下载坩埚结构及蒸镀源装置的技术资料

文档序号:35497760

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本公开提供了一种坩埚结构及蒸镀源装置。该坩埚结构包括:埚体,包括底壁与侧围壁,侧围壁连接于底壁;隔板组件,设于埚体内,且连接于侧围壁,隔板组件与底壁相对设置,以将埚体内的空间分成多个容置空间;在隔板组件的厚度方向上,隔板组件包括能够相对滑动...
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