本发明专利技术提供了一种用于OHT的横移装置，属于OHT设备技术领域，包括依次设置的第一板、第二板和第三板，第一板下表面和第二板上表面之间、第二板下表面和第三板上表面之间设有连接机构，在第三板下表面上固定连接有连接法兰，连接机构包括固定连接在第一板下表面两侧上的第一滑轨、滑动连接在第一滑轨上的第一滑块、固定连接在两个第一滑块上的支架、固定连接在支架上的第二滑块、固定连接在第二板上表面两侧上的第二滑轨，在第一板下表面与第二板上表面上设有用于防止第一滑块脱离第一滑轨与第二滑块脱离第二滑轨的防脱件，在第二板上设有驱动机构，本发明专利技术具有提高了第二板和第三板向两侧伸出的长度的优点。板向两侧伸出的长度的优点。板向两侧伸出的长度的优点。
【技术实现步骤摘要】
一种用于OHT的横移装置
[0001]本专利技术属于OHT设备
，特别是一种用于OHT的横移装置。
技术介绍
[0002]半导体领域内，晶圆厂使用的自动物料传输系统(AMHS)中,空中物料搬运小车(OHT)是重要子系统，主要负责搬运FOUP至不同的工艺设备或仓储设备。一种用于晶圆厂空中物料搬运小车(OHT)的橫向移出机构,是该物料搬运小车(OHT)与机台设备或仓储设备取放FOUP必备且重要的橫向移出链接。
[0003]由于OHT在使用过程中，需要对OHT两侧的晶圆盒进行拿取和放置，因此OHT中的横移机构需要往两侧都可以伸出，现有的横移机构在设计中，从上之下依次为第一板、第二板和第三板的三层板的结构，两块相邻的板之间是通过滑块和滑轨连接，通过滑块和滑轨方便各层板的伸出，由于第二板需要往两侧伸出，因此，第二板上的滑块是固定在第二板上的中间位置，这样才能保证第二板往两侧伸出的距离是相同的。
[0004]因此现有的OHT的横移机构在使用过程中，横移机构伸出的距离比较小，不能适应物料的轨道与OHT距离较远时，对晶圆盒进行拿取的问题。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种用于OHT的横移装置，具有提高了第二板和第三板向两侧伸出的长度的特点。
[0006]本专利技术的目的可通过下列技术方案来实现：
[0007]一种用于OHT的横移装置，包括依次设置的第一板、第二板和第三板，在第一板下表面和第二板上表面之间、第二板下表面和第三板上表面之间设有一连接机构，在第三板下表面上固定连接有连接法兰，连接机构包括两根固定连接在第一板下表面两侧上的第一滑轨、两个滑动连接在第一滑轨上的第一滑块、固定连接在两个第一滑块上的支架、两个固定连接在支架上的第二滑块、固定连接在第二板上表面两侧上的第二滑轨，第二滑块滑动连接在第二滑轨上，在第一板下表面与第二板上表面上设有用于防止第一滑块脱离第一滑轨与第二滑块脱离第二滑轨的防脱件，在第二板上设有用于驱动第二板和第三板同时伸出的驱动机构。
[0008]进一步的，所述支架包括通过螺栓固定连接在两个第一滑块下表面上的第一支板、通过螺栓固定连接在第一支板上表面上的第二支板、固定连接在两个第二滑块上表面上的第三支板，所述第二支板的一端通过螺栓固定连接在第三支板下表面上。
[0009]进一步的，所述防脱件包括固定连接在第一板两端端面上的挡板和固定连接在第二板两端上的挡块，所述挡板与第一滑轨的端面平齐，所述挡块的一侧侧壁与第二滑轨的端面平齐。
[0010]进一步的，所述驱动机构包括开设在第二板一端上的第一孔、转动连接在第一孔两侧内壁上的第一皮带轮、一端固定连接在第一板下表面上的第一同步带、开设在第二板
另一端上的第二孔、转动连接在第二孔两侧内壁上的第二皮带轮、一端固定连接在第二板上表面上的第二同步带和设置在第二板上用于驱动第一皮带轮转动的驱动件，所述第一同步带远离第一板的一端绕过第一皮带轮后固定连接在第三板靠近第二皮带轮的一端上表面上，所述第二同步带远离第二板的一端绕过第二皮带轮后固定连接在第三板远离第二皮带轮的一端上表面上。
[0011]进一步的，所述驱动件包括固定连接在第二板上表面上的伺服电机、固定连接在第二板上表面上的减速机、固定连接在减速机输出轴上的第一锥齿轮、固定连接在第一皮带轮的转动轴上的第二锥齿轮，所述第一锥齿轮和第二锥齿轮啮合，所述伺服电机的输出轴与减速机的输入端呈同轴固定连接。
[0012]进一步的，在所述第二板一侧侧壁的两端分别固定连接有左检知板和右检知板，在所述第一板下表面的两端上分别固定连接有左极限传感器和右极限传感器，在第一板下表面上固定连接有向左确认传感器和向右确认传感器，所述向左确认传感器和向右确认传感器位于左极限传感器和右极限传感器之间。
[0013]进一步的，在所述第一板远离右极限传感器的一侧下表面上固定连接有零点传感器，在所述第二板一侧一端上固定连接有零点检测板。
[0014]与现有技术相比，本专利技术具有以下优点：
[0015]1、本专利技术通过在第一板下表面上固定连接有第一滑轨，第一滑块滑动连接在第一滑轨上，第二滑块通过支架固定在第一滑块上，第二板上的第二滑轨滑动连接在第二滑块上，第二板处于初始位置时，第一滑块位于第一滑轨的中间位置，当驱动机构驱动第二板和第三板伸出时，第一滑块滑动至第一滑轨的一端，通过这样的设置，结构简单，操作方便，提高了第二板和第三板向两侧伸出的长度。
[0016]2、本专利技术通过在两块第一滑块之间固定连接有第一支板，在第一支板上表面上固定连接有第二支板，在第二支板一端下表面上固定连接有第三支板，第三支板固定连接在两块第二滑块上，通过这样的设置，结构简单，操作方便，减小了第一板和第二板之间的间距，减小了OHT在高度方向上所占用的空间。
附图说明
[0017]图1是本专利技术的结构示意图；
[0018]图2是本专利技术实施例中驱动机构的结构示意图；
[0019]图3是本专利技术实施例中第一板下表面上的结构示意图。
[0020]图中，1、第一板；2、第二板；3、第三板；4、连接机构；5、连接法兰；6、第一滑轨；7、第一滑块；8、支架；9、第二滑块；10、第二滑轨；11、防脱件；12、驱动机构；13、第一支板；14、第二支板；15、第三支板；16、挡板；17、挡块；18、第一孔；19、第一皮带轮；20、第一同步带；21、第二孔；22、第二皮带轮；23、第二同步带；24、驱动件；25、伺服电机；26、减速机；27、第一锥齿轮；28、第二锥齿轮；29、左检知板；30、右检知板；31、左极限传感器；32、右极限传感器；33、向左确认传感器；34、向右确认传感器；35、零点传感器；36、零点检测板。
具体实施方式
[0021]以下是本专利技术的具体实施例并结合附图，对本专利技术的技术方案作进一步的描述，
但本专利技术并不限于这些实施例。
[0022]如图1、图2、图3所示，一种用于OHT的横移装置，包括依次从上至下设置的第一板1、第二板2和第三板3，在第一板1下表面和第二板2下表面之间、第二板2下表面和第三板3下表面之间均设有一连接机构4，在第三板3下表面上设有连接法兰5。
[0023]如图1、图2、图3所示，连接机构4包括第一滑轨6、第一滑块7、支架8、第二滑块9和第二滑轨10，第一滑轨6固定连接在第一板1下表面上，在第一板1下表面的两侧均固定连接有一第一滑轨6，第一滑块7滑动连接在第一滑轨6上，在第一滑轨6上滑动连接有两个第一滑块7，支架8固定连接在两个第一滑块7之间，第二滑块9固定连接在支架8上，在支架8上固定连接两个第二滑块9，第二滑轨10固定连接在第二板2上表面上，在第二板2两侧上表面均固定连接有一第二滑轨10，第二滑块9滑动连接在第二滑轨10上。
[0024]如图1、图2、图3所示，支架8包括第一支板13、第二支板14和第三支板15，第一支板13固定连接在两个第一滑块7下表面上，第本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于OHT的横移装置，其特征在于，包括依次设置的第一板(1)、第二板(2)和第三板(3)，在第一板(1)下表面和第二板(2)上表面之间、第二板(2)下表面和第三板(3)上表面之间设有一连接机构(4)，在第三板(3)下表面上固定连接有连接法兰(5)，连接机构(4)包括两根固定连接在第一板(1)下表面两侧上的第一滑轨(6)、两个滑动连接在第一滑轨(6)上的第一滑块(7)、固定连接在两个第一滑块(7)上的支架(8)、两个固定连接在支架(8)上的第二滑块(9)、固定连接在第二板(2)上表面两侧上的第二滑轨(10)，第二滑块(9)滑动连接在第二滑轨(10)上，在第一板(1)下表面与第二板(2)上表面上设有用于防止第一滑块(7)脱离第一滑轨(6)与第二滑块(9)脱离第二滑轨(10)的防脱件(11)，在第二板(2)上设有用于驱动第二板(2)和第三板(3)同时伸出的驱动机构(12)。2.根据权利要求1所述的一种用于OHT的横移装置，其特征在于，所述支架(8)包括通过螺栓固定连接在两个第一滑块(7)下表面上的第一支板(13)、通过螺栓固定连接在第一支板(13)上表面上的第二支板(14)、固定连接在两个第二滑块(9)上表面上的第三支板(15)，所述第二支板(14)的一端通过螺栓固定连接在第三支板(15)下表面上。3.根据权利要求2所述的一种用于OHT的横移装置，其特征在于，所述防脱件(11)包括固定连接在第一板(1)两端端面上的挡板(16)和固定连接在第二板(2)两端上的挡块(17)，所述挡板(16)与第一滑轨(6)的端面平齐，所述挡块(17)的一侧侧壁与第二滑轨(10)的端面平齐。4.根据权利要求3所述的一种用于OHT的横移装置，其特征在于，所述驱动机构(12)包括开设在第二板(2)一端上的第一孔(18)、转动连接在第一孔(18)两侧内壁上的第一皮带轮(19)、一端固定连接在第...
【专利技术属性】
技术研发人员：余君山，温孟川，龚昱，王伟忠，
申请(专利权)人：华芯嘉兴智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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