【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体自动化物品搬运，具体涉及一种测试龙骨材料性能的装置。
技术介绍
1、在半导体制程中，需要在不同的生产机台之间转移晶圆，以使得晶圆完成不同的制备工序。为避免晶圆被污染或损坏，通常是将晶圆原片放置在开式晶圆传送盒(frontopening unified pods，简称foup)内，采用半导体搬运系统(automated materialhandling system，简称amhs)来实现晶圆在不同生产机台之间的转移。而自动化天车(overhead hoist transfer，简称oht)作为amhs系统中的核心载体，具备能够沿水平布置的轨道运行并通过吊取组件抓取或放置货物的能力。
2、oht的轨道通常通过安装龙骨直接吊设于车间顶部，由于oht在工作中需要携带foup在预设轨道上行驶通过，在某一时刻可能存在多辆oht携带foup在某一段轨道上行驶通过，那么就对安装的龙骨结构强度和轨道结构强度提出了一定的要求，为了保证oht在轨道上行驶的安全性，需要在轨道架设初期对每一段轨道和吊装骨架的结构强度进行计算校验，以此...
【技术保护点】
1.一种测试龙骨材料性能的装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的测试龙骨材料性能的装置，其特征在于，所述施力组件(2)包括拉力调节器(204)、上拉座(201)和拉力显示计(202)，所述上拉座(201)的两端分别通过紧固杆(207)与待测试龙骨(3)滑动连接，所述上拉座(201)与拉力调节器(204)间设有拉力显示计(202)，所述拉力调节器(204)与所述下横梁(106)滑动连接。
3.根据权利要求2所述的测试龙骨材料性能的装置，其特征在于，所述上拉座(201)、紧固杆(207)与待测试龙骨(3)间形成有第二容纳空间(5)，所述...
【技术特征摘要】
1.一种测试龙骨材料性能的装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的测试龙骨材料性能的装置，其特征在于，所述施力组件(2)包括拉力调节器(204)、上拉座(201)和拉力显示计(202)，所述上拉座(201)的两端分别通过紧固杆(207)与待测试龙骨(3)滑动连接，所述上拉座(201)与拉力调节器(204)间设有拉力显示计(202)，所述拉力调节器(204)与所述下横梁(106)滑动连接。
3.根据权利要求2所述的测试龙骨材料性能的装置，其特征在于，所述上拉座(201)、紧固杆(207)与待测试龙骨(3)间形成有第二容纳空间(5)，所述测量组件(4)还包括测量板(401)，所述待测试龙骨(3)滑动连接有测量板(401)，所述测量板(401)设于第二容纳空间(5)内，所述测量件(402)的测量端与测量板(401)的表面抵接。
4.根据权利要求2所述的测试龙骨材料性能的装置，其特征在于，所述施力组件(2)还包括下拉座(203)，所述下拉座(203)设于拉力显示计(202)和拉力调节器(204)之间。
5.根据权利要求4所述的测试龙骨材料性能的装置，其特征在于，所述上横梁(102)的数量为两块、下横梁(106)的数量为两块，所述框架主体(1)还包括四块竖板(104)，两块竖板(104)分别与一块上横梁(102)、一块下横梁(106)固定连接，另外两块竖板(104)分别与另外一块上横梁(102)、另外一块下横梁(106)固定连接，所述上横梁(102)和下横梁(10...
【专利技术属性】
技术研发人员：龚昱，余君山，
申请(专利权)人：华芯嘉兴智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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