一种辅助钨丝绳进行零位点检的装置制造方法及图纸

技术编号:35440726 阅读:17 留言:0更新日期:2022-11-03 11:51
本实用新型专利技术提供了一种辅助钨丝绳进行零位点检的装置,所述装置包括:校准支架,其中,所述校准支架上设置有第一支撑板,所述第一支撑板用于支撑和安装激光发射器,其中,所述激光发射器沿所述第一支撑板的长度方向和/或宽度方向滑动,以调节所述激光发射器在所述第一支撑板上的位置;所述校准支架上还设置有固定平台,所述固定平台用于固定水平仪,以使用所述水平仪检测所述第一支撑板的水平度;在将所述校准支架固定在单晶炉的侧壁上的情况下,所述激光发射器朝所述单晶炉内发射激光。可以缩短零位点检操作的作业时间,规避无效作业的等待时间,提高零位点检操作的作业效率。提高零位点检操作的作业效率。提高零位点检操作的作业效率。

【技术实现步骤摘要】
一种辅助钨丝绳进行零位点检的装置


[0001]本技术涉及单晶硅棒生长
,特别是涉及一种辅助钨丝绳进行零位点检装置。

技术介绍

[0002]近年来,直拉法生长硅单晶的技术越来越纯熟,其应用也越来越广泛。在使用直拉法生长硅单晶的过程中,通常在单晶炉开机前对钨丝绳进行零位点检,由于钨丝绳用于提拉生长过程中的硅棒,钨丝绳是否处于零位严重影响硅棒的生长质量。
[0003]现有技术中,对钨丝绳进行零位点检的操作过程中为:人工操作单晶炉合上炉盖

旋转单晶炉的副室

以单晶炉的炉台基准面为零位下降绑在钨丝绳上的重锤,进行钨丝绳的零位数据确认、零位点检

零位点检数据确认核定记录完成

重锤上升复位

闭合单晶炉的副室,整个零位点检过程的动作较为繁琐,而且单晶炉副室旋转动作缓慢,容易拉长对钨丝绳进行零位点检的操作时间。

技术实现思路

[0004]鉴于上述问题,提出了本技术以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种辅助钨丝绳进行零位点检的装置。
[0005]为了解决上述问题,本技术公开了一种辅助钨丝绳进行零位点检的装置,所述装置包括:校准支架,其中,
[0006]所述校准支架上设置有第一支撑板,所述第一支撑板用于支撑和安装激光发射器,其中,所述激光发射器沿所述第一支撑板的长度方向和/或宽度方向滑动,以调节所述激光发射器在所述第一支撑板上的位置;
[0007]所述校准支架上还设置有固定平台,所述固定平台用于固定水平仪,以使用所述水平仪检测所述第一支撑板的水平度;
[0008]在将所述校准支架固定在单晶炉的侧壁上的情况下,所述激光发射器朝向所述单晶炉内发射激光。
[0009]可选地,所述校准支架包括设置有第一通孔的支架本体和第二支撑板;
[0010]所述第二支撑板和所述第一支撑板均设置在所述第一通孔内,其中,所述第一通孔的中心线与所述第一支撑板平行;
[0011]所述第二支撑板和所述第一支撑板平行且间隔设置,所述第二支撑板和所述第一支撑板之间具有容纳所述激光发射器的间隙。
[0012]可选地,所述装置还包括笔架,所述笔架包括:限位件和用于放置所述激光发射器的笔筒;
[0013]所述笔筒嵌设在所述间隙内;
[0014]所述限位件沿所述笔筒的一端背离所述笔筒延伸,所述限位件滑动连接于所述第一支撑板和/或所述第二支撑板。
[0015]可选地,所述限位件包括第一限位件和第二限位件;
[0016]所述第一限位件的一端与所述笔筒的一端连接,另一端与所述第二限位件连接;
[0017]所述第二限位件与所述笔筒的外壁相对设置,所述第二限位件沿所述第一限位件朝向所述笔筒的另一端延伸;
[0018]其中,所述笔筒的外壁、所述第一限位件和所述第二限位件围合形成第一滑槽,所述第一滑槽滑动连接于所述第一支撑板和/或所述第二支撑板。
[0019]可选地,所述限位件上设置有第二滑槽,所述第二滑槽的开口朝向所述笔筒的另一端;
[0020]所述第二滑槽滑动连接于所述第一支撑板和/或所述第二支撑板。
[0021]可选地,所述支架本体的结构包括圆柱体结构、长方体结构、圆台结构中的一种。
[0022]可选地,所述固定平台为第三支撑板;
[0023]所述第三支撑板的一端固定连接于所述第一支撑板或者所述第二支撑板,另一端固定连接于所述第一通孔的内壁。
[0024]可选地,所述第三支撑板为平板或者U型板中的一种。
[0025]可选地,所述笔筒的一端设置有开口,所述开口用于避让所述激光发射器;
[0026]所述笔筒的另一端设置有透光孔,所述透光孔用于透射所述激光发射器发射的激光。
[0027]可选地,所述透光孔为在所述笔筒上设置的第二通孔;
[0028]或者,所述透光孔为在所述笔筒上设置的透明区域。
[0029]本技术包括以下优点:
[0030]在本技术实施例中,所述校准支架上设置有固定平台,便于将水平仪固定在所述校准支架上。使用所述第一支撑板用于支撑和安装激光发射器,便于将激光发射器安装在所述校准支架上。由于所述激光器可以沿所述第一支撑板的长度方向和/或宽度方向滑动,便于调节激光发射器在所述第一支撑板上的位置。在对钨丝绳进行零位点检的过程中,可以将所述校准支架固定在单晶炉的侧壁上,并打开激光发射器,使得激光发射器可以向单晶炉内发射激光。将绑有重锤的钨丝绳放在单晶炉内,使得钨丝绳在单晶炉内自然下垂,分别调整重锤在竖直方向上的高度以及激光发射器在所述第一支撑板上的位置,使得激光照射在重锤上的标记线上,可以完成对钨丝绳的零位点检。整个零位点检操作的过程较为简单,且无需旋转单晶炉的副室,可以缩短零位点检操作的作业时间,规避无效作业的等待时间,提高零位点检操作的作业效率。
附图说明
[0031]图1是本技术的一种校准支架的结构示意图;
[0032]图2是本技术的另一种校准支架的结构示意图;
[0033]图3是本技术的又一种校准支架的结构示意图;
[0034]图4是本技术的一种校准支架的剖面结构示意图;
[0035]图5是本技术的一种校准支架与笔架配合的结构示意图;
[0036]图6是本技术的另一种校准支架与笔架配合的结构示意图;
[0037]图7A是本技术的又一种校准支架与笔架配合的结构示意图;
[0038]图7B是本技术图7A中沿A

A剖开的结构示意图;
[0039]图8A是本技术的再一种校准支架与笔架配合的结构示意图;
[0040]图8B是本技术图8A中沿B

B剖开的结构示意图;
[0041]图9是本技术实施例的一种笔架的结构示意图;
[0042]图10是本技术实施例的另一种笔架的结构示意图;
[0043]图11是本技术实施例的又一种笔架的结构示意图;
[0044]图12是本技术实施例的再一种笔架的结构示意图;
[0045]图13A是本技术实施例的一种钨丝绳进行零位点检的结构示意图;
[0046]图13B是本技术实施例13A中沿C

C剖开的结构示意图。
[0047]附图标记说明:
[0048]1‑
校准支架,11

支架本体,111

第一通孔,12

第一支撑板,13

第二支撑板,14

固定平台,15

间隙,2

笔架,21

笔筒,211

开口,212

透光孔,22

限位件,本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种辅助钨丝绳进行零位点检的装置,其特征在于,所述装置包括校准支架,其中,所述校准支架上设置有第一支撑板,所述第一支撑板用于支撑和安装激光发射器,其中,所述激光发射器沿所述第一支撑板的长度方向和/或宽度方向滑动,以调节所述激光发射器在所述第一支撑板上的位置;所述校准支架上还设置有固定平台,所述固定平台用于固定水平仪,以使用所述水平仪检测所述第一支撑板的水平度;在将所述校准支架固定在单晶炉的侧壁上的情况下,所述激光发射器朝所述单晶炉内发射激光。2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述校准支架包括设置有第一通孔的支架本体和第二支撑板;所述第二支撑板和所述第一支撑板均设置在所述第一通孔内,其中,所述第一通孔的中心线与所述第一支撑板平行;所述第二支撑板和所述第一支撑板平行且间隔设置,所述第二支撑板和所述第一支撑板之间具有用于容纳所述激光发射器的间隙。3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述装置还包括笔架,所述笔架包括:限位件和用于放置所述激光发射器的笔筒;所述笔筒嵌设在所述间隙内;所述限位件沿所述笔筒的一端背离所述笔筒延伸,所述限位件滑动连接于所述第一支撑板和/或所述第二支撑板。4.根据权利要求3所述的装置,其特征在于,所述限位件包括第一限位件和第二限位件;所述第一限位件的一端与所述笔筒的一...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵永洪杨文凡
申请(专利权)人:曲靖隆基硅材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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