本实用新型专利技术涉及晶圆技术领域，具体为一种晶圆切割面用的背面抛光装置，包括加工台，所述加工台的顶端固定连接有放置块。该晶圆切割面用的背面抛光装置，通过设置有放置块、第一电机、螺纹杆、连接块、液压推杆和抛光块，以实现该抛光装置具有批量抛光的目的，将晶圆分别放置在放置块顶端的放置槽内部，启动第一电机，带动第一旋转轴和第一锥形齿轮的转动，通过第一锥形齿轮和第二锥形齿轮的相互啮合，带动螺纹杆的旋转，继而通过螺纹杆与连接块的相互啮合，带动抛光块水平移动至放置槽顶端，启动液压推杆和第二电机，带动抛光块的位置下降和旋转，达到对晶圆背面的抛光，同时改善晶圆边缘的光滑度，并且实现对晶圆背面批量化抛光。光。光。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆切割面用的背面抛光装置
[0001]本技术涉及晶圆
，具体为一种晶圆切割面用的背面抛光装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点，其中晶圆在生产的过程中需要对其背面进行抛光。
[0003]目前，传统的抛光方式中，逐个晶圆进行颊齿固定，然后进行抛光，降低其工作效率，人工劳动强度大，花费大量时间，不能实现批量化抛光，给晶圆的生产带来一定的困扰。
技术实现思路
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种晶圆切割面用的背面抛光装置，具备便于批量抛光等优点，解决了一般晶圆切割面用的背面抛光装置不便于批量抛光的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆切割面用的背面抛光装置，包括加工台，所述加工台的顶端固定连接有放置块，所述放置块的顶端开设有放置槽，所述放置块的顶端开设有拿取槽，所述加工台的顶端固定连接有支撑板，所述支撑板的一侧固定连接有防护罩，所述防护罩的内底壁固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端通过联轴器固定连接有第一旋转轴，所述第一旋转轴的顶端固定连接有第一锥形齿轮，所述第一锥形齿轮的一侧活动连接有第二锥形齿轮，所述第二锥形齿轮的一侧固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端固定连接有轴承，所述螺纹杆的外壁活动连接有连接块，所述连接块的顶端固定连接有连接杆，所述连接杆的顶端固定连接有限位环，所述限位环的内部活动连接有限位杆。
[0006]所述连接块的底端固定连接有液压推杆，所述液压推杆的输出端固定连接有防护箱，所述防护箱的内顶壁固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端通过联轴器固定连接有第二旋转轴，所述第二旋转轴的底端固定连接有抛光块，所述支撑板的一侧固定连接有集尘箱，所述集尘箱的一侧固定连接有抽风机，所述集尘箱的一侧固定连接有吸尘罩，所述抽风机的外壁活动连接有限位罩，所述限位罩的内壁固定连接有防滑垫，所述限位罩的内部固定连接有防尘网。
[0007]进一步，所述放置块的数量为三个，且三个放置块等距离设置在加工台的顶端。
[0008]进一步，所述支撑板的数量为两个，且两个支撑板以限位杆的中垂线为对称轴对称设置。
[0009]进一步，所述支撑板的一侧开设有轴承槽，且轴承槽的形状大小与轴承的形状大小均相互匹配。
[0010]进一步，所述螺纹杆贯穿连接块的内部并延伸至连接块的两侧，且螺纹杆与连接块活动连接。
[0011]进一步，所述限位环的形状大小与限位杆的形状大小均相互匹配，且连接块通过限位环与限位杆活动连接。
[0012]进一步，所述第二旋转轴贯穿防护箱并延伸至防护箱的底端，且第二旋转轴与防护箱活动连接。
[0013]与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：
[0014]1、该晶圆切割面用的背面抛光装置，通过设置有放置块、第一电机、第一锥形齿轮、第二锥形齿轮、螺纹杆、连接块、液压推杆和抛光块，以实现该抛光装置具有批量抛光的目的，将晶圆分别放置在放置块顶端的放置槽内部，启动第一电机，带动第一旋转轴和第一锥形齿轮的转动，通过第一锥形齿轮和第二锥形齿轮的相互啮合，带动螺纹杆的旋转，继而通过螺纹杆与连接块的相互啮合，带动抛光块水平移动至放置槽顶端，启动液压推杆和第二电机，带动抛光块的位置下降和旋转，达到对晶圆背面的抛光，同时改善晶圆边缘的光滑度，并且实现对晶圆背面批量化抛光，省时省力，减少劳动者的劳动强度，并且提高晶圆的生产效率，从而使人们使用起来更加的便捷。
[0015]2、该晶圆切割面用的背面抛光装置，通过设置有集尘箱、抽风机、吸尘罩、限位罩、防滑垫和防尘网，以实现该抛光装置具有更好防护效果的目的，将限位罩套进抽风机口外壁，在晶圆抛光的过程中，启动抽风机，将灰尘等通过吸尘罩导入集尘箱内部，且在抽风机口安装有防尘网，以防不明过大物体进入抽风机内，使得抽风机损坏，减少不必要的损坏，同时避免操作人员吸入过多灰尘，导致身体不适，并且保护空气环境，从而使人们使用起来更加的省心。
附图说明
[0016]图1为本技术结构示意图；
[0017]图2为本技术正视结构示意图；
[0018]图3为本技术限位罩与防滑垫连接结构立体图；
[0019]图4为本技术图1中A处放大结构示意图；
[0020]图5为本技术图1中B处放大结构示意图。
[0021]图中：1、加工台；2、放置块；3、放置槽；4、拿取槽；5、支撑板；6、防护罩；7、第一电机；8、第一旋转轴；9、第一锥形齿轮；10、第二锥形齿轮；11、螺纹杆；12、轴承；13、连接块；14、连接杆；15、限位环；16、限位杆；17、液压推杆；18、防护箱；19、第二电机；20、第二旋转轴；21、抛光块；22、集尘箱；23、抽风机；24、吸尘罩；25、限位罩；26、防滑垫；27、防尘网。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1
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5，本实施例中的一种晶圆切割面用的背面抛光装置，包括加工台1，加工台1的顶端固定连接有放置块2，放置块2的顶端开设有放置槽3，放置块2的顶端开设有拿取槽4，加工台1的顶端固定连接有支撑板5，支撑板5的一侧固定连接有防护罩6，防护罩6的内底壁固定连接有第一电机7，第一电机7的输出端通过联轴器固定连接有第一旋转轴8，第一旋转轴8的顶端固定连接有第一锥形齿轮9，第一锥形齿轮9的一侧活动连接有第二锥形齿轮10，第二锥形齿轮10的一侧固定连接有螺纹杆11，螺纹杆11的一端固定连接有轴承12，螺纹杆11的外壁活动连接有连接块13，连接块13的顶端固定连接有连接杆14，连接杆14的顶端固定连接有限位环15，限位环15的内部活动连接有限位杆16。
[0024]连接块13的底端固定连接有液压推杆17，液压推杆17的输出端固定连接有防护箱18，防护箱18的内顶壁固定连接有第二电机19，第二电机19的输出端通过联轴器固定连接有第二旋转轴20，第二旋转轴20的底端固定连接有抛光块21，支撑板5的一侧固定连接有集尘箱22，集尘箱22的一侧固定连接有抽风机23，集尘箱本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆切割面用的背面抛光装置，包括加工台(1)，其特征在于：所述加工台(1)的顶端固定连接有放置块(2)，所述放置块(2)的顶端开设有放置槽(3)，所述放置块(2)的顶端开设有拿取槽(4)，所述加工台(1)的顶端固定连接有支撑板(5)，所述支撑板(5)的一侧固定连接有防护罩(6)，所述防护罩(6)的内底壁固定连接有第一电机(7)，所述第一电机(7)的输出端通过联轴器固定连接有第一旋转轴(8)，所述第一旋转轴(8)的顶端固定连接有第一锥形齿轮(9)，所述第一锥形齿轮(9)的一侧活动连接有第二锥形齿轮(10)，所述第二锥形齿轮(10)的一侧固定连接有螺纹杆(11)，所述螺纹杆(11)的一端固定连接有轴承(12)，所述螺纹杆(11)的外壁活动连接有连接块(13)，所述连接块(13)的顶端固定连接有连接杆(14)，所述连接杆(14)的顶端固定连接有限位环(15)，所述限位环(15)的内部活动连接有限位杆(16)；所述连接块(13)的底端固定连接有液压推杆(17)，所述液压推杆(17)的输出端固定连接有防护箱(18)，所述防护箱(18)的内顶壁固定连接有第二电机(19)，所述第二电机(19)的输出端通过联轴器固定连接有第二旋转轴(20)，所述第二旋转轴(20)的底端固定连接有抛光块(21)，所述支撑板(5)的一侧固定连接有集尘箱(22)，所述集尘箱(22)的一侧固定连接有抽风机(23)，所述集尘箱(22)...
【专利技术属性】
技术研发人员：韦胜，盛育，曹海洋，吴昊，
申请(专利权)人：百克晶半导体科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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