一种用于烘干抛光垫的加热烤箱制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于烘干抛光垫的加热烤箱，包括，箱体，所述箱体的顶部敞口且该敞口处通过转轴转动连接有两扇箱门，所述箱门的内侧设有沿所述转轴径向延伸的滑道，所述滑道内滑动连接有第一滑块；置物盘，所述置物盘竖直滑动连接在所述的箱体内上，所述置物盘上沿其长度方向滑动连接有第二滑块；以及连杆，所述连杆的两端分别通过销轴转动连接在所述第一滑块和所述第二滑块上，所述销轴平行于所述转轴。其解决了现有技术中水平弹出式电烤箱的箱门关闭不易的问题。的箱门关闭不易的问题。的箱门关闭不易的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种用于烘干抛光垫的加热烤箱


[0001]本技术涉及电烤箱
，尤其是涉及一种用于烘干抛光垫的加热烤箱。

技术介绍

[0002]目前，化学机械抛光(CMP)广泛应用于衬底晶片和多层布线的层间平坦化加工中，同时现在很多光学加工中也使用了化学机械抛光的工艺，抛光垫在生产过程中需要将其加热烘干。
[0003]实践中大都利用电烤箱来烘干抛光垫，电烤箱内设置有用以防止抛光垫的置物盘，传统生产中人工利用工具取放置物盘容易烫伤，现有技术中的电烤箱虽然有带有自动弹出置物盘的功能，但其大都为水平开门式且直接利用弹簧将置物盘弹出，这种电烤箱需要将物盘完全弹出电烤箱才能将置物盘的容腔完全露出，这样势必导致弹簧的弹力以及形变行程增大，导致箱门关闭时需要更大的驱动力，不易关闭。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中所存在的不足，本技术的目的在于提供了一种用于烘干抛光垫的加热烤箱，其解决了现有技术中水平弹出式电烤箱的箱门关闭不易的问题。
[0005]根据本技术的实施例，一种用于烘干抛光垫的加热烤箱，包括：
[0006]箱体，所述箱体的顶部敞口且该敞口处通过转轴转动连接有两扇箱门，所述箱门的内侧设有沿所述转轴径向延伸的滑道，所述滑道内滑动连接有第一滑块；
[0007]置物盘，所述置物盘竖直滑动连接在所述的箱体内上，所述置物盘上沿其长度方向滑动连接有第二滑块；
[0008]以及连杆，所述连杆的两端分别通过销轴转动连接在所述第一滑块和所述第二滑块上，所述销轴平行于所述转轴。
[0009]相比于现有技术，本技术具有如下有益效果：
[0010]1、将箱门设置为上下翻盖式可更快的使置物盘的置物容腔露出，方便取放抛光垫，而无需像现有的水平式弹出置物盘而带来的需要将整个置物盘弹出才能完全露出置物容腔；此外，对拉式的两扇箱门减少了单侧箱门的偏摆幅度，从而有利于更快速的露出整个置物容腔；也就是说打开两扇箱门即可完全露出置物容腔，这样即减少了置物盘为完全露出其置物容腔而需要移动的行程。
[0011]2、通过连杆将箱门与置物盘相连，打开箱门过程中即可联动的将置物盘向上提起，使抛光垫更加便利的放置在置物盘上或将其取出。
附图说明
[0012]图1为本技术实施例的结构示意图；
[0013]图2为图1的内部结构示意图；
[0014]图3为图2的A处局部放大图。
[0015]上述附图中：1、箱体；2、转轴；3、箱门；301、滑道；302、阶梯面；4、第一滑块；5、置物盘；501、滑槽；6、第二滑块；7、连杆；8、连接块；9、弹簧；10、螺杆；11、螺帽。
具体实施方式
[0016]下面结合附图及实施例对本技术中的技术方案进一步说明。
[0017]一种用于烘干抛光垫的加热烤箱，本技术提出一种实施例，如图1至图3所示，其包括：
[0018]方形的箱体1，所述箱体1的顶部敞口且该敞口处通过转轴2转动连接有两扇箱门3，具体的，转轴2为常规合页的一部分，该合页还包括两个连接块8，两个连接块8分别通过螺钉固设在箱体1的外壁和箱门3的一端上，转轴2与两个连接块8转动连接，所述箱门3的内侧设有沿所述转轴2径向延伸的滑道301，所述滑道301内滑动连接有第一滑块4；
[0019]置物盘5，所述置物盘5竖直滑动连接在所述的箱体1内上，所述置物盘5上沿其长度方向滑动连接有第二滑块6；
[0020]以及连杆7，所述连杆7的两端分别通过销轴转动连接在所述第一滑块4和所述第二滑块6上，所述销轴平行于所述转轴2；上述滑道301设置为现有的燕尾槽即可；应当理解的是，实践中需要在箱体1内设置现有的电加热模块，并将其与外界电源电连接，由于本技术并未对上述电加热模块和电源等作出改进，因此此处不对其结构进行赘述。
[0021]采用上述方案：
[0022]一方面，将箱门3设置为上下翻盖式可更快的使置物盘5的置物容腔露出，方便取放抛光垫，而无需像现有的水平式弹出置物盘5而带来的需要将整个置物盘5弹出才能完全露出置物容腔；此外，对拉式的两扇箱门3减少了单侧箱门3的偏摆幅度，从而有利于更快速的露出整个置物容腔；也就是说打开两扇箱门3即可完全露出置物容腔，这样即减少了置物盘5为完全露出其置物容腔而需要移动的行程。
[0023]另一方面，通过连杆7将箱门3与置物盘5相连，打开箱门3过程中即可联动的将置物盘5向上提起，使抛光垫更加便利的放置在置物盘5上或将其取出。
[0024]如图1和图2所示，在本技术提供的另一实施例中，还包括弹簧9，所述弹簧9的两端分别抵触在所述箱体1的底部与所述置物盘5之间，弹簧9的底端也可直接焊接在箱体1的底端上，弹簧9可设置一个或多个，视实际需求而定；箱门3关闭时，连杆7驱动置物盘5向下压缩弹簧9，箱门3打开时，弹簧9回位能够辅助置物盘5向上移动。
[0025]如图2和图3所示，在本技术提供的另一实施例中，所述置物盘5相对的两侧壁上设有沿其长度方向延伸的滑槽501，该滑槽501为常规的燕尾槽即可，所述第二滑块6滑动连接在所述滑槽501内，所述第二滑块6上固设有垂直于第二滑块6端面的螺杆10，所述螺杆10上螺纹连接有螺帽11，所述连杆7的一端位于所述螺帽11与所述第二滑块6之间，螺帽11将连杆7的一端限位在第二滑块6上，拆装方便。
[0026]如图1和图2所示，在本技术提供的另一实施例中，其中一扇所述箱门3的自由端设有可搭接在另一扇所述箱门3自由端上的阶梯面302，这样两扇箱门3关闭时即可将箱体1的顶部密封，避免过多的热量溢出散发；所述箱门3相对的一端还设有用以将其锁止的锁紧模块(图中未示出)，该锁止模块可以是在两个箱门3上分别设置常规的插销和插孔，也可以是在两个箱门3上分别设置常规的锁扣与锁座，以能将两个箱门3闭合时锁紧为准。
[0027]如图1和图2所示，在本技术提供的另一实施例中，所述连杆7的数量为四个且其两两为一组对称分布于所述置物盘5的两侧，相应的滑道301、滑槽501、第一滑块4以及第二滑块6均设置为多个，从而使打开箱门3时更平稳的带动置物盘5向上移动。
[0028]本技术的工作过程为：
[0029]开启时，向上翻开两个箱门3，箱门3通过连杆7拉动置物盘5克服弹簧9弹力且向上移动，当两个箱门3翻转至与置物盘5呈钝角时即可完全露出整个置物盘5的容腔，且置物盘5被上拉至箱体1的顶部，方便取放抛光垫；在此过程，连杆7的两端相对于第一滑块4和第二滑块6转动且第一滑块4与第二滑块6分别沿着滑道301和滑槽501滑动，以此保证连杆7能够随着箱门3的开启来拉动置物盘5向上移动。
[0030]关闭时，向下翻动两个箱门3，直至其中一个箱门3的阶梯面302抵靠在另一箱门3的自由端上，在此过程中置物盘5下移并压缩弹簧9，此时利用锁止模块锁止两个箱门3即可。
[0031]最后说明的是，以上实施例仅用以说明本技术的技术方案而非限制，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于烘干抛光垫的加热烤箱，其特征在于，包括：箱体(1)，所述箱体(1)的顶部敞口且该敞口处通过转轴(2)转动连接有两扇箱门(3)，所述箱门(3)的内侧设有沿所述转轴(2)径向延伸的滑道(301)，所述滑道(301)内滑动连接有第一滑块(4)；置物盘(5)，所述置物盘(5)竖直滑动连接在所述的箱体(1)内上，所述置物盘(5)上沿其长度方向滑动连接有第二滑块(6)；以及连杆，所述连杆的两端分别通过销轴转动连接在所述第一滑块(4)和所述第二滑块(6)上，所述销轴平行于所述转轴(2)。2.如权利要求1所述的一种用于烘干抛光垫的加热烤箱，其特征在于，还包括弹簧(9)，所述弹簧(9)的两端分别抵触在所述箱体(1)的底部与所述置物盘(5)之间。3.如权利要求1或2...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：普利英重庆创新科技有限公司，
类型：新型
国别省市：