一种晶圆清洗升降传输机构制造技术

本申请涉及一种晶圆清洗升降传输机构，使用传感器来感应皮带是否断裂，皮带正常时，传感器能够感应到皮带，皮带断裂时，传感器无法感应到皮带；又通过防坠机构，用于在传感器感应到皮带断裂时防止升降杆转动，从而阻止在失去传动时升降杆的下降，防止卡爪安装座坠落进而保护卡爪上抓取的晶圆，提高设备的安全性。提高设备的安全性。提高设备的安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆清洗升降传输机构


[0001]本申请属于晶圆清洗装置
，尤其是涉及一种晶圆清洗升降传输机构。

技术介绍

[0002]为了让晶圆在不同的清洗槽内移动，需要在成排设置的晶圆清洗设备设置晶圆清洗升降传输机构，通过该机构上的卡爪抓取晶圆将晶圆运输到相应的清洗槽内以完成相应的工艺要求。
[0003]中国专利文献CN214625003U中的附图公开了一种晶圆清洗升降传输机构，包括卡爪及相应的水平移动组件和升降组件，其中的升降组件中，使用电机加皮带轮的方式驱动，在实际运行过程中，如果皮带断裂，则升降座失去了固定，卡爪就会连通晶圆一同坠落，虽然垂直方向的底端具有限位块，但是对于限位块的冲击仍然会导致晶圆破碎。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种能够在失去动力后防止卡爪安装座坠落以确保晶圆安全的晶圆清洗升降传输机构。
[0005]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0006]一种晶圆清洗升降传输机构，包括：
[0007]水平滑轨，水平布置，布置于晶圆清洗设备的侧面；
[0008]齿条，与水平滑轨平行设置；
[0009]安装座，通过竖直滑块安装于水平滑轨上，具有竖直滑轨，所述安装座底部具有水平安装块；
[0010]第一驱动件，输出端具有与齿条配合的齿轮，所述第一驱动件驱动齿转动从而使安装座沿水平滑轨移动；
[0011]卡爪安装座，设置于升降杆顶部，所述升降杆通过升降滑块安装于所述竖直滑轨上，所述升降杆底部穿过水平安装块并在端部设置有皮带轮；
[0012]第二驱动件，设置于水平安装块上，通过皮带与皮带轮配合，第二驱动件能够通过皮带、皮带轮带动所述升降杆转动，从使卡爪安装座升降；
[0013]传感器，用于感应皮带是否断裂，皮带正常时，传感器能够感应到皮带，皮带断裂时，传感器无法感应到皮带；
[0014]防坠机构，用于在传感器感应到皮带断裂时防止所述升降杆转动。
[0015]优选地，本技术的晶圆清洗升降传输机构，所述水平滑轨为高低设置的两根，所述齿条位于两根所述水平滑轨中间。
[0016]优选地，本技术的晶圆清洗升降传输机构，防坠机构包括：位于升降杆末端设置的刹车盘，当传感器感应到皮带断裂时，刹车盘抱紧升降杆。
[0017]优选地，本技术的晶圆清洗升降传输机构，防坠机构包括：设置于竖直滑轨上且位于竖直滑块下方的阻挡滑块，阻挡滑块在正常时跟随竖直滑块运动，当传感器感应到
皮带断裂时，阻挡滑块抱紧竖直滑轨。
[0018]优选地，本技术的晶圆清洗升降传输机构，所述阻挡滑块上设置电磁铁，当电磁铁工作时产生磁力吸附竖直滑块，需要使阻挡滑块与竖直滑块分离时，则关闭电磁铁。
[0019]优选地，本技术的晶圆清洗升降传输机构，所述第一驱动件为伺服步进电机；
[0020]优选地，本技术的晶圆清洗升降传输机构，所述水平滑轨一侧设置有若干高度定位传感器，以确定卡爪安装座的停止高度。
[0021]本技术的有益效果是：
[0022]本申请中，使用传感器来感应皮带是否断裂，皮带正常时，传感器能够感应到皮带，皮带断裂时，传感器无法感应到皮带；又通过防坠机构，用于在传感器感应到皮带断裂时防止升降杆转动，从而阻止在失去传动时升降杆的下降，防止卡爪安装座坠落进而保护卡爪上抓取的晶圆，提高设备的安全性。
附图说明
[0023]下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
[0024]图1是现有技术中晶圆清洗升降传输机构的结构示意图；
[0025]图2是本申请第一种实施例中晶圆清洗升降传输机构的结构示意图；
[0026]图3是本申请第二种实施例中晶圆清洗升降传输机构的结构示意图；
[0027]图4是本申请第二种实施例中晶圆清洗升降传输机构的防坠机构的结构示意图；
[0028]图中的附图标记为：
[0029]1 安装座；
[0030]2 卡爪安装座；
[0031]3 第二驱动件；
[0032]4 升降杆；
[0033]5 皮带；
[0034]6 皮带轮；
[0035]8 水平滑轨；
[0036]11 竖直滑轨；
[0037]12 水平安装块；
[0038]41 升降滑块；
[0039]51 传感器；
[0040]71 刹车盘；
[0041]72 阻挡滑块；
[0042]91 齿条；
[0043]92 第一驱动件。
具体实施方式
[0044]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0045]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、
“
前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0046]在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0047]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。
[0048]实施例
[0049]本实施例提供一种晶圆清洗升降传输机构，包括：
[0050]水平滑轨8，水平布置，为高低设置的两根，布置于晶圆清洗设备的侧面；
[0051]齿条91，与水平滑轨8平行设置；
[0052]安装座1，通过竖直滑块安装于水平滑轨8上，具有竖直滑轨11，所述安装座1底部具有水平安装块12；
[0053]第一驱动件92，输出端具有与齿条91配合的齿轮，所述第一驱动件92驱动齿转动从而使安装座1沿水平滑轨8移动；优选第一驱动件92为伺服步进电机；
[0054]卡爪安装座2，设置于升降杆4顶部，所述升降杆4通过升降滑块41安装于所述竖直滑轨11上，所述升降杆4底部穿过水平安装块12并在端部设置有皮带轮6；
[0055]第二驱动件3，设置于水平安装块本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗升降传输机构，其特征在于，包括：水平滑轨(8)，水平布置，布置于晶圆清洗设备的侧面；齿条(91)，与水平滑轨(8)平行设置；安装座(1)，通过竖直滑块安装于水平滑轨(8)上，具有竖直滑轨(11)，所述安装座(1)底部具有水平安装块(12)；第一驱动件(92)，输出端具有与齿条(91)配合的齿轮，所述第一驱动件(92)驱动齿转动从而使安装座(1)沿水平滑轨(8)移动；卡爪安装座(2)，设置于升降杆(4)顶部，所述升降杆(4)通过升降滑块(41)安装于所述竖直滑轨(11)上，所述升降杆(4)底部穿过水平安装块(12)并在端部设置有皮带轮(6)；第二驱动件(3)，设置于水平安装块(12)上，通过皮带(5)与皮带轮(6)配合，第二驱动件(3)能够通过皮带(5)、皮带轮(6)带动所述升降杆(4)转动，从使卡爪安装座(2)升降；传感器(51)，用于感应皮带(5)是否断裂，皮带(5)正常时，传感器(51)能够感应到皮带(5)，皮带(5)断裂时，传感器(51)无法感应到皮带(5)；防坠机构，用于在传感器(51)感应到皮带(5)断裂时防止所述升降杆(4)转动。2.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，全陈义，吴亚晨，
申请(专利权)人：江苏亚电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：