硅棒对中机构、硅棒承载装置及切割设备制造方法及图纸

技术编号:35544484 阅读:20 留言:0更新日期:2022-11-09 15:16
本申请实施例提供一种硅棒对中机构、硅棒承载装置及切割设备,其中,硅棒对中机构,包括:对中支座;至少一对对中驱动杆;对中驱动杆沿第一方向延伸,设置于对中支座上;对中驱动件,设置于对中支座;对中驱动件,设置于对中支座;对中驱动件与各对中驱动杆的一端相连,对中驱动件可驱动对中驱动杆沿第一方向相对于对中支座移动;至少一对对中夹爪,分别设置于所述对中支座沿第一方向的两端;对中夹爪分别与驱动杆的另一端相连以与对中驱动杆同步沿移动;所述对中夹爪朝向硅棒的方向延伸,一对对中夹爪用于从两侧抵顶硅棒以实现找正。本申请实施例提供的硅棒对中机构、硅棒承载装置及切割设备能够用于对硅棒进行对中,便于对硅棒进行切半。进行切半。进行切半。

【技术实现步骤摘要】
硅棒对中机构、硅棒承载装置及切割设备


[0001]本申请涉及硬脆材料切割技术,尤其涉及一种硅棒对中机构、硅棒承载装置及切割设备。

技术介绍

[0002]随着异质结电池的发展,小片硅片的需求越来越大。传统方案中,通常是先将圆柱形的单晶硅棒切割成方棒,然后将方棒切割成大片硅片,再采用激光技术上对大片硅片进行划片切割形成小片硅片,但激光划片的过程会造成小片硅片的横断面产生损伤和缺陷态,严重影响最终加工成的异质结电池的转换效率。

技术实现思路

[0003]为了解决上述技术缺陷之一,本申请实施例中提供了一种硅棒对中机构、硅棒承载装置及切割设备。
[0004]根据本申请实施例的第一个方面,提供了一种硅棒对中机构,包括:
[0005]对中支座;
[0006]至少一对对中驱动杆;所述对中驱动杆沿第一方向延伸,设置于对中支座上;
[0007]对中驱动件,设置于所述对中支座;所述对中驱动件与各对中驱动杆中靠近对中驱动件的端部相连,所述对中驱动件可驱动对中驱动杆沿第一方向相对于对中支座移动;
[0008]至少一对对中夹爪,分别设置于所述对中支座沿第一方向的两端;对中夹爪分别与驱动杆的另一端相连以与对中驱动杆同步沿移动;所述对中夹爪朝向硅棒的方向延伸,一对对中夹爪用于从两侧抵顶硅棒以实现找正。
[0009]根据本申请实施例的第二个方面,提供了一种硅棒承载装置,包括:
[0010]用于承载硅棒的承载平台;
[0011]如上所述的硅棒对中机构,所述硅棒对中机构设置于所述承载平台的下方,硅棒对中机构中的对中夹爪向上延伸抵顶于硅棒的侧面。
[0012]根据本申请实施例的第三个方面,提供了一种切割设备,包括:线切割装置和如上所述的硅棒承载装置,所述线切割装置与硅棒承载装置可相对运动,以使线切割装置中绕设的切割线对硅棒承载装置上承载的硅棒进行切割。
[0013]本申请实施例提供的技术方案,将对中驱动件设置于对中支座,在对中支座的两侧各设置对中夹爪;对中驱动杆的一端与对中夹爪相连,另一端与对中驱动件相连,通过对中驱动器驱动对中驱动杆相对于对中支座移动,并带动对中夹爪同步移动,以使一对中的两个对中夹爪相互靠近的过程中推动硅棒移动至中位,与切割线对正,便于后续将硅棒切割成横截面相同的两个小硅棒。
附图说明
[0014]此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解,构成本申请的一部分,本申
请的示意性实施例及其说明用于解释本申请,并不构成对本申请的不当限定。在附图中:
[0015]图1为本申请实施例提供的硅棒对中机构的结构示意图;
[0016]图2为本申请实施例提供的硅棒对中机构的局部剖视图;
[0017]图3为本申请实施例提供的硅棒对中机构中对中支座与夹爪连接块配合的结构示意图。
[0018]附图标记:
[0019]531

对中支座;532

对中气缸;533

对中驱动杆;534

对中导向杆;5341

限位套;535

对中夹爪;5351

夹爪连接块;5352

夹爪臂;536

缓冲块;537

第一防护钣金;538

第二防护钣金;539

风琴护罩。
具体实施方式
[0020]为了使本申请实施例中的技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图对本申请的示例性实施例进行进一步详细的说明,显然,所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例,而不是所有实施例的穷举。需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0021]传统方案中先将圆柱形的单晶硅棒切割成方棒,然后将方棒切割成大片硅片,再采用激光技术上对大片硅片进行划片切割形成小片硅片,但激光划片的过程会造成小片硅片的横断面产生损伤和缺陷态,严重影响最终加工成的异质结电池的转换效率。
[0022]本实施例提供一种切割方法,在得到方棒后,沿方棒的长度方向对方棒进行切割,得到横截面积较小的小硅棒,然后再对小硅棒进行切片,直接得到尺寸较小的硅片,省去了激光划片的步骤,避免对小硅片表面产生损伤。其中一种切割方式可以从硅棒的中心线处进行切割,将方棒切割为两个横截面积相等的小硅棒,经切片后得到的小硅片尺寸相同,便于存放和运输。这种切割过程对线切割装置和硅棒之间的对位精度要求非常高,切割线必须经过方棒的中心线。
[0023]本实施例提供一种硅棒对中机构,可应用于切割设备,通过调整硅棒的位置,以使硅棒的中心线对准切割线。
[0024]如图1至图3所示,本实施例提供的硅棒对中机构包括:对中支座531、对中驱动件、对中驱动杆533和对中夹爪535。
[0025]其中,对中支座531为基础结构,用于安装和支承各部件。对中驱动件设置于对中支座531上。对中驱动件可以为电缸、液压缸或气缸等,本实施例中,对中驱动件具体为对中气缸532。
[0026]对中驱动杆533的数量为至少一对,一对包含两个对中驱动杆533。
[0027]对中夹爪的数量为至少一对,一对包含两个对中夹爪535。当采用一对对中夹爪535时,其中的两个对中夹爪535分别设置于对中支座531沿第一方向的两端。一个对中驱动杆533与一个对中夹爪535对应连接,两个对中夹爪535可同步相向运动或相背运动;或者,也可以采用两个对中驱动杆533与一个对中夹爪535连接另外两个对中驱动杆533与另一个对中夹爪535相连,以通过两个对中驱动杆533驱动一个对中夹爪535移动。
[0028]当采用两对对中夹爪535时,一对中的两个对中夹爪535分别设置于对中支座531沿第一方向的两端,两对对中夹爪535沿垂直于第一方向间隔布置。位于同一端的对中夹爪
535与相同的对中驱动杆535相连,以通过对中驱动杆驱动两对对中夹爪535移动。
[0029]或者也可以采用三对以上对中夹爪,可参照上述两对进行设置。
[0030]具体的,以一对对中夹爪535为例,对中驱动杆533沿第一方向延伸,第一方向为对中夹爪535的移动方向,与硅棒的中心线垂直。气缸532位于中间,对中夹爪535位于两侧,对中驱动杆533的一端与气缸532相连,另一端与对中夹爪535相连。
[0031]对中气缸532可驱动对中驱动杆533沿第一方向相对于对中支座531移动,并带动对中夹爪535同步移动。对中气缸532驱动两个对中夹爪535以相同的速度移动相同的距离。
[0032]在切割设备对硅棒进行切割之前,通过对中气缸532驱动对中夹爪535相向移动,推动硅棒移动至中位,即:硅棒的中心线与切割线对正。例如:假设第一方向为左右方向,若硅棒初始位置偏左,则左侧的对中夹爪535先与硅棒接触,推动硅棒向右移动,直至移动到与右侧的对中夹爪535接触,到本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅棒对中机构,其特征在于,包括:对中支座;至少一对对中驱动杆;所述对中驱动杆沿第一方向延伸,设置于对中支座上;对中驱动件,设置于所述对中支座;所述对中驱动件与各对中驱动杆的一端相连,所述对中驱动件可驱动对中驱动杆沿第一方向相对于对中支座移动;至少一对对中夹爪,分别设置于所述对中支座沿第一方向的两端;对中夹爪分别与驱动杆的另一端相连以与对中驱动杆同步沿移动;所述对中夹爪朝向硅棒的方向延伸,一对对中夹爪用于从两侧抵顶硅棒以实现找正。2.根据权利要求1所述的硅棒对中机构,其特征在于,所述对中支座内设有容纳空间,对中驱动件位于容纳空间内;所述对中驱动杆穿设于对中支座上,对中驱动杆穿入容纳空间内的端部与对中驱动件相连,对中驱动件伸出对中支座的端部与对中夹爪相连。3.根据权利要求2所述的硅棒对中机构,其特征在于,还包括:对中导向杆,沿第一方向延伸,可移动地设置于对中支座;所述导向杆的一端与对中夹爪相连。4.根据权利要求1所述的硅棒对中机构,其特征在于,所述对中夹爪包括:夹爪连接块,与对中驱动杆相连;夹爪臂,设置于夹爪连接块;所述夹爪臂朝向硅棒延伸至硅棒的侧面。5.根据权利要求4所述的硅棒对中机构,其特征在于,所述对中夹爪还包括:缓冲块,设置于所述夹爪臂...

【专利技术属性】
技术研发人员:马飞刘绪军薛俊兵徐德军
申请(专利权)人:青岛高测科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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