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硅棒对中机构、硅棒承载装置及切割设备制造方法及图纸
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文档序号:35544484
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本申请实施例提供一种硅棒对中机构、硅棒承载装置及切割设备,其中,硅棒对中机构,包括:对中支座;至少一对对中驱动杆;对中驱动杆沿第一方向延伸,设置于对中支座上;对中驱动件,设置于对中支座;对中驱动件,设置于对中支座;对中驱动件与各对中驱动杆的...
该专利属于青岛高测科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛高测科技股份有限公司授权不得商用。
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