本实用新型专利技术提供一种排气装置及尾气处理系统，包括相连的第一筒体与第二筒体，所述第一筒体的一端设有第一进气口，所述第一筒体的另一端设有第一出气口，所述第二筒体的一端设有第二进气口，所述第二筒体的另一端设有第二出气口，所述第一出气口与所述第二进气口相连通；所述第一筒体的内径沿所述第一进气口至所述第一出气口逐渐减小，且所述第一筒体的内壁设有沿所述第一筒体的轴向延伸设置的第一螺旋凸起肋或第一螺旋凹槽，以使进入所述第一筒体的气流的至少一部分沿所述第一螺旋凸起肋或所述第一螺旋凹槽流动。本实用新型专利技术利用其内部的第一螺旋凸起肋或第一螺旋凹槽，并利用所述第一筒体内径变化，加速流入其中的尾气的流动。动。动。
【技术实现步骤摘要】
一种排气装置及尾气处理系统
[0001]本技术涉及制造领域，具体涉及一种排气装置及尾气处理系统。
技术介绍
[0002]在工业生产制造过程中，尤其在半导体加工制造过程中，经常会产生尾气废气，如不能及时排出处理会影响生产环境，并且部分尾气还有可能因未能及时排出残存在制造设备内部，积累大量气体在设备内部，无法顺畅排出，造成内部压力过高而报警。现有的尾气处理系统出于排风管路原因，有些区域无法满足排风压力，需要增加排气能力来改善内部压力，因此需要设计一种排气装置及尾气处理系统解决此技术问题。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种排气装置及尾气处理系统，可以增加尾气处理系统的排气能力。
[0004]为实现上述目的，本技术提供一种排气装置，包括相连的第一筒体与第二筒体，所述第一筒体的一端设有第一进气口，所述第一筒体的另一端设有第一出气口，所述第二筒体的一端设有第二进气口，所述第二筒体的另一端设有第二出气口，所述第一出气口与所述第二进气口相连通；所述第一筒体的内径沿所述第一进气口至所述第一出气口逐渐减小，且所述第一筒体的内壁设有沿所述第一筒体的轴向延伸设置的第一螺旋凸起肋或第一螺旋凹槽，以使进入所述第一筒体的气流的至少一部分沿所述第一螺旋凸起肋或所述第一螺旋凹槽流动。
[0005]可选的，所述排气装置还包括若干用于连接所述第一筒体和所述第二筒体的连接件，所述连接件的一端与所述第一筒体的外壁相连，所述连接件的另一端与所述第二筒体的外壁相连。
[0006]可选的，所述第一出气口与所述第二进气口之间设有缝隙。
[0007]可选的，所述排气装置还包括一进气筒，所述进气筒与所述第一筒体和/或所述第二筒体的外壁相连且所述进气筒与所述缝隙相连通，以使外部气体经所述进气筒再经所述缝隙进入所述第一筒体和所述第二筒体的内部。
[0008]可选的，所述排气装置还包括一与所述进气筒相连的输气装置，所述输气装置用于向所述进气筒内输入压缩空气。
[0009]可选的，所述输气装置与所述进气筒之间的输气管路上设有阀门。
[0010]可选的，所述排气装置还包括一连接管，所述连接管的一端位于所述第一出气口内，所述连接管的另一端位于所述第二进气口内，所述连接管的表面设有多个贯穿所述连接管的整个壁厚的通气孔，以使经所述缝隙进入的气体经所述通气孔进入所述第一筒体和所述第二筒体的内部。
[0011]可选的，所述第二筒体的内壁设有沿所述第二筒体的轴向延伸设置的第二螺旋凸起肋或第二螺旋凹槽，以使进入所述第二筒体的气流的至少一部分沿所述第二螺旋凸起肋
或所述第二螺旋凹槽流动。
[0012]可选的，所述第二筒体的内径沿所述第二进气口至所述第二出气口逐渐增大。
[0013]本技术还提供一种尾气处理系统，包括依次连通的燃烧处理装置、水洗冷却装置、吸附过滤装置和上述任一所述的排气装置，所述排气装置的第一进气口与所述吸附过滤装置连通。
[0014]与现有技术相比，本技术提供的排气装置及尾气处理系统具有如下有益效果：
[0015]本技术提供的排气装置，包括相连的第一筒体与第二筒体，所述第一筒体的一端设有第一进气口，所述第一筒体的另一端设有第一出气口，所述第二筒体的一端设有第二进气口，所述第二筒体的另一端设有第二出气口，所述第一出气口与所述第二进气口相连通；所述第一筒体的内径沿所述第一进气口至所述第一出气口逐渐减小，且所述第一筒体的内壁设有沿所述第一筒体的轴向延伸设置的第一螺旋凸起肋或第一螺旋凹槽，以使进入所述第一筒体的气流的至少一部分沿所述第一螺旋凸起肋或所述第一螺旋凹槽流动。当尾气的气流由所述第一进气口进入所述第一筒体时，由于沿所述第一筒体轴向延伸的第一螺旋凸起肋或第一螺旋凹槽的存在，进入所述第一筒体的气流的一部分沿所述第一螺旋凸起肋或所述第一螺旋凹槽流动，从而形成气流螺旋，实现螺旋导流，加快气流流速；所述第一筒体的内径沿所述第一进气口至所述第一出气口逐渐减小，根据流体力学，气流在流往所述第一筒体靠近所述第二筒体的一端时流速因空间限制而变大，流速大则压强小，进一步利用气流前后压强差加快气流流速，实现增加尾气处理排气能力的技术效果。
[0016]本技术提供的尾气处理系统，包括依次连通的燃烧处理装置、水洗冷却装置、吸附过滤装置和上述任一所述的排气装置，所述排气装置的第一进气口与所述吸附过滤装置连通。由于所述尾气处理系统包括所述排气装置，因此所述尾气处理系统可实现增加尾气处理排气能力的技术效果。
附图说明
[0017]图1为本技术一实施例提供的排气装置的整体结构示意图；
[0018]图2为本技术一实施例提供的排气装置的局部剖视图；
[0019]图3为本技术一实施例提供的排气装置的局部仰视图；
[0020]图4为本技术一实施例提供的尾气处理系统的主视图；
[0021]附图标记如下:
[0022]1‑
第一筒体；2
‑
第二筒体；101
‑
第一进气口；102
‑
第一出气口；201
‑
第二进气口；202
‑
第二出气口；11
‑
第一螺旋凸起肋；22
‑
第二螺旋凸起肋；12
‑
连接件；13
‑
缝隙；21
‑
进气筒；23
‑
连接管；24
‑
通气孔；
[0023]3‑
输气装置；31
‑
阀门；
[0024]4‑
燃烧处理装置；5
‑
水洗冷却装置；6
‑
吸附过滤装置；7
‑
排气装置。
具体实施方式
[0025]为使本技术的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本技术作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅
用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。
[0026]应当明白，当元件或层被称为"在
…
上"、"连接到"其它元件或层时，其可以直接地在其它元件或层上、连接其它元件或层，或者可以存在居间的元件或层。相反，当元件被称为"直接在
…
上"、"直接连接到"其它元件或层时，则不存在居间的元件或层。尽管可使用术语第一、第二、第三等描述各种元件、部件、区、层和/或部分，这些元件、部件、区、层和/或部分不应当被这些术语限制。这些术语仅仅用来区分一个元件、部件、区、层或部分与另一个元件、部件、区、层或部分。因此，在不脱离本技术教导之下，下面讨论的第一元件、部件、区、层或部分可表示为第二元件、部件、区、层或部分。空间关系术语例如“在
……
之下”、“在本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种排气装置，其特征在于，包括相连的第一筒体与第二筒体，所述第一筒体的一端设有第一进气口，所述第一筒体的另一端设有第一出气口，所述第二筒体的一端设有第二进气口，所述第二筒体的另一端设有第二出气口，所述第一出气口与所述第二进气口相连通；所述第一筒体的内径沿所述第一进气口至所述第一出气口逐渐减小，且所述第一筒体的内壁设有沿所述第一筒体的轴向延伸设置的第一螺旋凸起肋或第一螺旋凹槽，以使进入所述第一筒体的气流的至少一部分沿所述第一螺旋凸起肋或所述第一螺旋凹槽流动。2.如权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述排气装置还包括若干用于连接所述第一筒体和所述第二筒体的连接件，所述连接件的一端与所述第一筒体的外壁相连，所述连接件的另一端与所述第二筒体的外壁相连。3.如权利要求2所述的排气装置，其特征在于，所述第一出气口与所述第二进气口之间设有缝隙。4.如权利要求3所述的排气装置，其特征在于，所述排气装置还包括一进气筒，所述进气筒与所述第一筒体和/或所述第二筒体的外壁相连且所述进气筒与所述缝隙相连通，以使外部气体经所述进气筒再经所述缝隙进入所述第一筒体和所述第二筒体的内部。5.如权利要求4所述的排气装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：郁锋，袁海岭，朱小吕，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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