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一种多元超纯气体混合智能配比装置制造方法及图纸
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下载一种多元超纯气体混合智能配比装置的技术资料
文档序号:35514589
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本实用新型涉及超纯气体混合技术领域,且公开了一种多元超纯气体混合智能配比装置,包括混合筒,混合筒的表面通过焊接固定安装有智能控制柜,混合筒的内部安装有混合机构,智能控制柜包括柜体,柜体的侧面安装有若干进气管,每一根进气管的表面均连接有流量阀...
该专利属于成都龙泰工业气体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都龙泰工业气体有限公司授权不得商用。
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