晶圆级底部填充点胶机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆级底部填充点胶机。这种点胶机包括上下料装置以及用于控制整个点胶机运行的控制器；上下料装置两侧分别设有点胶装置和功能装置，点胶装置数量为两个，分布于上下料装置的左右两侧；功能装置数量为两个，分布于上下料装置的左右两侧；一个功能装置内设有对准工位和冷却工位，另一个功能装置内临时工位和预热工位；上下料装置的上料端设有料盒装载平台，料盒装载平台上放置有装载多个晶圆的料盒。本实用新型专利技术结构简单，简化点胶工艺，提高点胶速度，提高工作效率。提高工作效率。提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
晶圆级底部填充点胶机


[0001]本技术属于晶圆封装
，具体涉及一种晶圆级底部填充点胶机。

技术介绍

[0002]随着经济技术的飞速发展，市场对半导体需求的不断增加，晶圆是制造半导体芯片的基本材料，晶圆的点胶技术是先进电子制造业中至为重要的关键性术，其广泛应用于芯片封装和集成电路装备中，其目的是为了减少在产品使用过程中因冷热变化、跌落、振动等因素导致元件的失效机率，从而延长产品的使用寿命。因此，点胶技术作为电子封装技术的关键和核心，其技术水平的提高直接关系到封装技术的优劣。
[0003]现有的点胶机结构复杂，加工工艺繁琐，大大影响点胶了速度，进而降低了生产效率。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。
[0005]为此，本技术提出一种晶圆级底部填充点胶机，该点胶机具有两个点胶装置(100)和两个功能装置，结构简单，简化点胶工艺，提高点胶速度。
[0006]一种晶圆级底部填充点胶机，包括上下料装置以及用于控制整个点胶机运行的控制器；
[0007]所述上下料装置两侧分别设有点胶装置和功能装置，点胶装置数量为两个，分布于上下料装置的左右两侧；功能装置数量为两个，分布于上下料装置的左右两侧；一个功能装置内设有对准工位和冷却工位，另一个功能装置内临时工位和预热工位；
[0008]所述上下料装置的上料端设有料盒装载平台，料盒装载平台上放置有装载多个晶圆的料盒。
[0009]本技术的有益效果是，本技术结构简单，简化点胶工艺，提高点胶速度，提高工作效率。
[0010]进一步地，其中一个功能装置内设有对准工位和冷却工位，另一个功能装置内临时工位和预热工位，对准工位包括对准装置和扫码装置，临时工位包括临时装置。
[0011]进一步地，所述临时装置包括底座，底座的板面上安装有用以支撑物料的支撑爪组件和用以感应物料的检测传感器，支撑爪组件围成的区域为物料放置区，检测传感器位于该物料放置区内；
[0012]所述的底座的四角上均开设有若干沉头螺孔和螺纹孔，相邻沉头螺孔之间设有螺纹孔，底座的四角下方均设有底座垫块，底座与底座垫块之间通过分别穿过沉头螺孔和螺纹孔的螺栓和螺丝连接。
[0013]进一步地，所述上下料装置位于料盒装载平台的一端设有键鼠支架，键鼠支架位于料盒装载平台下方；
[0014]所述键鼠支架包括：连杆机构，驱动件，托架本体和行止机构；所述驱动件设于连
杆机构和托架本体之间，驱动托架本体折叠或展开，行止机构用于控制驱动件使驱动件推动托架本体运动至固定行程点；
[0015]所述驱动件为两个可控气弹簧，分别安装于托架本体两侧，共同驱动托架本体运动；两个可控气弹簧的活塞杆端部均设有感应位点，行止机构同时按压两个感应位点，以控制活塞杆的行程。
[0016]进一步地，所述连杆机构包括第一连杆、第二连杆和第三连杆，第一连杆的两端转动连接于托架本体和外部设备上，第二连杆的两端转动连接于托架本体和外部设备上，其中第二连杆与第一连杆平行设置；所述第三连杆转动连接于第一连杆和第二连杆之间。
[0017]进一步地，所述扫码装置安装在对准装置的一侧，所述扫码装置包括安装座和若干扫码枪，所述的安装座上安装有若干用以扫描不同规格产品的扫码枪，扫码枪的扫码面正对产品的识别码，扫码枪之间为层叠错位式设置。
[0018]进一步地，所述晶圆级底部填充点胶机还包括除静电装置，所述除静电装置安装于上下料装置与各工位连接处；所述除静电装置包括：
[0019]安装底座，固定在上下料装置内腔；
[0020]静电消除器，所述静电消散装置可活动地设于安装底座上且位于物料的上方，以对物料进行静电去除处理；
[0021]所述安装底座包括用于静电消除器左右移动的移动组件、用于静电消除器工作角度的调整组件以及L型连接件，调整组件安装于静电消除器两端，调整组件通过L型连接件安装在移动组件上。
[0022]进一步地，所述晶圆级底部填充点胶机还包括排风装置，所述排风装置包括点胶机后开门板，所述的点胶机后开门板的上部板面上开设有出风口，点胶机后开门板的内表面上罩设有罩壳，点胶机后开门板与罩壳之间形成夹层通风道，罩壳的下部板面上开设有进风口。
[0023]进一步地，所述晶圆级底部填充点胶机还包括检修装置，检修装置包括：
[0024]检修门，安装于上下料装置的前端安装面上；
[0025]维护门，安装于上下料装置的后端安装面上；
[0026]开口，安装于点胶机的可拆卸维护门上，开口正对点胶机中不间断电源按钮，开口上活动安装有封板。
[0027]进一步地，所述上下料装置上设有快插集成接口，快插集成接口与上下料装置内腔的线缆连接；功能装置上设有快插窗口，快插窗口与快插集成接口对应设置，功能装置的线缆穿过快插窗口与快插集成接口连接或分离，实现功能装置与上下料装置的安装或拆卸。
[0028]本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。本技术的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
[0029]为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0030]本技术的上述和/或附加的方面和优点从下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0031]图1是本技术实施例1键鼠支架展开的结构示意图；
[0032]图2是本技术实施例1键鼠支架折叠的结构示意图；
[0033]图3是图1另一视角的结构示意图；
[0034]图4是图1的仰视图；
[0035]图5是实施例1中临时装置的结构示意图；
[0036]图6是实施例1中键鼠支架处于折叠状态时的结构示意图；
[0037]图7是实施例1中键鼠支架处于展开状态时的结构示意图；
[0038]图8是实施例1键鼠支架中托架本体的仰视图；
[0039]图9是图7中A部放大图；
[0040]图10是实施例1键鼠支架中可控气弹簧活塞杆与摆动块的位置关系；
[0041]图11是实施例1键鼠支架中行止机构的结构示意图；
[0042]图12是本技术实施例1中扫码装置的结构示意图；
[0043]图13是本技术实施例1中扫码装置去除传感器后的结构示意图；
[0044]图14是图13另一方向的结构示意图；
[0045]图15是本技术实施例1中扫码装置去除扫码枪和传感器后的结构示意图；
[0046]图16是本技术实施例1中扫码装置的使用状态图；
[0047]图17是实施例1中除静电装置的结构示意图；
[0048]图18是图17中B处的局部放大图；
[0049]图19是实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆级底部填充点胶机，其特征在于：包括上下料装置(700)以及用于控制整个点胶机运行的控制器；所述上下料装置(700)两侧分别设有点胶装置(100)和功能装置，点胶装置(100)数量为两个，分布于上下料装置(700)的左右两侧；功能装置数量为两个，分布于上下料装置(700)的左右两侧；一个功能装置内设有对准工位和冷却工位，另一个功能装置内临时工位和预热工位；所述上下料装置(700)的上料端设有料盒装载平台(800)，料盒装载平台(800)上放置有装载多个晶圆的料盒(801)。2.根据权利要求1所述的晶圆级底部填充点胶机，其特征在于：其中一个功能装置内设有对准工位和冷却工位，另一个功能装置内临时工位和预热工位，对准工位包括对准装置和扫码装置(400)，临时工位包括临时装置(200)。3.根据权利要求2所述的晶圆级底部填充点胶机，其特征在于：所述临时装置(200)包括底座(201)，底座(201)的板面上安装有用以支撑物料的支撑爪组件(202)和用以感应物料的检测传感器(203)，支撑爪组件围成的区域为物料放置区，检测传感器(203)位于该物料放置区内；所述的底座(201)的四角上均开设有若干沉头螺孔(207)和螺纹孔(208)，相邻沉头螺孔(207)之间设有螺纹孔(208)，底座(201)的四角下方均设有底座垫块(205)，底座(201)与底座垫块(205)之间通过分别穿过沉头螺孔(207)和螺纹孔(208)的螺栓和螺丝连接。4.根据权利要求1所述的晶圆级底部填充点胶机，其特征在于：所述上下料装置(700)位于料盒装载平台(800)的一端设有键鼠支架(300)，键鼠支架(300)位于料盒装载平台(800)下方；所述键鼠支架(300)包括：连杆机构(305)，驱动件，托架本体(301)和行止机构(303)；所述驱动件设于连杆机构(305)和托架本体(301)之间，驱动托架本体(301)折叠或展开，行止机构(303)用于控制驱动件使驱动件推动托架本体(301)运动至固定行程点；所述驱动件为两个可控气弹簧(302)，分别安装于托架本体(301)两侧，共同驱动托架本体(301)运动；两个可控气弹簧(302)的活塞杆(321)端部均设有感应位点，行止机构同时按压两个感应位点，以控制活塞杆(321)的行程。5.根据权利要求4所述的晶圆级底部填充点胶机，其特征在于：所述连杆机构(305)包括第一连杆(351)、第二连杆(352)和第三连杆(353)，第一连杆(351)的两端转动连接于托架本体(301)和外部设备上，第二连杆(352...

【专利技术属性】
技术研发人员：林翔，周典虬，郜福亮，王江坤，樊建，丁波，
申请(专利权)人：常州铭赛机器人科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：