一种晶圆水平传输机构制造技术

本申请涉及一种晶圆水平传输机构，晶圆支撑座在上料段和下料段时由水平调整机构调整为水平，以方便机械手直上直下的抓取，在传输段进行传输时，晶圆支撑座的水平部分具有一定的倾斜，可以使晶圆在晶圆支撑座上向一个方向倾斜，防止因为晶圆左右倾斜的状态不同而导致晶圆磕碰，降低晶圆的划伤风险。降低晶圆的划伤风险。降低晶圆的划伤风险。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆水平传输机构


[0001]本申请属于晶圆清洗制备设备
，尤其是涉及一种晶圆水平传输机构。

技术介绍

[0002]在半导体晶圆的制造过程中，晶圆表面的清洁度是影响半导体器件可靠性的重要因素。因此，清洗是其中最重要和最频繁的工艺之一。晶圆清洗的目的是为了去除附着于晶圆表面上的各类污染物，例如，有机物、金属杂质或微细颗粒、需要去除的PSG层等，该清洗通常需要在盛放有各种清洗液的不同的清洗槽内进行，因此，晶圆在不同清洗槽之间运动时就需要传输装置来进行传输。
[0003]中国专利文献CN206116363U公开了一种晶舟，倾斜设置晶舟来使晶圆向一个方向倾斜排列，防止晶圆在晶舟的无序倾斜，进一步防止晶圆之间发生磕碰，提高了晶圆的完整性。然而，该文献中，使用支撑部件向下移动并与承载晶舟的台面接触与否来实现晶舟的水平与否，结构较为复杂，结构稳定性不足，不适合在传输过程中使用。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种在传输过程中保证晶圆倾斜、在上下料时保证晶圆竖直晶圆水平传输机构。
[0005]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0006]一种晶圆水平传输机构，包括：
[0007]水平安装座；
[0008]水平滑轨，设置在水平安装座上，位于水平安装座顶面，从其传输方向依次分为上料段
‑
传输段
‑
下料段；
[0009]晶圆支撑座，用于承接晶圆，设置于水平滑轨上，具有竖直部分以及通过转轴转动地连接在竖直部分上的水平部分，所述水平部分在容纳晶圆后能够使水平部分相对于水平面形成一定的夹角，水平部分上具有成排布置的弧形的晶圆容纳槽；
[0010]驱动件，用于驱动水平安装座在水平滑轨上移动；
[0011]还包括水平调整机构，包括，设置于晶圆支撑座上的水平调整轮，与上料段和下料段对应的外部框架上固定设置的水平调整块，所述水平调整块具有倾斜的底面，晶圆支撑座从传输段移动到上料段或者从传输段移动到下料段的过程中水平调整轮在水平调整块的底面上滑动，从而将晶圆支撑座的水平部分调整为水平。
[0012]优选地，本技术的晶圆水平传输机构，
[0013]对应上料段的水平调整块的底面具有起伏。
[0014]优选地，本技术的晶圆水平传输机构，
[0015]对应上料段的水平调整块的底面由水平面、向上倾斜面、向下倾斜面、末端倾斜面构成，水平调整轮行走在水平面时，晶圆支撑座的水平部分呈水平布置，水平调整轮行走在向上倾斜面时，晶圆支撑座水平部分的远离水平调整轮的一端向下运动，水平调整轮行走
在向下倾斜面时，晶圆支撑座水平部分的远离水平调整轮的一端向上运动，水平调整轮行走在末端倾斜面时，晶圆支撑座水平部分的远离水平调整轮的一端向下运动，离开末端倾斜面时，晶圆支撑座水平部分与水平面形成所需的特定夹角。
[0016]优选地，本技术的晶圆水平传输机构，
[0017]向下倾斜面的最高点不高于末端倾斜面的最高点，向下倾斜面的最低点高于水平面的高度，向下倾斜面的最低点到水平面的竖直高度记为H，向下倾斜面的最高点到水平面的竖直高度记为h，H为三分之二到二分之一h。
[0018]优选地，本技术的晶圆水平传输机构，
[0019]还包括位置锁定机构，用于将晶圆支撑座锁定在上料段或者下料段。
[0020]优选地，本技术的晶圆水平传输机构，
[0021]所述位置锁定机构包括，设置在晶圆支撑座上的锁定轮，在外部框架上固定设置的锁定驱动件，所述锁定驱动件的伸缩杆上设置有U型的锁定件，需要锁定时，锁定驱动件驱动锁定件上升，使锁定件卡住锁定轮，需要解除锁定时，锁定驱动件驱动锁定件下降，使锁定件离开锁定轮。
[0022]优选地，本技术的晶圆水平传输机构，
[0023]晶圆支撑座的竖直部分上设置有限位杆，用于限制水平部分的最大倾斜角度。
[0024]优选地，本技术的晶圆水平传输机构，所述驱动件，包括驱动电机和皮带传动带；
[0025]所述皮带传动带布置在水平安装座的侧面，由驱动电机驱动皮带传动带运动，所述皮带传动带通过固定夹与晶圆支撑座底部固定。
[0026]优选地，本技术的晶圆水平传输机构，所述水平安装座上还设置有限位轮，以限制皮带传动带的位置。
[0027]优选地，本技术的晶圆水平传输机构，水平安装座上还设置有用于感应水平部分位置的所述传感器。
[0028]本技术的有益效果是：
[0029]本技术的晶圆水平传输机构，晶圆支撑座在上料段和下料段时由水平调整机构调整为水平，以方便机械手直上直下的抓取，在传输段进行传输时，晶圆支撑座的水平部分具有一定的倾斜，可以使晶圆在晶圆支撑座上向一个方向倾斜，防止因为晶圆左右倾斜的状态不同而导致晶圆磕碰，降低晶圆的划伤风险。
附图说明
[0030]下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
[0031]图1是本申请实施例的晶圆水平传输机构一个方向的立体图；
[0032]图2是本申请实施例的晶圆水平传输机构另一个方向的立体图；
[0033]图3是本申请实施例的晶圆支撑座的结构图；
[0034]图4本申请实施例的下料段的晶圆支撑座的结构图；
[0035]图5本申请其中一种实施例的上料段的晶圆支撑座的结构图；
[0036]图6本申请实施例的水平调整块的结构图。
[0037]图中的附图标记为：
[0038]1 水平安装座；
[0039]2 水平滑轨；
[0040]3 晶圆支撑座；
[0041]4 皮带传动带；
[0042]22 驱动电机；
[0043]31 竖直部分；
[0044]32 水平部分；
[0045]33 转轴；
[0046]41 限位轮；
[0047]42 固定夹；
[0048]43 限位杆；
[0049]311 锁定轮；
[0050]312 锁定驱动件；
[0051]313 锁定件；
[0052]321 水平调整轮；
[0053]322 水平调整块；
[0054]323 传感器；
[0055]3221 水平面；
[0056]3222 向上倾斜面；
[0057]3223 向下倾斜面；
[0058]3224 末端倾斜面。
具体实施方式
[0059]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0060]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆水平传输机构，其特征在于，包括：水平安装座（1）；水平滑轨（2），设置在水平安装座（1）上，位于水平安装座（1）顶面，从其传输方向依次分为上料段
‑
传输段
‑
下料段；晶圆支撑座（3），用于承接晶圆，设置于水平滑轨（2）上，具有竖直部分（31）以及通过转轴（33）转动地连接在竖直部分（31）上的水平部分（32），所述水平部分（32）在容纳晶圆后能够使水平部分（32）相对于水平面形成一定的夹角，水平部分（32）上具有成排布置的弧形的晶圆容纳槽；驱动件，用于驱动水平安装座（1）在水平滑轨（2）上移动；还包括水平调整机构，包括，设置于晶圆支撑座（3）上的水平调整轮（321），与上料段和下料段对应的外部框架上固定设置的水平调整块（322），所述水平调整块（322）具有倾斜的底面，晶圆支撑座（3）从传输段移动到上料段或者从传输段移动到下料段的过程中水平调整轮（321）在水平调整块（322）的底面上滑动，从而将晶圆支撑座（3）的水平部分（32）调整为水平。2.根据权利要求1所述的晶圆水平传输机构，其特征在于，对应上料段的水平调整块（322）的底面具有起伏。3.根据权利要求2所述的晶圆水平传输机构，其特征在于，对应上料段的水平调整块（322）的底面由水平面（3221）、向上倾斜面（3222）、向下倾斜面（3223）、末端倾斜面（3224）构成，水平调整轮（321）行走在水平面（3221）时，晶圆支撑座（3）的水平部分呈水平布置，水平调整轮（321）行走在向上倾斜面（3222）时，晶圆支撑座（3）水平部分（32）的远离水平调整轮（321）的一端向下运动，水平调整轮（321）行走在向下倾斜面（3223）时，晶圆支撑座（3）水平部分（32）的远离水平调整轮（321）的一端向上运动，水平调整轮（321）行走在末端倾斜面（3224）时，晶圆支撑座（3）水平部分（32）的远离水平调整轮（321）的一端向下运动，离开末...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，李刚，周兴江，
申请(专利权)人：江苏亚电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：