本实用新型专利技术公开了砷化镓生产加工技术领域的一种砷化镓晶圆水平法切割装置，包括工作台与驱动电机，所述工作台表面开设有放置砷化镓晶柱的凹槽，所述凹槽的底部为弧形，所述凹槽的底部滑动连接有驱动推杆；本实用新型专利技术在工作前，通过砷化镓晶柱厚度的不同来间接调节打磨辊右端的位置，从而来调节打磨辊所能打磨的最大圆直径，有利于根据砷化镓晶柱厚度的不同来确定打磨的最大圆柱的晶柱，从而减少多余的打磨，避免浪费；连接球与其上的十字环形槽可以满足打磨辊与转动齿轮转动轴之间的角度调节，有利于在打磨辊的右端进行抬起时，转动齿轮依然能对打磨辊提供稳定的驱动力，避免卡死或驱动力不稳定。或驱动力不稳定。或驱动力不稳定。
【技术实现步骤摘要】
一种砷化镓晶圆水平法切割装置
[0001]本技术涉及砷化镓生产加工
，具体为一种砷化镓晶圆水平法切割装置。
技术介绍
[0002]砷化镓是一种重要的半导体材料，砷化镓可以制成电阻率比硅、锗高3个数量级以上的半绝缘高阻材料，用来制作集成电路衬底、红外探测器、γ光子探测器等；在利用水平法进行制造砷化镓时，制成的砷化镓晶柱截面为独特的“D”形，在对晶柱进行切割前需要将晶柱进行打磨成圆形。
[0003]现有技术在对水平法制成的砷化镓晶柱进行打磨时，一般是直接对砷化镓晶柱进行统一的打磨，然而水平法制成的晶柱的厚度并不相同，进行统一的打磨会使较厚的晶柱打磨的较多，造成浪费，不能打磨出晶柱截面所能打磨出的最大圆，而较薄的晶柱部分不能被完全打磨，导致晶柱不能被打磨成完全的圆形，需要进行二次打磨。
[0004]基于此，本技术设计了一种砷化镓晶圆水平法切割装置，以解决上述问题。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种砷化镓晶圆水平法切割装置，以解决上述
技术介绍
中提出了现有技术在对水平法制成的砷化镓晶柱进行打磨时，一般是直接对砷化镓晶柱进行统一的打磨，然而水平法制成的晶柱的厚度并不相同，进行统一的打磨会使较厚的晶柱打磨的较多，造成浪费，不能打磨出晶柱截面所能打磨出的最大圆，而较薄的晶柱部分不能被完全打磨，导致晶柱不能被打磨成完全的圆形，需要进行二次打磨的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种砷化镓晶圆水平法切割装置，包括工作台与驱动电机，所述工作台表面开设有放置砷化镓晶柱的凹槽，所述凹槽的底部为弧形，所述凹槽的底部滑动连接有驱动推杆，所述驱动推杆左端有部分凸起并且其左端位于砷化镓晶柱的左侧，所述凹槽的上方设有压盖，所述压盖可以将砷化镓的上端盖住，所述压盖的上端右侧固定连接有顶动块，所述顶动块的右侧为斜面，所述工作台表面对应压盖的两侧位置均固定连接有限位板，所述工作台的右侧底部固定连接有辅助台，所述辅助台上端上下滑动连接有支撑架，所述支撑架的上端固定连接有打磨筒，所述打磨筒的左端固定连接有内齿环，所述内齿环右侧转动连接有外齿环，所述驱动电机固定连接在内齿环的左侧，所述驱动电机转动轴贯穿内齿环后固定连接有驱动齿轮，所述驱动齿轮与外齿环啮合，所述外齿环表面转动连接有三个等距排列的转动齿轮，三个所述转动齿轮均与内齿环啮合并且三个所述转动齿轮转动轴贯穿外齿环，三个所述转动齿轮转动轴右端均设有球铰链机构，三个所述转动齿轮转动轴均通过球铰链机构连接有打磨辊，所述打磨辊斜向布置并且其底部为圆弧形，所述打磨辊的尾端固定连接有轴承，所述轴承表面固定连接有可伸缩的弧形拉板，所述弧形拉板的顶部贯穿打磨筒，所述打磨筒对应弧形拉板位置开设有通槽，所述通槽将打磨筒分为两部分，所述打磨筒的表面对应通槽位置套接有推动环，所
述弧形拉板的顶部滑动在推动环的内壁上，所述弧形拉板的中间位置固定连接有拉动绳，所述拉动绳的另一端与推动环的内壁固定连接，所述打磨筒上端对应顶动块位置滑动连接有推动杆，所述推动杆左端为斜面并且其右端与推动环接触，所述打磨筒的内壁右侧设有限定机构，所述限定机构用来限定打磨后的砷化镓晶柱符合晶柱的最大圆；
[0007]所述球铰链机构包括连接球，所述连接球表面开设有十字环形槽，所述转动齿轮转动轴右端与所述打磨辊左端均滑动在十字环形槽内；
[0008]工作时，现有技术在对水平法制成的砷化镓晶柱进行打磨时，一般是直接对砷化镓晶柱进行统一的打磨，然而水平法制成的晶柱的厚度并不相同，进行统一的打磨会使较厚的晶柱打磨的较多，造成浪费，不能打磨出晶柱截面所能打磨出的最大圆，而较薄的晶柱部分不能被完全打磨，导致晶柱不能被打磨成完全的圆形，需要进行二次打磨，本技术在工作前，需要将压盖拿起，将砷化镓晶柱放入到凹槽内，随后利用压盖将砷化镓晶柱盖压固定，在利用压盖将砷化镓晶柱进行固定时，顶动块右侧的斜面会作用推动杆左侧端部的斜面，推动杆会向右侧移动，推动环会在推动杆的作用向右侧移动，推动环向右侧移动会带动拉动绳一起向右侧移动，拉动绳会拉动弧形拉板，弧形拉板的下端会向上移动，从而将打磨辊的右端拉起，使打磨辊所能打磨的最大圆直径增大，有利于根据砷化镓晶柱厚度的不同来确定打磨的最大圆柱的晶柱，从而减少多余的打磨，避免浪费，随后驱动杆与驱动电机启动，驱动杆会推动砷化镓晶体移动，驱动电机会带动驱动齿轮转动，外齿环会在驱动齿轮的作用下转动，转动齿轮会在外齿环的带动下进行公转，在转动齿轮公转的同时，转动齿轮会在内齿环的作用下自转，转动齿轮转动轴会随着一起自转，打磨辊会在转动齿轮转动轴与连接球的作用下转动，连接球与其上的十字环形槽可以满足打磨辊与转动齿轮转动轴之间的角度调节，有利于在打磨辊的右端进行抬起时，转动齿轮依然能对打磨辊提供稳定的驱动力，避免卡死或驱动力不稳定，打磨辊会随着转动齿轮转动轴一起公转并且自转，一方面有利于提高打磨的效果，另一方面有利于使砷化镓晶柱的表面能被均匀的打磨，保证打磨出晶柱的圆度。
[0009]在砷化镓晶柱被打磨后，其未被打磨成圆形的部分可能会移动出打磨辊的打磨范围，为了解决以上问题，作为本技术的进一步方案，所述限定机构包括阻挡环，所述阻挡环的中间位置有通口，所述通口左侧铰接有三个等角度排列的限定板，所述限定板的左端为弧形并且所述限定板的底部中间位置固定连接有擦拭棉，所述限定板的中间位置铰接有调节杆，所述调节杆贯穿所述打磨筒后端部向左侧弯折并延伸所述推动环位置，所述调节杆上端左侧为斜面；工作时，在砷化镓晶柱被压盖压住固定的过程中，推动杆与推动环会在顶动块的作用下向右侧移动，在推动环向右侧移动的过程中，推动环的右侧会作用调节杆顶部左侧的斜面，调节杆会在推动环的作用下向打磨筒的外侧移动，限定板会在调节杆的作用下转动，从而增大左侧形成圆形的直径，限定板能根据砷化镓的厚度来进行调节左侧圆形直径的大小，有利于使限定板遂形成的圆与打磨辊可以根据砷化镓厚度进行调节变化的圆直径相适应，在砷化镓晶柱未被打磨成与限定板右侧的弧形板形成的圆形直径相匹配时，砷化镓晶柱则会被阻挡，不能通过，打磨辊会持续对砷化镓晶柱进行打磨，当砷化镓晶柱的截面圆直径与限定板右侧的弧形板形成的圆形直径相匹配时，砷化镓晶柱则能通过限定板，有利于保证砷化镓晶柱能被打磨成复合要求的圆形柱体，避免砷化镓晶柱未被打磨成符合要求的柱体移动出打磨范围，在打磨完成的砷化镓柱体移动过限定板时，限定板
底部的擦拭棉会将柱体表面打磨产生的粉末擦除，避免粉末到处飞扬，不便于清理，阻挡环能将擦拭落下的粉末与打磨时产生的粉末进行阻挡，有利于使打磨与擦拭产生的粉末的范围限制在打磨筒的内部，避免四处飞扬。
[0010]水平法制成的砷化镓晶柱为“D”形，其两侧的打磨余量较多，会导致打磨时间长，并且两侧的余量可以打磨成较小的圆形，在特殊的环境内可以得到利用，为了解决以上问题，作为本技术的进一步方案，所述工作台对应所述凹槽底部前后两侧位置均开设有弧形引导槽，两个所述弧形引导槽内均滑动连接有可伸缩的弧形引导轨，所述弧形引导轨本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种砷化镓晶圆水平法切割装置，包括工作台(1)与驱动电机(2)，其特征在于：所述工作台(1)表面开设有放置砷化镓晶柱的凹槽(3)，所述凹槽(3)的底部为弧形，所述凹槽(3)的底部滑动连接有驱动推杆(4)，所述驱动推杆(4)左端有部分凸起并且其左端位于砷化镓晶柱的左侧，所述凹槽(3)的上方设有压盖(5)，所述压盖(5)可以将砷化镓的上端盖住，所述压盖(5)的上端右侧固定连接有顶动块(6)，所述顶动块(6)的右侧为斜面，所述工作台(1)表面对应压盖(5)的两侧位置均固定连接有限位板(7)，所述工作台(1)的右侧底部固定连接有辅助台(8)，所述辅助台(8)上端上下滑动连接有支撑架(9)，所述支撑架(9)的上端固定连接有打磨筒(10)，所述打磨筒(10)的左端固定连接有内齿环(11)，所述内齿环(11)右侧转动连接有外齿环(12)，所述驱动电机(2)固定连接在内齿环(11)的左侧，所述驱动电机(2)转动轴贯穿内齿环(11)后固定连接有驱动齿轮(13)，所述驱动齿轮(13)与外齿环(12)啮合，所述外齿环(12)表面转动连接有三个等距排列的转动齿轮(14)，三个所述转动齿轮(14)均与内齿环(11)啮合并且三个所述转动齿轮(14)转动轴贯穿外齿环(12)，三个所述转动齿轮(14)转动轴右端均设有球铰链机构，三个所述转动齿轮(14)转动轴均通过球铰链机构连接有打磨辊(15)，所述打磨辊(15)斜向布置并且其底部为圆弧形，所述打磨辊(15)的尾端固定连接有轴承(16)，所述轴承(16)表面固定连接有可伸缩的弧形拉板(17)，所述弧形拉板(17)的顶部贯穿打磨筒(10)，所述打磨筒(10)对应弧形拉板(17)位置开设有通槽(18)，所述通槽(18)将打磨筒(10)分为两部分，所述打磨筒(10)的表面对应通槽(18)位置套接有推动环(19)，所述弧形拉板(17)的顶部滑动在推动环(19)的内壁上，所述弧形拉板(17)的中间位置固定连接有拉动绳(20)，所述拉动绳(20) 的另一端与推动环(19)的内壁固定连接，所述打磨筒(10)上端对应顶动块(6)位置滑动连接有推动杆(21)，所述推动杆(21)左端为斜面并且其右端与推动环(19)接触，所述打磨筒(10)的内壁右侧设有限定机构，所述限定机构用来限定打磨后的砷化镓晶柱符合晶柱的最大圆。2.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶圆水平法切割装置，其特征在于：所述球铰链机构包括连接球(22...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁永，
申请(专利权)人：苏州诺富微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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