单晶炉用螺栓及单晶炉制造技术

技术编号:35800628 阅读:20 留言:0更新日期:2022-12-01 14:58
本实用新型专利技术实施例涉及单晶硅制造技术领域,提供一种单晶炉用螺栓及单晶炉,单晶炉用螺栓包括:相连接的螺杆以及螺盖,所述螺盖远离所述螺杆的表面具有第一螺孔,所述第一螺孔的底面至少具有一个与所述第一螺孔相贯通的第二螺孔,且沿所述螺杆指向所述螺盖的方向上,所述第二螺孔在所述螺盖表面的正投影位于所述第一螺孔在所述螺盖表面的正投影内。本实用新型专利技术提供的单晶炉用螺栓及单晶炉至少可以降低硅棒的生产成本。降低硅棒的生产成本。降低硅棒的生产成本。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉用螺栓及单晶炉


[0001]本技术实施例涉及单晶硅制造
,特别涉及一种单晶炉用螺栓及单晶炉。

技术介绍

[0002]太阳能电池所采用的基底一般为单晶硅片,单晶硅棒一般通过直拉法(Czochralski法, CZ法)或者区熔法(Floating Zone法,FZ法)制备,分为直拉单晶硅以及区熔单晶硅,直拉单晶硅的制备设备一般为单晶炉。
[0003]单晶炉,全自动直拉单晶生长炉,是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉主要包括炉室、坩埚以及驱动结构。驱动结构通过坩埚轴与坩埚托杆实现坩埚的旋转和上下移动,坩埚位于单晶炉内用于融化多晶材料以及制备单晶硅棒。然后,在生产单晶硅棒的过程中,由于环境以及操作过程的影响,可能导致硅棒的生产成本上升。
[0004]例如托杆螺栓用于连接托杆和坩埚轴,托杆的顶部与坩埚接触,且单晶炉的炉内温度高达上千摄氏度,随着单晶炉托杆螺栓使用次数的增加,托杆下轴螺栓的内螺孔会出现滑丝现象,即无法正常拆卸托杆与坩埚轴,只能通过人工将托杆砸断的方式架将晶棒取出,然而损坏后的托杆无法继续使用,从而造成晶棒的生产成本的增加。

技术实现思路

[0005]本技术实施例提供一种单晶炉用螺栓及单晶炉,至少有利于降低硅棒的生产成本。
[0006]根据本技术一些实施例,本技术实施例一方面提供一种单晶炉用螺栓,包括:相连接的螺杆以及螺盖,螺盖远离螺杆的表面具有第一螺孔,第一螺孔的底面至少具有一个与第一螺孔相贯通的第二螺孔,且沿螺杆指向螺盖的方向上,第二螺孔在螺盖表面的正投影位于第一螺孔在螺盖表面的正投影内。
[0007]另外,第一螺孔的轴线与第二螺孔的轴线重叠;或者,第一螺孔的轴线与第二螺孔的轴线之间的间距范围为0mm~3mm。
[0008]另外,沿平行于螺盖表面的方向上,第一螺孔与第二螺孔的间距为2mm~6mm。
[0009]另外,沿螺杆指向螺盖的方向上,第一螺孔的深度与螺盖的厚度的比值范围为1:3~1:10。
[0010]另外,第一螺孔的深度等于第二螺孔的深度。
[0011]另外,第一螺孔的深度范围为1.5mm~6mm。
[0012]另外,第二螺孔的数量大于等于2,且沿平行于螺盖表面的方向,靠近第一螺孔的第二螺孔的宽度大于远离第一螺孔的第二螺孔的宽度。
[0013]根据本技术一些实施例,本技术实施例另一方面还提供一种单晶炉,包括:保温筒、坩埚、导流筒、埚邦以及螺栓,螺栓如上述实施例任一项的螺栓。
[0014]另外,螺栓为托杆螺栓;坩埚的底部具有坩埚托杆以及坩埚轴,坩埚托杆包括托杆本体和托杆螺栓,托杆本体通过托杆螺栓与坩埚轴连接。
[0015]另外,螺栓为电极螺栓,电极螺栓用于固定加热电极;或者,螺栓为连接螺栓,连接螺栓用于固定坩埚与埚邦、保温筒与埚邦。
[0016]本技术实施例提供的技术方案至少具有以下优点:
[0017]本技术实施例提供的技术方案中,通过对螺栓的螺孔进行改造,设置第一螺孔的底面具有至少一个与第一螺孔相贯通的第二螺孔,当其中一个螺孔(第一螺孔或者第二螺孔) 由于高温导致变形或者高频率使用导致滑丝时,可以通过使用另一个螺孔进行拆卸托杆下轴,避免单个螺孔发生损坏时导致托杆下轴无法取出的问题,减少托杆损耗,从而降低晶棒的生产成本。第二螺孔在螺盖表面的正投影位于第一螺孔在螺盖表面的正投影内,即第二螺孔的尺寸小于第一螺孔的尺寸,可以在单位面积内以及固定深度的螺盖形成多个重叠且尺寸逐渐减小的螺孔,可以提高螺栓的实用性,且可以从螺栓的数量上降低晶棒的生产成本。
附图说明
[0018]一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明,这些示例性说明并不构成对实施例的限定,除非有特别申明,附图中的图不构成比例限制。
[0019]图1为本技术一实施例提供的单晶炉用螺栓的一种结构示意图;
[0020]图2为本技术一实施例提供的单晶炉用螺栓的另一种结构示意图;
[0021]图3为本技术一实施例提供的单晶炉用螺栓的螺盖的一种结构示意图;
[0022]图4为本技术一实施例提供的单晶炉的一种结构示意图。
具体实施方式
[0023]由
技术介绍
可知,现有技术的单晶炉存在硅棒的生产成本较高的问题。
[0024]本技术实施例提供一种单晶炉用螺栓及单晶炉,通过对螺栓的螺孔进行改造,设置第一螺孔的底面具有至少一个与第一螺孔相贯通的第二螺孔,当其中一个螺孔(第一螺孔或者第二螺孔)由于高温导致变形或者高频率使用导致滑丝时,可以通过使用另一个螺孔进行拆卸托杆下轴,避免单个螺孔发生损坏时导致托杆下轴无法取出的问题,减少托杆损耗,从而降低晶棒的生产成本。第二螺孔在螺盖表面的正投影位于第一螺孔在螺盖表面的正投影内,即第二螺孔的尺寸小于第一螺孔的尺寸,可以在单位面积内以及固定深度的螺盖形成多个重叠且尺寸逐渐减小的螺孔,可以提高螺栓的实用性,且可以从螺栓的数量上降低晶棒的生产成本。
[0025]下面将结合附图对本申请的各实施例进行详细的阐述。然而,本领域的普通技术人员可以理解,在本申请各实施例中,为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是,即使没有这些技术细节和基于以下各实施例的种种变化和修改,也可以实现本申请所要求保护的技术方案。
[0026]图1为本技术一实施例提供的单晶炉用螺栓的一种结构示意图;图2为本技术一实施例提供的单晶炉用螺栓的另一种结构示意图;图3为本技术一实施例提供的单晶炉用螺栓的螺盖的一种结构示意图。
[0027]根据本技术的一些实施例,本技术实施例一方面提供一种单晶炉用螺栓,包括:相连接的螺杆11以及螺盖12,螺盖12远离螺杆11的表面具有第一螺孔121,第一螺孔121 的底面至少具有一个与第一螺孔121相贯通的第二螺孔122,且沿螺杆11指向螺盖12的方向Y上,第二螺孔122在螺盖12表面的正投影位于第一螺孔121在螺盖11表面的正投影内。
[0028]在一些实施例中,螺栓为托杆螺栓;坩埚的底部具有坩埚托杆以及坩埚轴,坩埚托杆包括托杆本体和托杆螺栓,托杆本体通过托杆螺栓与坩埚轴连接。在另一些实施例中,螺栓为电极螺栓,电极螺栓用于固定电极;或者,螺栓为连接螺栓,连接螺栓用于固定坩埚与埚邦、保温筒与埚邦。
[0029]在一些实施例中,螺杆11为具有外螺纹的圆柱体。螺盖12按照形状可以包括六角头螺盖、圆头螺盖、方形头螺盖或者沉头螺盖等。螺杆11的长边延伸方向与螺盖12的长边延伸方向垂直,且螺杆11的轴线与螺盖12的轴线重合。
[0030]在一些实施例中,如图1所示,第一螺孔121的轴线101与第二螺孔122的轴线重叠。如此,第二螺孔122两边的厚度较为均匀,使用扳手进行旋转拆卸或者组装时两边的着力点相同,不会发生偏移导致螺栓的螺杆由于力的不均匀出现磨损甚至螺本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用螺栓,其特征在于,包括:相连接的螺杆以及螺盖,所述螺盖远离所述螺杆的表面具有第一螺孔,所述第一螺孔的底面至少具有一个与所述第一螺孔相贯通的第二螺孔,且沿所述螺杆指向所述螺盖的方向上,所述第二螺孔在所述螺盖表面的正投影位于所述第一螺孔在所述螺盖表面的正投影内。2.根据权利要求1所述的单晶炉用螺栓,其特征在于,所述第一螺孔的轴线与所述第二螺孔的轴线重叠;或者,所述第一螺孔的轴线与所述第二螺孔的轴线之间的间距范围为0mm~3mm。3.根据权利要求1所述的单晶炉用螺栓,其特征在于,沿平行于所述螺盖表面的方向上,所述第一螺孔与所述第二螺孔的间距为2mm~6mm。4.根据权利要求1所述的单晶炉用螺栓,其特征在于,沿所述螺杆指向所述螺盖的方向上,所述第一螺孔的深度与所述螺盖的厚度的比值范围为1:3~1:10。5.根据权利要求1或4所述的单晶炉用螺栓,其特征在于,所述第一螺孔的深度等...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈林军肖瑶许正友涂鑫鑫陈昌林
申请(专利权)人:四川晶科能源有限公司
类型:新型
国别省市:

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