本实用新型专利技术涉及超纯气体混合技术领域，且公开了一种多元超纯气体混合智能配比装置，包括混合筒，混合筒的表面通过焊接固定安装有智能控制柜，混合筒的内部安装有混合机构，智能控制柜包括柜体，柜体的侧面安装有若干进气管，每一根进气管的表面均连接有流量阀。该多元超纯气体混合智能配比装置，在配比过程中，通过流量阀能够控制每根进气管中的进气量，精确控制配比，同时，通过精确控制混合机构的转速不仅能够加快混合筒内多元气体之间的混合，提高制备效率，还能让多元气体之间混合更加充分，更加适用于工业化。更加适用于工业化。更加适用于工业化。
【技术实现步骤摘要】
一种多元超纯气体混合智能配比装置
[0001]本技术涉及超纯气体混合
，具体为一种多元超纯气体混合智能配比装置。
技术介绍
[0002]气体配比装置是用于三种及多种气体混合的装置，主要用于集中供气汇流排配套使用，该装置可以将需要使用的两种气体按使用要求进行配比，并获取均匀的混合气体。而超纯气体是指纯度高于99.99％的气体，在应用过程中洁净和高度密封性特别重要，每升气体中粒度大于0.5μm的尘粒数应小于三个，因此用于超纯气体的混合配比装置不仅要保证气体配比的均匀性和精确性，还要对配比装置的安全性提出了较高的要求。
[0003]现有的气体配比装置大多是通过智能控制柜设定具体比例参数，配合流量阀控制各种气体的组份，从而完成对多元气体的混合，但是在应用于超纯气体的配比过程中，由于超纯气体需要的精度更高，设备在使用过程中，由于控制柜在长期的反复开关过程中与柜体发生碰撞，引起的振动容易造成流量阀精度降低，为此提出一种多元超纯气体混合智能配比装置。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种多元超纯气体混合智能配比装置，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种多元超纯气体混合智能配比装置，包括混合筒，所述混合筒的表面通过焊接固定安装有智能控制柜，所述混合筒的内部安装有混合机构；
[0008]所述智能控制柜包括柜体，所述柜体的侧面安装有若干进气管，每一根所述进气管的表面均连接有流量阀，所述柜体的前端通过合页转动连接有柜门，所述柜体的内壁上对应柜门的连接处通过焊接固定安装有缓冲机构，所述柜门的内部活动安装有锁合机构；
[0009]所述混合机构包括转轴，所述转轴的表面通过焊接固定安装有若干桨叶，所述桨叶四片一组，分为两组，每组桨叶沿转轴的表面呈环形等间距排列，所述转轴的端部安装有密封轴承，所述密封轴承与转轴之间转动连接，所述转轴的末端连接有联轴器，所述联轴器的表面安装有电机。
[0010]可选的，所述混合筒的下端通过焊接固定安装有两组支撑架，两组所述支撑架之间呈左右对称设置，所述混合筒的端部通过焊接固定安装出气管，所述出气管贯穿于混合筒，且延伸至混合筒的内部。
[0011]可选的，所述柜门的表面开设有滑槽，所述滑槽分别从柜门的侧端以及前端贯穿于柜门。
[0012]可选的，所述缓冲机构包括安装板、缓冲座、缓冲柱、缓冲板以及缓冲弹簧，所述安装板通过焊接固定在柜体的内壁上，所述缓冲座通过焊接固定在安装板的表面，所述缓冲座的数量为四个，四个所述缓冲座每两个一组，分为两组。
[0013]可选的，所述缓冲柱滑动安装在缓冲座的内部，所述缓冲板通过焊接固定安装在缓冲柱的顶端，所述缓冲板的直径大于缓冲柱的直径，所述缓冲弹簧活动套接在缓冲板的表面，所述缓冲弹簧的一端与缓冲板连接，另一端与缓冲座连接。
[0014]可选的，所述锁合机构包括插销、推拉块以及复位弹簧，所述推拉块通过焊接固定在插销的表面，所述复位弹簧固定在插销的端部。
[0015]可选的，所述插销、推拉块以及复位弹簧均安装在滑槽的内部，所述插销的表面与滑槽的内壁贴合，所述插销以及推拉块均沿滑槽的内部滑动。
[0016]可选的，所述转轴以及桨叶延伸至混合筒的内部，所述转轴与混合筒之间通过密封轴承连接，所述联轴器固定安装在混合筒的端部。
[0017](三)有益效果
[0018]本技术提供了一种多元超纯气体混合智能配比装置，具备以下有益效果：
[0019]该多元超纯气体混合智能配比装置，通过缓冲结构，在柜门闭合过程中不仅可以对柜门起到限位作用，还能对柜门起到缓冲作用，防止柜门在使用过程中长期与柜体发生碰撞导致振动和柜门变形，避免振动影响流量阀的精度，同时配合锁合机构，可以将柜门锁紧，保证柜体内部的封闭性，能够对柜体内部起到保护作用，而且在配比过程中，通过混合机构不仅能够加快混合筒内多元气体之间的混合，提高制备效率，还能让多元气体之间混合更加充分。
附图说明
[0020]图1为本技术结构示意图；
[0021]图2为本技术中智能控制柜的结构示意图；
[0022]图3为本技术中柜门与缓冲机构连接处的剖视图
[0023]图4为本技术中缓冲机构的结构示意图；
[0024]图5为本技术中锁合机构的结构示意图；
[0025]图6为本技术中锁合机构与柜门的装配结构示意图；
[0026]图7为本技术中混合机构的结构示意图。
[0027]图中：1、混合筒；11、出气管；12、支撑架；2、智能控制柜；21、柜体；22、进气管；23、流量阀；24、柜门；241、滑槽；25、缓冲机构；251、安装板；252、缓冲座；253、缓冲柱；254、缓冲板；255、缓冲弹簧；26、锁合机构；261、插销；262、推拉块；263、复位弹簧；3、混合机构；31、转轴；32、桨叶；33、密封轴承；34、联轴器；35、电机。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]实施例1
[0030]请参阅图1至图7，本技术提供一种技术方案：一种多元超纯气体混合智能配比装置，包括混合筒1，混合筒1的表面通过焊接固定安装有智能控制柜2，混合筒1的内部安装有混合机构3；
[0031]混合筒1的下端通过焊接固定安装有两组支撑架12，两组支撑架12之间呈左右对称设置，混合筒1的端部通过焊接固定安装出气管11，出气管11贯穿于混合筒1，且延伸至混合筒1的内部；
[0032]智能控制柜2包括柜体21，柜体21的侧面安装有若干进气管22，每一根进气管22的表面均连接有流量阀23，柜体21的前端通过合页转动连接有柜门24，柜门24的表面开设有滑槽241，滑槽241分别从柜门24的侧端以及前端贯穿于柜门24，柜体21的内壁上对应柜门24的连接处通过焊接固定安装有缓冲机构25，柜门24的内部活动安装有锁合机构26；
[0033]其中如图4所示，缓冲机构25包括安装板251、缓冲座252、缓冲柱253、缓冲板254以及缓冲弹簧255，安装板251通过焊接固定在柜体21的内壁上，缓冲座252通过焊接固定在安装板251的表面，缓冲座252的数量为四个，四个缓冲座252每两个一组，分为两组，缓冲柱253滑动安装在缓冲座252的内部，缓冲板254通过焊接固定安装在缓冲柱253的顶端，缓冲板254的直径大于缓冲柱253的直径，缓冲弹簧255活动套接在缓冲板254的表面，缓冲弹簧255的一端与缓冲板254连接，另一端与缓冲座252连接，使用时，通过进气管2本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多元超纯气体混合智能配比装置，包括混合筒(1)，其特征在于：所述混合筒(1)的表面通过焊接固定安装有智能控制柜(2)，所述混合筒(1)的内部安装有混合机构(3)；所述智能控制柜(2)包括柜体(21)，所述柜体(21)的侧面安装有若干进气管(22)，每一根所述进气管(22)的表面均连接有流量阀(23)，所述柜体(21)的前端通过合页转动连接有柜门(24)，所述柜体(21)的内壁上对应柜门(24)的连接处通过焊接固定安装有缓冲机构(25)，所述柜门(24)的内部活动安装有锁合机构(26)；所述混合机构(3)包括转轴(31)，所述转轴(31)的表面通过焊接固定安装有若干桨叶(32)，所述桨叶(32)四片一组，分为两组，每组桨叶(32)沿转轴(31)的表面呈环形等间距排列，所述转轴(31)的端部安装有密封轴承(33)，所述密封轴承(33)与转轴(31)之间转动连接，所述转轴(31)的末端连接有联轴器(34)，所述联轴器(34)的表面安装有电机(35)。2.根据权利要求1所述的一种多元超纯气体混合智能配比装置，其特征在于：所述混合筒(1)的下端通过焊接固定安装有两组支撑架(12)，两组所述支撑架(12)之间呈左右对称设置，所述混合筒(1)的端部通过焊接固定安装出气管(11)，所述出气管(11)贯穿于混合筒(1)，且延伸至混合筒(1)的内部。3.根据权利要求1所述的一种多元超纯气体混合智能配比装置，其特征在于：所述柜门(24)的表面开设有滑槽(241)，所述滑槽(241)分别从柜门(24)的侧端以及前端贯穿于柜门(24)。4.根据权利要求1所述的一种多元超纯气体混合智能配比装置，其特征在于：所述缓冲机构(25)包括安装板(...
【专利技术属性】
技术研发人员：张吉良，张吉文，
申请(专利权)人：成都龙泰工业气体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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