本发明专利技术的电子束产生器的电子枪具备：阴极，其具有出射电子束的前端部；第1电极，其容纳包含阴极的前端部的部分；及第2电极，其在自沿着电子束的出射轴的方向观察时包围着第1电极。第1电极具有绕出射轴包围包含前端部的部分的第1侧壁。第2电极具有与第1侧壁分开且包围第1侧壁的第2侧壁。在第1侧壁设置有第1开口部，该第1开口部使由第1侧壁包围的第1空间、和第1侧壁与第2侧壁之间的第2空间连通。在第2电极设置有第2开口部，该第2开口部以使第2空间与外部空间连通的方式，朝沿着出射轴的方向开口。口。口。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电子束产生器及X射线产生装置
[0001]本公开的一方式涉及一种电子束产生器及X射线产生装置。
技术介绍
[0002]已知使电子束入射至靶的X射线产生装置。例如，在专利文献1，公开阴极容纳于韦内尔特电极(栅电极)(Wehnelt electrode(grid electrode))的电子枪的结构。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2015
‑
041585号公报
技术实现思路
[0006]专利技术想要解决的课题
[0007]在韦内尔特电极，设置有供电子束通过的开口。阴极被在栅电极内残留于容纳有阴极的空间的气体消耗。
[0008]在本说明书中，公开一种包含可高效率地进行真空排气的阴极容纳空间的电子束产生器及X射线产生装置的一例。
[0009]解决课题的技术手段
[0010]例示性的电子枪(电子束产生器)具备：阴极，其具有出射电子束的前端部；第1电极，其容纳阴极的前端部；及第2电极，其在自沿着电子束的出射轴的方向观察时包围第1电极。第1电极具有绕出射轴包围前端部的第1侧壁。第2电极具有与第1侧壁分开且包围第1侧壁的第2侧壁。在第1侧壁设置有第1开口部，该第1开口部使由第1侧壁包围的第1空间、和第1侧壁与第2侧壁之间的第2空间连通。在第2电极设置有第2开口部，该第2开口部以使第2空间与外部空间连通的方式，朝沿着出射轴的方向开口。
[0011]在若干个实施例中，第1电极内的第1空间(即，容纳有阴极的阴极容纳空间)，经由设置于第1侧壁的第1开口部，和第1侧壁与第2侧壁之间的第2空间连通。进而，第2空间经由设置于第2电极的第2开口部，与外部空间连通。由此，残留于阴极容纳空间内的气体经由第1开口部朝第2空间排出，且排出至第2空间的气体经由第2开口部朝外部空间排出。因此，根据上述电子枪，可高效率地进行阴极容纳空间的真空排气。
[0012]第1开口部为了进行第1空间内的真空排气，可具有沿着绕出射轴的周向而延伸的长孔形状。
[0013]第2侧壁自与出射轴正交的方向观察，可将第1开口部覆盖隐藏。在若干个实施例中，可将构成第1开口部的缘端部等，相对于容纳电子枪的框体的内壁等与电子枪的电位差较大的构造隐蔽。由此，可抑制放电的产生。
[0014]上述电子枪可进而具备第3电极，该第3电极具有绕出射轴包围对阴极的前端部支承的支承部的第3侧壁。可在第3侧壁，设置使由第3侧壁包围的第3空间与外部空间连通的第3开口部。在若干个实施例中，对残留于容纳有对阴极的前端部支承的支承部的阴极容纳
空间(第3空间)内的气体，也可经由第3开口部朝外部空间排出。
[0015]可在上述电子枪，设置使第1空间及第2空间的至少一者与第3空间连通的贯通孔。在若干个实施例中，为了进行气体的排气，而第3空间与第1空间及第2空间的至少一者连通。
[0016]第2侧壁可绕出射轴包围第3侧壁。可在第2侧壁，设置使第2侧壁与第3侧壁之间的第4空间和外部空间连通的第4开口部。第3空间与外部空间可经由第4空间连通。在若干个实施例中，在设置为第2电极的第2侧壁包围第3电极的第3侧壁的构造中，可将残留于第3空间内的气体经由第3开口部、第4空间、及第4开口部朝外部空间排出。
[0017]第3开口部与第4开口部可设置为互不相对。通过第3开口部及第4开口部设置为经由第4开口部视认不到第3开口部，而可将构成第3开口部的缘端部等，相对于容纳电子枪的框体的内壁等与电子枪的电位差较大的构造隐蔽。由此，可抑制放电的产生。
[0018]例示性的X射线产生装置具备具有如上述的结构的电子枪。
[0019]专利技术的效果
[0020]在本说明书所公开的实施例中，可将电子枪等电子束产生器的阴极容纳空间真空排气。
附图说明
[0021]图1是例示性的X射线产生装置的概略结构图。
[0022]图2是表示X射线产生装置的磁透镜的结构例的概略剖视图。
[0023]图3是例示性的磁四极透镜的前视图。
[0024]图4是包含磁聚焦透镜及磁四极透镜的实施例及比较例的结构(双合透镜)的示意图。
[0025]图5是表示电子束的截面形状与X射线的有效焦点的形状的关系的一例的图。
[0026]图6是电子枪等例示性的电子束产生器的立体图。
[0027]图7是电子束产生器的侧视图。
[0028]图8是电子束产生器的侧视图。
[0029]图9是电子束产生器的一部分剖视图。
[0030]图10是第1栅电极及第1保持电极的立体图。
[0031]图11是沿着图10中的XI
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XI线的剖视图。
[0032]图12是第2保持电极的立体图。
[0033]图13是沿着图7中的XIII
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XIII线的剖视图。
[0034]图14是表示圆筒管的第1变化例的图。
[0035]图15是表示圆筒管的第2变化例的图。
[0036]图16是变化例的X射线产生装置的概略结构图。
具体实施方式
[0037]在以下的说明中，参照附图，且对于同一或相当要素使用同一符号，并省略重复的说明。
[0038]如图1所示那样，例示性的X射线产生装置1具备：电子枪2、旋转阳极单元3、磁透镜
4、排气部5、划定容纳电子枪2的内部空间S1的框体6(第1框体)、及划定容纳旋转阳极单元3的内部空间S2的框体7(第2框体)。框体6及框体7可构成为可相互卸下，也可以无法卸下的方式一体地结合，也可为自一开始就一体地形成。
[0039]电子枪2出射电子束EB。电子枪2具有放出电子束EB的阴极C。阴极C是放出具有圆形状的截面形状的电子束EB的圆形平面阴极。所谓电子束EB的截面形状，是指相对于与后述的电子束EB的行进方向平行的方向即X轴方向(第1方向)而垂直的方向上的截面形状。即，电子束EB的截面形状是YZ平面内的形状。为了形成具有圆形截面形状的电子束EB，例如，阴极C的电子放出面本身，自与阴极C的电子放出面相对的位置观察(自X轴方向观察阴极C的电子放出面)，可具有圆形状。
[0040]旋转阳极单元3具有：靶31、旋转支承体32、及使旋转支承体32绕旋转轴A旋转驱动的驱动部33。靶31沿着形成于以旋转轴A为中心轴的平的圆锥台状的旋转支承体32的周缘部而设置。旋转轴A是旋转支承体32的中心轴，圆锥台状的旋转支承体32的侧面具有相对于旋转轴A而倾斜的表面。另外，旋转支承体32可形成为以旋转轴A为中心轴的圆环状。构成靶31的材料，例如是钨、银、铑、钼、及它们的合金等重金属。旋转支承体32设为可绕旋转轴A旋转。构成旋转支承体32的材料，例如是铜、铜合金等金属。驱动部33具有例如马达等驱动源，使旋转支承体32绕旋转轴A旋转驱动。靶31伴随着旋转支承体32的旋转而一边旋转一边接收电子束EB，而产生X射线XR。X射线XR自形成于框体7本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种电子束产生器，其中，具备：阴极，其具有出射电子束的前端部；第1电极，其容纳所述阴极的所述前端部，具有绕所述电子束的出射轴包围所述前端部的第1侧壁；及第2电极，其具有第2侧壁，该第2侧壁自沿着所述出射轴的方向观察时包围着所述第1电极，与所述第1侧壁分开且包围所述第1侧壁，在所述第1侧壁，设置有第1开口部，该第1开口部使由所述第1侧壁包围的第1空间、和所述第1侧壁与所述第2侧壁之间的第2空间连通，在所述第2电极，设置有第2开口部，该第2开口部朝沿着所述出射轴的方向开口，使所述第2空间与所述电子束产生器的外部空间连通。2.如权利要求1所述的电子束产生器，其中，所述第1开口部具有沿着绕所述出射轴的周向延伸的长孔形状。3.如权利要求1所述的电子束产生器，其中，所述第2侧壁以自与所述出射轴正交的方向观察，覆盖隐藏所述第1开口部的方式构成。4.如权利要求1所述的电子束产生器，其中，还具备：第3电极，其具有第3侧壁，该第3侧壁绕所述出射轴包围支承所述阴极的所述前端部的支承部，在所述第3侧壁，设置有第3开口部，该使第3开口部由所述第3侧壁包围的第3空间与所述外部空间连通。5.如权利要求4所述的电子束产生器，其中，还具备：贯通孔，其使所述第1空间及所述第2空间的至少一者与所述第3空间连通。6.如权利要求4所述的电子束产生器，其中，还具备：第4开口部，其设置于包围所述第3侧壁的所述第2侧壁的部分，使所述第2侧壁与所述第3侧壁之间的第4空间与所述外部空间连通，所述第3空间与所述外部空间经由所述第4空间连通。7.如权利要求6所述的电子束产生器，其中，所述第3开口部与所述第4开口部互不相对。8.如权利要求4所述的电子束产生器，其中，所述第1电极包含第1栅电极，所述第2...
【专利技术属性】
技术研发人员：薮下绫介，石井淳，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：
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