【技术实现步骤摘要】
开发低摩擦的类金刚石碳纳米涂层的装置
[0001]本技术属于真空镀膜设备
，具体涉及开发低摩擦的类金刚石碳纳米涂层的装置。
技术介绍
[0002]在中国香港及中国内地汽车零部件产业为推动本地生产的产品出口到欧洲和美国，现正不断提高对汽车零部件产品在效率和可持续性方面的要求。当中尤其针对产品的摩擦学性能，以应付欧美市场对进口车辆的碳排放的日益提升的严格要求。汽车发动机部件之间的摩擦构成低效的燃料消耗，而由汽车发动机所排放的二氧化碳中则有高达40％归因于摩擦损失。传统的对金刚石碳纳米涂层的装置使用时，存在不便于清洁和更换靶向座，同时流程复杂的问题。
技术实现思路
[0003]为解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术提供一种容易安装且方便修理及清洁的开发低摩擦的类金刚石碳纳米涂层的装置。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：开发低摩擦的类金刚石碳纳米涂层的装置，包括金属机架，以及金属机架上安装的真空箱体，通过铰链安装的密封门，且真空箱体和密封门之间形成正八边形的密闭空间结构，真空箱体底部安装...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.开发低摩擦的类金刚石碳纳米涂层的装置，其特征在于，包括：金属机架（1），以及金属机架（1）上安装的真空箱体（2），通过铰链安装的密封门（3），且真空箱体（2）和密封门（3）之间形成正八边形的密闭空间结构，真空箱体（2）底部安装的用于对工件夹持固定的工件转台（4），设置在密封门（3）内侧的靶座（5），以及设置在真空箱体（2）边缘用于观察内部工件的观察窗（6），以及与真空箱体（2）连接的真空系统；所述金属机架（1）用于承载真空箱体（2）；所述真空箱体（2）通过底部安装的工件转台（4）用于对承载的工件进行夹持固定；所述密封门（3）用于和真空箱体（2）配合形成密闭的空间，用于对工件进行涂层沉积；所述靶座（5）利用阴极电弧源和离子源对工件进行溅射，以使工件表面形成低摩擦的类金刚石碳纳米涂层，且阴极电弧源和离子源与靶座（5）电连接；所述真空系统包括真空箱体（2）上端安装的分子泵（7），固定在金属机架（1）侧表面的机械泵（10），且分子泵（7）和机械泵（10）之间连接有真空管道（8），且真空管道（8）通过阀门连接有气动...
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