吹到汞灯灯泡表面，也会使汞灯运行不稳定。另外，光刻胶曝光时产生的升华物等异物混入冷却风从灯室外部导进入到灯室内部，并会与紫外线发生反应等并附着在反射镜的反射面等上。
[0005]因此，一种能够散热效果更好，能够减少异物附着在反射镜的反射面的光刻机灯室装置为业内所追求。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的在于提供一种光刻机灯室装置，具有更好的散热效果，能够减少异物附着在反射镜。
[0007]为了达到上述目的，本专利技术提供了一种光刻机灯室装置，包括：
[0008]灯室外壳，设置有第一进风口、出风口和出光口；r/>[0009]散热罩，位于所述灯室外壳内，所述散热罩具有开口端，所述开口端与所述出光口重合，所述散热罩的外壁与所述灯室外壳的内壁之间形成第一腔室，所述散热罩内部为第二腔室，所述散热罩还设置有第二进风口；
[0010]光源组件，位于所述第二腔室，包括光源和反射镜，所述反射镜将所述光源发出的光线反射后由所述出光口射出；
[0011]所述第一腔室及所述第二腔室彼此连通，通过所述第一进风口和第二进风口分别向所述第一腔室和所述第二腔室吹入冷却风，所述第一腔室内的冷却风流经所述散热罩的外表面后从所述出风口流出，所述第二腔室的冷却风流入所述第一腔室后从所述出风口流出。
[0012]可选的，所述第二腔室的冷却风用于冷却所述散热罩和所述光源。
[0013]可选的，通过所述第一进风口向所述第一腔室吹入的冷却风和通过所述第二进风口向所述第二腔室吹入的冷却风的参数均可被分别设置，所述参数包括温度、流量和/或类型。。
[0014]可选的，所述光源具有泡壳及分别位于泡壳两端的阳极和阴极，所述阳极较所述阴极更靠近所述出光口，所述散热罩包括：
[0015]上散热罩，包裹所述光源的阳极及所述泡壳与所述出光口之间的光路；
[0016]反射镜散热罩，包裹所述椭球反射镜；
[0017]下散热罩，包裹所述光源的阴极；
[0018]所述椭球反射镜散热罩与所述上散热罩的连接处具有缝隙，以使所述第一腔室及所述第二腔室彼此连通。
[0019]可选的，所述上散热罩的形状为多级凸台状。
[0020]可选的，所述第一进风口处设置有分流箱，所述分流箱上开设有多个分流出口。
[0021]可选的，所述分流出口处均设置有调向板。
[0022]可选的，所述灯室外壳内设置有若干导流板。
[0023]可选的，所述散热罩外表面设置有若干肋片，用于强化对流散热效率。
[0024]可选的，所述第一出风口与所述进风口相对设置，且所述出风口的高度及所述进风口的高度均与所述椭球反射镜的高度齐平。
[0025]可选的，所述第一进风口处还设置有过滤器。
[0026]可选的，所述灯室外壳的内表面上设置有隔热板。
[0027]可选的，还包括流量控制系统，所述流量控制系统包括：
[0028]检测器，用于实时监控所述第一腔室和所述第二腔室的温度、气压和/或所述冷却风的流量；
[0029]自动蝶阀，用于根据所述检测器的检测结果调整所述冷却风的流量。
[0030]在本专利技术提供的光刻机灯室装置中，光刻机灯室装置包括灯室外壳、散热罩和光源组件。其中，所述灯室外壳设置有第一进风口、出风口和出光口。所述散热罩的外壁与所述灯室外壳的内壁之间形成第一腔室，所述散热罩内部为第二腔室，所述散热罩还设置有第二进风口。所述光源组件位于所述第二腔室，包括光源和椭球反射镜。在本专利技术中，通过第一进风口向第一腔室和吹入冷却风。所述第一腔室内的散热罩降温，通过第二进风口向所述第二腔室吹入冷却风，用于给所述散热罩内的光源组件降温。所述第一腔室和所述第二腔室彼此连通，所述第二腔室的冷却风会流入所述第一腔室后从所述出风口流出，使得所述光刻机灯室装置具有更好的散热效果。
[0031]此外，第一进风口向第一腔室吹入的冷却风的类型与通过第二进风口向第二腔室吹入的冷却风的类型不同，并且第二腔室的气压大于第一腔室的气压。能够防止散热罩外部的冷却风进入所述第二腔体，避免第二腔体内的冷却风的气体流形发生变化，防止光源表面周围的温度出现波动，继而影响光源的寿命周期和发光的稳定性。而且还能够防止光源和椭球反射镜受到污染。
[0032]此外，第一进风口处设置有分流箱，所述分流箱上开设有多个分流出口。用于将冷却风分成多个风路，使得冷却风与散热罩有更多的接触面积，有利于冷却所述散热罩。此外，所述分流出口处均设置有调向板。通过所述调向板可以调节分流出口的朝向，可以让更多的冷却风流向散热罩中温度较高区域，以避免所述散热罩局部温度过高，进而造成所述散热罩变形或损坏。
[0033]此外，灯室外壳内设置有若干导流板。所述导流板用于约束冷却风流动的方向。使
得所述冷却风能够环绕所述散热罩的外周流动后，再从出风口流出，有利于所述冷却风与所述散热罩的外周充分接触，以带走更多的热量。
附图说明
[0034]图1为本专利技术实施例一中的光刻机灯室装置的结构示意图；
[0035]图2为本专利技术实施例一中的分流箱的示意图；
[0036]图3为本专利技术实施例一中的出风口的结构示意图；
[0037]图4为本专利技术实施例一中的N向视野中的示意图；
[0038]图5为本专利技术实施例二中的光刻机灯室装置的结构示意图；
[0039]图6为本专利技术实施例二中的反射镜散热罩的示意图；
[0040]图7为本专利技术实施例三中的光刻机灯室装置的第一种结构示意图；
[0041]图8为本专利技术实施例三中的光刻机灯室装置的第二种结构示意图；
[0042]其中，附图标记如下：
[0043]100
‑
散热罩；110
‑
下散热罩；120
‑
反射镜散热罩；121
‑
肋片；130
‑
上散热罩；131
‑
导流板、140
‑
缝隙；
[0044]200
‑...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机灯室装置，其特征在于，包括：灯室外壳，设置有第一进风口、出风口和出光口；散热罩，位于所述灯室外壳内，所述散热罩具有开口端，所述开口端与所述出光口重合，所述散热罩的外壁与所述灯室外壳的内壁之间形成第一腔室，所述散热罩内部为第二腔室，所述散热罩还设置有第二进风口；光源组件，位于所述第二腔室，包括光源和反射镜，所述反射镜将所述光源发出的光线反射后由所述出光口射出；所述第一腔室及所述第二腔室彼此连通，通过所述第一进风口和第二进风口分别向所述第一腔室和所述第二腔室吹入冷却风，所述第一腔室内的冷却风流经所述散热罩的外表面后从所述出风口流出，所述第二腔室的冷却风流入所述第一腔室后从所述出风口流出。2.如权利要求1所述的光刻机灯室装置，其特征在于，所述第二腔室的冷却风用于冷却所述散热罩和所述光源。3.如权利要求1所述的光刻机灯室装置，其特征在于，通过所述第一进风口向所述第一腔室吹入的冷却风和通过所述第二进风口向所述第二腔室吹入的冷却风的参数均可被分别设置，所述参数包括温度、流量和/或类型。4.如权利要求1所述的光刻机灯室装置，其特征在于，所述光源具有泡壳及分别位于泡壳两端的阳极和阴极，所述阳极较所述阴极更靠近所述出光口，所述散热罩包括：上散热罩，包裹所述光源的阳极及所述泡壳与所述出光口之间的光路；反射镜散热罩，包裹所述椭球反射镜；下散热罩，包...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈柯君，王彦飞，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：