坩埚结构及蒸镀源装置制造方法及图纸

本公开提供了一种坩埚结构及蒸镀源装置。该坩埚结构包括：埚体，包括底壁与侧围壁，侧围壁连接于底壁；隔板组件，设于埚体内，且连接于侧围壁，隔板组件与底壁相对设置，以将埚体内的空间分成多个容置空间；在隔板组件的厚度方向上，隔板组件包括能够相对滑动的第一隔板和第二隔板；第一隔板设有间隔分布的多个第一通孔，第二隔板设有间隔分布的多个第二通孔，多个第二通孔与多个第一通孔一一对应；在第一隔板相对第二隔板运动至第一位置时，第一通孔与第二通孔连通；在第一隔板相对第二隔板运动至第二位置时，第一通孔与第二通孔错开。本公开能够提高蒸镀效果。能够提高蒸镀效果。能够提高蒸镀效果。

【技术实现步骤摘要】
坩埚结构及蒸镀源装置


[0001]本公开涉及蒸镀
，尤其涉及一种坩埚结构及蒸镀源装置。

技术介绍

[0002]随着显示技术的发展，具有更快反应速度和更高对比度的有机发光二极管显示器件的用途愈加广泛，且其制作工艺也越来越引起了人们的重视。其中，蒸镀是一种比较成熟的制作有机发光二极管显示器件的工艺，且已经运用于量产。然而，现有的蒸镀效果较差。

技术实现思路

[0003]本公开的目的在于提供一种坩埚结构及蒸镀源装置，能够提高蒸镀效果。
[0004]根据本公开的一个方面，提供一种坩埚结构，包括：
[0005]埚体，包括底壁与侧围壁，所述侧围壁连接于所述底壁；
[0006]隔板组件，设于所述埚体内，且连接于所述侧围壁，所述隔板组件与所述底壁相对设置，以将所述埚体内的空间分成多个容置空间；在所述隔板组件的厚度方向上，所述隔板组件包括能够相对滑动的第一隔板和第二隔板；所述第一隔板设有间隔分布的多个第一通孔，所述第二隔板设有间隔分布的多个第二通孔，多个第二通孔与多个第一通孔一一对应；在所述第一隔板相对所述第二隔板运动至第一位置时，所述第一通孔与所述第二通孔连通；在所述第一隔板相对所述第二隔板运动至第二位置时，所述第一通孔与所述第二通孔错开。
[0007]进一步地，所述第一隔板设于所述第二隔板远离所述底壁的一侧，所述第二隔板包括：
[0008]支撑片，与所述第一隔板相对设置；
[0009]多个空心柱，间隔设置于所述支撑片面向所述第一隔板的一侧，所述支撑片设有与所述空心柱的内腔连通的开口，所述开口与所述空心柱的内腔构成所述第二通孔；
[0010]隔热层，设于所述支撑片面向所述第一隔板的一侧，且围绕多个所述空心柱。
[0011]进一步地，所述空心柱的高度范围为1cm
‑
1.5cm；和/或
[0012]所述第一隔板的厚度为2mm
‑
3mm。
[0013]进一步地，所述第一隔板内设有加热结构。
[0014]进一步地，所述隔板组件的数量为多个，且多个隔板组件沿着与所述底壁垂直的方向间隔分布。
[0015]进一步地，对于任意的两个所述第一隔板，靠近所述底壁的所述第一隔板上的第一通孔的横截面面积大于远离所述底壁的所述第一隔板上的第一通孔的横截面面积。
[0016]进一步地，所述第一通孔的孔径为5mm
‑
50mm。
[0017]进一步地，所述第一隔板设于所述第二隔板远离所述底壁的一侧，沿着靠近所述底壁的方向，所述第一通孔的横截面面积逐渐减小。
[0018]进一步地，所述坩埚结构还包括：
[0019]推杆，包括相反的第一端和第二端，所述第一端固定于所述第一隔板的侧边，所述第二端端穿出所述侧围壁；
[0020]驱动机构，与所述第二端连接，以驱动所述第一隔板滑动。
[0021]根据本公开的一个方面，提供一种蒸镀源装置，包括所述的坩埚结构。
[0022]本公开的坩埚结构及蒸镀源装置，在使用过程中，向埚体内填充蒸镀材料，由于隔板组件将所述埚体内的空间分成多个容置空间，从而使埚体内的蒸镀材料被分隔为多个部分，在加热蒸镀时，首先使上述的第一通孔和第二通孔错开，并对蒸镀材料的一个部分进行加热蒸镀，在该部分蒸镀材料蒸镀完成或接近蒸镀完成时，使第一通孔和第二通孔连通，并对蒸镀材料的下一个部分进行蒸镀，如此设置，相比于采用一个腔室蒸镀所有蒸镀材料，本公开可以实现蒸镀材料的分室蒸镀，提高蒸镀材料受热的均一性，提升位于中间部分的材料的利用率，提高蒸镀效果。
附图说明
[0023]图1是本公开实施方式的坩埚结构的示意图。
[0024]图2是本公开实施方式的坩埚结构的截面示意图。
[0025]图3是本公开实施方式的隔板组件的示意图。
[0026]图4是本公开实施方式的第一隔板的示意图。
[0027]图5是本公开实施方式的第二隔板的示意图。
[0028]图6是本公开实施方式中第一通孔和第二通孔连通后的示意图。
[0029]图7是本公开实施方式中第一通孔和第二通孔错开后的示意图。
[0030]图8
‑
图10是本公开实施方式中第一隔板的平面示意图。
[0031]图11是本公开实施方式第一通孔和第二通孔的示意图。
[0032]附图标记说明：1、埚体；101、底壁；102、侧围壁；103、顶壁；2、第一隔板；201、第一通孔；3、第二隔板；301、支撑片；302、隔热层；303、空心柱；304、第二通孔；4、喷嘴；5、推杆；6、驱动机构；7、容置空间；8、挡板；100、隔板组件。
具体实施方式
[0033]这里将详细地对示例性实施方式进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施方式中所描述的实施方式并不代表与本公开相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本公开的一些方面相一致的装置的例子。
[0034]在本公开使用的术语是仅仅出于描述特定实施方式的目的，而非旨在限制本公开。除非另作定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开说明书以及权利要求书中使用的“第一”“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“多个”或者“若干”表示两个及两个以上。除非另行指出，“前部”、“后部”、“下部”和/或“上部”等类似词语只是为了便于说明，而并非限于一个位置或者一种空间定向。“包括”或者“包含”等类似词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后
面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而且可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。在本公开说明书和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。还应当理解，本文中使用的术语“和/或”是指并包含一个或多个相关联的列出项目的任何或所有可能组合。
[0035]相关技术中，在采用坩埚进行加热蒸镀时，坩埚腔室内外围部分的蒸镀材料距离加热装置较近，坩埚腔室内中间部分的蒸镀材料距离加热装置较远，导致坩埚腔室内中间部分的蒸镀材料无法被充分加热，进而导致该部分蒸镀材料无法气化，造成了浪费，降低了蒸镀材料的利用率。
[0036]本公开实施方式提供一种坩埚结构。如图1和图2所示，该坩埚结构可以包括埚体1和隔板组件100，其中：
[0037]该埚体1包括底壁101与侧围壁102，所述侧围壁102连接于所述底壁101。该隔板组件100设于所述埚体1内，且连接于所述侧围壁102。所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坩埚结构，其特征在于，包括：埚体，包括底壁与侧围壁，所述侧围壁连接于所述底壁；隔板组件，设于所述埚体内，且连接于所述侧围壁，所述隔板组件与所述底壁相对设置，以将所述埚体内的空间分成多个容置空间；在所述隔板组件的厚度方向上，所述隔板组件包括能够相对滑动的第一隔板和第二隔板；所述第一隔板设有间隔分布的多个第一通孔，所述第二隔板设有间隔分布的多个第二通孔，多个第二通孔与多个第一通孔一一对应；在所述第一隔板相对所述第二隔板运动至第一位置时，所述第一通孔与所述第二通孔连通；在所述第一隔板相对所述第二隔板运动至第二位置时，所述第一通孔与所述第二通孔错开。2.根据权利要求1所述的坩埚结构，其特征在于，所述第一隔板设于所述第二隔板远离所述底壁的一侧，所述第二隔板包括：支撑片，与所述第一隔板相对设置；多个空心柱，间隔设置于所述支撑片面向所述第一隔板的一侧，所述支撑片设有与所述空心柱的内腔连通的开口，所述开口与所述空心柱的内腔构成所述第二通孔；隔热层，设于所述支撑片面向所述第一隔板的一侧，且围绕多个所述空心柱。3.根据权利要求2所述的坩埚结构，其特征在于，所述空心柱的高度范围为1cm
‑
1.5cm；和/或所...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨炳伟，曾琪皓，刘浩，关新兴，
申请(专利权)人：成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：