一种光刻胶标识及光刻胶更换方法技术

本发明专利技术提供一种光刻胶标识及光刻胶更换方法，用于装光刻胶的第一、第二容器；第一容器的外表面设置有第一标识；第二容器的外表面设有第二标识；第一标识和所述第二标识共同组合构成第三标识；第三标识用于通过采集信息设备扫描该第三标识后，同时采集第一容器和第二容器内所装的光刻胶的信息，以更换光刻胶。本发明专利技术中光刻胶的条形码必须由两瓶光刻胶并列时,利用扫描枪扫描来读取光刻胶,此时该条形码信息可以同时提供新旧光刻胶的品名以及批次号信息，并且可以和新光刻胶的信息加以做比对,而在比对无误后，进行更换光刻胶，以达到正确的光刻胶瓶的更换。的光刻胶瓶的更换。的光刻胶瓶的更换。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶标识及光刻胶更换方法


[0001]本专利技术涉及半导体
，特别是涉及一种光刻胶标识及光刻胶更换方法。

技术介绍

[0002]现有光刻胶更换流程,会利用系统管理,首先扫描枪先扫即将换下的旧光刻胶瓶(空瓶或接近空瓶)身条码,再扫描即将要换上来的新光刻胶瓶(满瓶)，系统比对条形码讯息确认比对光刻胶品名以及批次号无误后,进行手动换胶动作。
[0003]此时,有可能在旁边有其他异常备料的光刻胶,光刻胶更换人员有可能在刷完条形码后,仍然换上错误的光刻胶。

技术实现思路

[0004]鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种光刻胶标识及光刻胶更换方法，用于解决现有技术中光刻胶更换人员在刷完条形码后，仍然更换错误光刻胶的问题。
[0005]为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种光刻胶标识及光刻胶更换方法，至少包括：
[0006]用于装光刻胶的第一、第二容器；所述第一容器的外表面设置有第一标识；所述第二容器的外表面设有第二标识；所述第一标识和所述第二标识共同组合构成第三标识；所述第三标识用于通过采集信息设备扫描该第三标识后，同时采集所述第一容器和第二容器内所装的光刻胶的信息，以更换光刻胶。
[0007]优选地，所述用于装光刻胶的第一容器和第二容器均为形状及容量大小相同的瓶子。
[0008]优选地，所述第一、第二、第三标识均为条形码；所述第一标识为第一条形码；所述第二标识为第二条形码；所述第三标识为第三条形码。
[0009]优选地，所述第一条形码水平设置于所述第一容器的侧壁，并且所述第一条形码的一端处于所述第一容器侧壁的边缘；所述第二条形码水平设置于所述第二容器的侧壁，并且所述第二条形码的一端处于所述第二容器侧壁的边缘；将所述第一容器和第二容器紧靠排列放置时，所述第一条形码和第二条形码无缝拼接共同构成所述第三条形码。
[0010]优选地，所述第一容器为空瓶，其内的光刻胶被用完；所述第二容器内装满光刻胶。
[0011]优选地，所述采集信息设备为扫描枪。
[0012]优选地，所述第三条形码用于通过扫描枪扫描该第三条形码后，读取所述第一容器和第二容器内所装的光刻胶的信息，将被用完的光刻胶的所述第一容器更换为装满光刻胶的第二容器。
[0013]优选地，所述光刻胶的信息包括光刻胶的品名和批次号。
[0014]本专利技术还提供一种光刻胶标识的光刻胶更换方法，至少包括：
[0015]步骤一、提供第一、第二容器；所述第一容器和所述第二容器用于装光刻胶，并且所述第一容器内的光刻胶被用完或接近用完，所述第二容器内装满光刻胶；将所述第一容器上的所述第一标识和第二容器上的所述第二标识进行拼接，形成所述第三标识；
[0016]步骤二、利用扫描枪扫描所述第三标识，同时采集所述第一容器和所述第二容器内的光刻胶信息；
[0017]步骤三、将所述第一容器的光刻胶信息和所述第二容器的光刻胶信息进行对比，将光刻胶被用完的所述第一容器更换为装满光刻胶的所述第二容器。
[0018]如上所述，本专利技术的光刻胶标识及光刻胶更换方法，具有以下有益效果：本专利技术中光刻胶的条形码必须由两瓶光刻胶并列时,利用扫描枪扫描来读取光刻胶,此时该条形码信息可以同时提供新旧光刻胶的品名以及批次号信息，并且可以和新光刻胶的信息加以做比对,而在比对无误后，进行更换光刻胶，以达到正确的光刻胶瓶的更换。
附图说明
[0019]图1显示为本专利技术的光刻胶标识示意图；
[0020]图2显示为本专利技术中依据光刻胶标识的光刻胶更换方法流程图。
具体实施方式
[0021]以下通过特定的具体实例说明本专利技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本专利技术的其他优点与功效。本专利技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本专利技术的精神下进行各种修饰或改变。
[0022]请参阅图1至图2。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本专利技术的基本构想，遂图式中仅显示与本专利技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0023]本专利技术提供一种光刻胶标识，至少包括：
[0024]用于装光刻胶的第一、第二容器；所述第一容器的外表面设置有第一标识；所述第二容器的外表面设有第二标识；所述第一标识和所述第二标识共同组合构成第三标识；所述第三标识用于通过采集信息设备扫描该第三标识后，同时采集所述第一容器和第二容器内所装的光刻胶的信息，以更换光刻胶。
[0025]本专利技术进一步地，本实施例的所述用于装光刻胶的第一容器和第二容器均为形状及容量大小相同的瓶子。
[0026]本专利技术进一步地，本实施例的所述第一、第二、第三标识均为条形码；所述第一标识为第一条形码；所述第二标识为第二条形码；所述第三标识为第三条形码。
[0027]本专利技术进一步地，本实施例的所述第一条形码水平设置于所述第一容器的侧壁，并且所述第一条形码的一端处于所述第一容器侧壁的边缘；所述第二条形码水平设置于所述第二容器的侧壁，并且所述第二条形码的一端处于所述第二容器侧壁的边缘；将所述第一容器和第二容器紧靠排列放置时，所述第一条形码和第二条形码无缝拼接共同构成所述第三条形码。
[0028]本专利技术进一步地，本实施例的所述第一容器为空瓶，其内的光刻胶被用完；所述第二容器内装满光刻胶。
[0029]本专利技术进一步地，本实施例的所述采集信息设备为扫描枪。
[0030]本专利技术进一步地，本实施例的所述第三条形码用于通过扫描枪扫描该第三条形码后，读取所述第一容器和第二容器内所装的光刻胶的信息，将被用完的光刻胶的所述第一容器更换为装满光刻胶的第二容器。
[0031]本专利技术进一步地，本实施例的所述光刻胶的信息包括光刻胶的品名和批次号。
[0032]如图1所示，图1显示为本专利技术的光刻胶标识示意图。本实施例提供一种光刻胶标识，包括：用于装光刻胶的第一容器(旧)、第二容器(新)；所述第一容器在本实施例中是用完光刻胶的空瓶或接近空瓶，所述第二容器在本实施例中是装满光刻胶的新瓶。
[0033]所述第一容器01的外表面设置有第一标识01；所述第一标识为条形码；所述第二容器的外表面设有第二标识；所述第二标识也是条形码，所述第一标识和所述第二标识共同组合构成第三标识；所述第一标识的条形码和第二标识的条形码相互拼接形成所述第三标识，第三标识也是条形码。
[0034]所述第三标识用于通过采集信息设备扫描该第三标识后，同时采集所述第一容器和第二容器内所装的光刻胶的信息，以更换光刻胶。本实施例的所述用于装光刻胶的第一容器和第二容器均为形状及容量大小相同的瓶子。本实施例的所述第一标识01、第二标识02、第三标识均为条形码；。如图1所示，本实施例的所述第一条形码水平设置于所述第一容器的侧壁本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶标识，其特征在于，至少包括：用于装光刻胶的第一、第二容器；所述第一容器的外表面设置有第一标识；所述第二容器的外表面设有第二标识；所述第一标识和所述第二标识共同组合构成第三标识；所述第三标识用于通过采集信息设备扫描该第三标识后，同时采集所述第一容器和第二容器内所装的光刻胶的信息，以更换光刻胶。2.根据权利要求1所述的光刻胶标识，其特征在于：所述用于装光刻胶的第一容器和第二容器均为形状及容量大小相同的瓶子。3.根据权利要求2所述的光刻胶标识，其特征在于：所述第一、第二、第三标识均为条形码；所述第一标识为第一条形码；所述第二标识为第二条形码；所述第三标识为第三条形码。4.根据权利要求3所述的光刻胶标识，其特征在于：所述第一条形码水平设置于所述第一容器的侧壁，并且所述第一条形码的一端处于所述第一容器侧壁的边缘；所述第二条形码水平设置于所述第二容器的侧壁，并且所述第二条形码的一端处于所述第二容器侧壁的边缘；将所述第一容器和第二容器紧靠排列放置时，所述第一条形码和第二条形码无缝拼接共同构成所述第三条形码。5.根据权利要求4所述的光刻胶标识，其特征在于：所述第一容器为...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴承璋，赵弘文，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：