本发明专利技术涉及一种用于晶圆回收的收料装置，包括底座组件和第一升降组件，还包括与第一升降组件结构相同的第二升降组件，第一升降组件和第二升降组件镜像分布设置在底座组件上沿着X轴方向的两侧位置。本发明专利技术采用双料盒结构，一个料盒满了，自动退出，第二个料盒进入收料，留出取放更换料盒充裕时间；通过升降台包括升降台运动板和升降台底板的结构设置，以及第三导轨组件、导向轴、压缩弹簧和传感器单元的配合，具有撞击保护报警的功能。具有撞击保护报警的功能。具有撞击保护报警的功能。
【技术实现步骤摘要】
用于晶圆回收的收料装置
[0001]本专利技术涉及晶圆加工相关
，尤其涉及一种用于晶圆回收的收料装置。
技术介绍
[0002]半导体芯片行业是现在非常热门的行业，国家也在大力扶持相关企业及科研机构，半导体加工的相关设备也在逐步国产化。芯片制造的过程复杂，工序多，其中晶圆的上料下料是其中一个环节，现在设备的上料下料基本是配单个料盒，人工更换，如果更换不及时就要停机等待，效率降低。
[0003]有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种用于晶圆回收的收料装置，使其更具有产业上的利用价值。
技术实现思路
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术的目的是提供一种用于晶圆回收的收料装置。
[0005]为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：
[0006]用于晶圆回收的收料装置，包括底座组件和第一升降组件，还包括与第一升降组件结构相同的第二升降组件，第一升降组件和第二升降组件镜像分布设置在底座组件上沿着X轴方向的两侧位置；
[0007]底座组件包括固定底板、第一导轨组件、水平切换电机和第二导轨组件，水平切换电机位于第一导轨组件和第二导轨组件之间的固定底板上，水平切换电机沿着Y轴正方向一侧的固定底板上设置有带轮，水平切换电机的输出轴通过水平切换同步带与带轮相连接，第一导轨组件位于水平切换电机沿着X轴负方向一侧的固定底板上，第二导轨组件位于水平切换电机沿着X轴正方向一侧的固定底板上，且第一导轨组件和第二导轨组件均沿着Y轴方向分布设置；
[0008]第一升降组件或第二升降组件包括水平切换运动板、升降电机、升降轴和升降台，水平切换运动板的底部与第一导轨组件或第二导轨组件相连接，水平切换运动板朝向水平切换电机的一侧设置有同步带连接板，同步带连接板与水平切换同步带相连接，水平切换运动板上设置有升降电机和升降轴，升降电机的输出轴通过升降切换同步带轮组件与升降轴相连接，升降轴上连接设置有升降台，升降台可沿着升降轴在Z轴方向上移动。
[0009]作为本专利技术的进一步改进，升降台从上往下依次包括升降台运动板和升降台底板，升降台底板与升降轴相连接，升降台底板上设置有若干个沿着Y轴方向分布的第三导轨组件，升降台运动板与第三导轨组件相连接，升降台运动板和升降台底板之间的位置上沿着Y轴方向依次设置有上连接板和下连接板，上连接板与升降台运动板相连接，下连接板与升降台底板相连接，上连接板和下连接板之间的位置上还沿着Y轴方向设置有导向轴，导向轴沿着Y轴方向穿过压缩弹簧的中心孔，压缩弹簧被压在上连接板和下连接板之间。
[0010]作为本专利技术的进一步改进，升降台运动板和升降台底板之间还设置有传感器单元。
[0011]作为本专利技术的进一步改进，传感器单元包括相互配合的感应片和传感器，感应片安装在升降台运动板的底部，传感器安装在升降台底板上。
[0012]作为本专利技术的进一步改进，升降轴上还设置有若干个沿着Z轴方向分布的第四导轨组件，升降台与第四导轨组件相连接。
[0013]借由上述方案，本专利技术至少具有以下优点：
[0014]本专利技术采用双料盒结构，一个料盒满了，自动退出，第二个料盒进入收料，留出取放更换料盒充裕时间；通过升降台包括升降台运动板和升降台底板的结构设置，以及第三导轨组件、导向轴、压缩弹簧和传感器单元的配合，具有撞击保护报警的功能。
[0015]上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本专利技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0017]图1是本专利技术一种用于晶圆回收的收料装置的结构示意图；
[0018]图2是图1中底座组件的结构示意图；
[0019]图3是图1中第一升降组件的结构示意图；
[0020]图4是图3一侧的侧视图；
[0021]图5是图4中关于A
‑
A截面的剖视图。
[0022]其中，图中各附图标记的含义如下。
[0023]1 底座组件
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2 第一升降组件
[0024]3 第二升降组件
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4 料盒
[0025]5 固定底板
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6 第一导轨组件
[0026]7 水平切换电机
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8 带轮
[0027]9 第二导轨组件
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10 水平切换运动板
[0028]11 同步带连接板
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12 升降电机
[0029]13 升降轴
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14 升降台
[0030]15 升降台运动板
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16 升降台底板
[0031]17 感应片
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18 传感器
[0032]19 第三导轨组件
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20 第四导轨组件
[0033]21 上连接板
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22 导向轴
[0034]23 压缩弹簧
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24 下连接板
具体实施方式
[0035]下面结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不用来限制本专利技术的范围。
[0036]为了使本
的人员更好地理解本专利技术方案，下面将结合本专利技术实施例中附
图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0037]实施例
[0038]如图1～图5所示，
[0039]一种用于晶圆回收的收料装置，包括底座组件1和第一升降组件2，还包括与第一升降组件2结构相同的第二升降组件3，第一升降组件2和第二升降组件3镜像分布设置在底座组件1上沿着X轴方向的两侧位置。
[0040]底座组件1包括固定底板5、第一导轨组件6、水平切换电机7和第二导轨组件9，水平切换电机7位于第一导轨组件6和第二导轨组件9之间的固定底板5上，水平切换电机7沿着Y轴正方向一侧的固定底板本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.用于晶圆回收的收料装置，包括底座组件(1)和第一升降组件(2)，其特征在于，还包括与第一升降组件(2)结构相同的第二升降组件(3)，所述第一升降组件(2)和第二升降组件(3)镜像分布设置在底座组件(1)上沿着X轴方向的两侧位置；所述底座组件(1)包括固定底板(5)、第一导轨组件(6)、水平切换电机(7)和第二导轨组件(9)，所述水平切换电机(7)位于第一导轨组件(6)和第二导轨组件(9)之间的固定底板(5)上，所述水平切换电机(7)沿着Y轴正方向一侧的固定底板(5)上设置有带轮(8)，所述水平切换电机(7)的输出轴通过水平切换同步带与带轮(8)相连接，所述第一导轨组件(6)位于水平切换电机(7)沿着X轴负方向一侧的固定底板(5)上，所述第二导轨组件(9)位于水平切换电机(7)沿着X轴正方向一侧的固定底板(5)上，且所述第一导轨组件(6)和第二导轨组件(9)均沿着Y轴方向分布设置；所述第一升降组件(2)或第二升降组件(3)包括水平切换运动板(10)、升降电机(12)、升降轴(13)和升降台(14)，所述水平切换运动板(10)的底部与第一导轨组件(6)或第二导轨组件(9)相连接，所述水平切换运动板(10)朝向水平切换电机(7)的一侧设置有同步带连接板(11)，所述同步带连接板(11)与水平切换同步带相连接，所述水平切换运动板(10)上设置有升降电机(12)和升降轴(13)，所述升降电机(12)的输出轴通过升降切换同步带轮组件与升降轴(13)相连接，所述升降轴(13)上连接设置有升降台(14)，所述升...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵裕兴，高峰，
申请(专利权)人：苏州德龙激光股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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