本实用新型专利技术公开一种用于纳米压印的模片固定装置及纳米压印设备，涉及半导体设备技术领域，所述用于纳米压印的模片固定装置包括：支架；设置有升降装置；固定架组件，与所述升降装置相连接；所述固定架组件包括框架，以及至少设置于所述框架一端用于模片张紧的弹性夹紧机构；张紧组件，用于将所述模片张紧，所述张紧组件包括分别压设于所述模片两端并沿所述支架高度方向上下运动的第一压紧组件和第二压紧组件。本实用新型专利技术能够将装夹后的模片张紧展平，使模片与下方基板压合时保持较好的平整度，有效提升纳米压印设备的压印效果。有效提升纳米压印设备的压印效果。有效提升纳米压印设备的压印效果。
【技术实现步骤摘要】
一种用于纳米压印的模片固定装置及纳米压印设备
[0001]本技术涉及半导体设备
，尤其涉及一种用于纳米压印的模片固定装置及纳米压印设备。
技术介绍
[0002]纳米压印设备通过模片对基板进行压印时，需要对模片进行固定，然后再通过压板压合或辊轴碾压的方式使模片均匀的与下方基板平整的压合。在此过程中，由于模片材质较薄，模片在进行安装固定时，很容易使模片处于一种松弛或褶皱状态，继而无法与下方基板保持较好的平整度，因此也很难达到较好的压印效果。
技术实现思路
[0003](一)要解决的技术问题
[0004]本技术旨在提出一种用于纳米压印的模片固定装置及纳米压印设备，能够将装夹后的模片张紧展平，使模片与下方基板压合时保持较好的平整度，有效提升纳米压印设备的压印效果。
[0005](二)技术方案
[0006]为解决上述技术问题，本技术提供一种用于纳米压印的模片固定装置，包括：支架；设置有升降装置；
[0007]固定架组件，与所述升降装置相连接；所述固定架组件包括框架，以及至少设置于所述框架一端用于模片张紧的弹性夹紧机构；
[0008]张紧组件，用于将所述模片张紧，所述张紧组件包括分别压设于所述模片两端并沿所述支架高度方向上下运动的第一压紧组件和第二压紧组件。
[0009]根据本技术一种优选实施方式，所述框架包括外框架和内框架，所述外框架与所述支架滑动连接，所述内框架架设于所述外框架，所述内框架的下底面水平设置有所述模片，所述模片远离所述弹性夹紧机构的一端与所述内框架的下底面可拆卸连接。
[0010]根据本技术一种优选实施方式，所述弹性夹紧机构包括沿所述模片张紧方向设置于所述内框架的相对两侧的第一导轨，以及与所述第一导轨滑动连接的弹性夹板，所述弹性夹板与所述模片的一端紧固，所述模片的另一端通过设置于所述内框架底部的压板紧固。
[0011]根据本技术一种优选实施方式，所述外框架设置有与所述支架滑动连接的竖直壁，所述第一压紧组件与所述竖直壁紧固。
[0012]根据本技术一种优选实施方式，所述第一压紧组件包括沿所述竖直壁高度方向设置的第二导轨、设置于所述竖直壁顶部的第一气缸、以及设置于所述第一气缸的驱动端并与所述第二导轨滑动连接的压头，所述压头位于所述模片一端的上方。
[0013]根据本技术一种优选实施方式，所述第二压紧组件包括与所述弹性夹板滑动配合的压紧件，以及设置于所述外框架的相对两侧壁用于驱动所述压紧件压紧所述模片的
驱动组件。
[0014]根据本技术一种优选实施方式，所述驱动组件包括分别枢接于所述外框架侧壁相对两侧壁的枢接臂，以及设置于所述外框架的侧壁用于驱动所述枢接臂翻转的气缸，所述枢接臂远离所述气缸的一端与设置于所述压紧件侧壁的凸起相卡接。
[0015]根据本技术一种优选实施方式，所述压紧件包括横跨于所述外框架的压紧架，以及水平设置于所述压紧架内的压条，所述压条通过导杆与所述压紧架紧固。
[0016]根据本技术一种优选实施方式，所述弹性夹板的一侧设置有延伸凸起，所述延伸凸起贯穿设置有导孔，所述导杆穿设于所述导孔并与所述导孔滑动连接；所述压条位于所述延伸凸起的下方。
[0017]为解决上述技术问题，本技术还提供一种纳米压印设备，包括上述任意一项所述的模片固定装置。
[0018](三)有益效果
[0019]本技术提供的用于纳米压印的模片固定装置及纳米压印设备，在支架上设置升降装置与固定架组件连接，并在固定架组件的框架一端设置用于模片张紧的弹性夹紧机构，在张紧组件中分别设置压紧模片两端并沿支架高度方向上下运动的第一压紧组件和第二压紧组件，使用时，通过弹性夹紧机构将模片张紧于固定架组件内；通过第一压紧组件沿竖直方向运动将模片一端张紧，通过第二压紧组件将模片另一端张紧，从而将装夹后的模片张紧展平，使模片与下方基板压合时保持较好的平整度，有效提升纳米压印设备的压印效果。
附图说明
[0020]图1是本技术用于纳米压印的模片固定装置的结构示意图；
[0021]图2是本技术内框架的结构示意图；
[0022]图3是本技术固定架组件的俯视图；
[0023]图4是本技术夹紧组件的结构示意图；
[0024]图5是本技术中模片处于张紧状态的示意图；
[0025]其中：1
‑
模片，2
‑
支架，3
‑
固定架组件，31
‑
外框架，32
‑
内框架，321
‑
支撑腿，322
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第一压板，323
‑
提手，4
‑
驱动机构，51
‑
第一压紧组件，511
‑
滑座第二导轨，512
‑
第一气缸，513
‑
压头，52
‑
第二压紧组件，5211
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弹性夹板，52111
‑
延伸凸起，5212
‑
弹力件，5213
‑
定位块，5214
‑
第二压板，5221
‑
压紧架，5222
‑
导杆，5223
‑
压条，5224
‑
凸起，5231
‑
枢接臂，5232
‑
气缸，5233
‑
连接件，6
‑
导风件。
具体实施方式
[0026]在对于具体实施例的介绍过程中，对结构、性能、效果或者其他特征的细节描述是为了使本领域的技术人员对实施例能够充分理解。但是，并不排除本领域技术人员可以在特定情况下，以不含有上述结构、性能、效果或者其他特征的技术方案来实施本技术。
[0027]附图中的框图一般表示的是功能实体，并不一定必然与物理上独立的实体相对应。即，可以采用软件形式来实现这些功能实体，或在一个或多个硬件模块或集成电路中实现这些功能实体，或在不同网络和/或处理单元装置和/或微控制器装置中实现这些功能实
体。
[0028]各附图中相同的附图标记表示相同或类似的元件、组件或部分，因而下文中可能省略了对相同或类似的元件、组件或部分的重复描述。还应理解，虽然本文中可能使用第一、第二、第三等表示编号的定语来描述各种器件、元件、组件或部分，但是这些器件、元件、组件或部分不应受这些定语的限制。也就是说，这些定语仅是用来将一者与另一者区分。例如，第一器件亦可称为第二器件，但不偏离本技术实质的技术方案。此外，术语“和/或”、“及/或”是指包括所列出项目中的任一个或多个的所有组合。
[0029]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本技术作进一步的详细说明。
[0030]本技术提本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于纳米压印的模片固定装置，其特征在于，包括：支架；设置有升降装置；固定架组件，与所述升降装置相连接；所述固定架组件包括框架，以及至少设置于所述框架一端用于模片张紧的弹性夹紧机构；张紧组件，用于将所述模片张紧，所述张紧组件包括分别压设于所述模片两端并沿所述支架高度方向上下运动的第一压紧组件和第二压紧组件。2.根据权利要求1所述的一种用于纳米压印的模片固定装置，其特征在于，所述框架包括外框架和内框架，所述外框架与所述支架滑动连接，所述内框架架设于所述外框架，所述内框架的下底面水平设置有所述模片，所述模片远离所述弹性夹紧机构的一端与所述内框架的下底面可拆卸连接。3.根据权利要求2所述的一种用于纳米压印的模片固定装置，其特征在于，所述弹性夹紧机构包括沿所述模片张紧方向设置于所述内框架的相对两侧的第一导轨，以及与所述第一导轨滑动连接的弹性夹板，所述弹性夹板与所述模片的一端紧固，所述模片的另一端通过设置于所述内框架底部的压板紧固。4.根据权利要求2所述的一种用于纳米压印的模片固定装置，其特征在于，所述外框架设置有与所述支架滑动连接的竖直壁，所述第一压紧组件与所述竖直壁紧固。5.根据权利要求4所述的一种用于纳米压印的模片固定装置，其特征在于，所述第一压紧组件包括沿所...
【专利技术属性】
技术研发人员：娄飞，
申请(专利权)人：深圳市雕拓科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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