下载开发低摩擦的类金刚石碳纳米涂层的装置的技术资料

文档序号:35526195

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型属于真空镀膜设备技术领域,尤其为一种开发低摩擦的类金刚石碳纳米涂层的装置,其包括:金属机架,以及金属机架上安装的真空箱体,通过铰链安装的密封门,且真空箱体和密封门之间形成正八边形的密闭空间结构,真空箱体底部安装的用于对工件夹持固定...
该专利属于香港生产力促进局所有,仅供学习研究参考,未经过香港生产力促进局授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。