为了解决现有的单晶炉在进行水冷却的过程中，工艺水池中的水达到溢流位置后直接将水沿排水口直接排出，大大浪费了水资源，提高了生产成本的问题，本实用新型专利技术提出一种单晶拉棒车间冷却控制系统，工艺冷却水池底部设有主出水口、次出水口，主出水口与电动阀组输入端通过管道连接，用于将工艺冷却水池内的冷却水输出至电动阀组内，次出水口连接设有自循环水管装置，自循环水管装置另一端与补水主管连接，通过在工艺冷却水池的次出水口处连接自循环水管装置，自循环水管装置将达标但超过溢流口水位的工艺水输送输出至补水主管为冷却塔组补水，提高资源利用率，降低消耗，降低生产成本。本。本。
【技术实现步骤摘要】
一种单晶拉棒车间冷却控制系统
[0001]本技术涉及单晶拉棒车间冷却设备领域，较为具体的，涉及到一种单晶拉棒车间冷却控制系统。
技术介绍
[0002]单晶拉棒是用于制造半导体器件用的。单晶拉棒是太阳能电池的，单晶硅棒是通过区熔或直拉工艺在单晶炉的炉膛中整形或提拉形成的，是硅原子按籽晶的晶格排列方向，重新排列的硅单晶体棒。单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器等将多晶硅等多晶材料熔化，然后用直拉法向上直拉生长出晶棒的设备。晶棒在制作过程需要进行冷却，使得晶棒固定成型。单晶炉的周向外侧设置有螺旋状的冷却通道，冷却流体在冷却通道内流动以对单晶炉及其内部的材料进行冷却。
[0003]现有的单晶炉在进行水冷却的过程中，工艺水池中的水达到溢流位置后直接将水沿排水口直接排出，大大浪费了水资源，提高了生产成本。
[0004]有鉴于此，本技术提出一种循环利用工艺冷却水池水的、方便使用的，一种单晶拉棒车间冷却控制系统。
技术实现思路
[0005]有鉴于此，为了解决现有的单晶炉在进行水冷却的过程中，工艺水池中的水达到溢流位置后直接将水沿排水口直接排出，大大浪费了水资源，提高了生产成本的问题，本技术提出一种单晶拉棒车间冷却控制系统，工艺冷却水池21底部设有主出水口24、次出水口25，主出水口24与电动阀组3输入端通过管道连接，用于将工艺冷却水池21内的冷却水输出至电动阀组3内，次出水口25连接设有自循环水管装置9，自循环水管装置9另一端与补水主管7连接，通过在工艺冷却水池21的次出水口25处连接自循环水管装置9，自循环水管装置9将达标但超过溢流口211水位的工艺水输送输出至补水主管7为冷却塔组1补水，提高资源利用率，降低消耗，降低生产成本。
[0006]一种单晶拉棒车间冷却控制系统，包括冷却塔组1、工艺冷却水池组2、电动阀组3、冷却水供水主管4、冷却水回水主管5、单晶炉设备组6、补水主管7、RO水补水主管8、自循环水管装置9，其特征在于：冷却塔组1输出端与工艺冷却水池组2输入端通过管道连接，工艺冷却水池组2输出端与电动阀组3通过管道连接，电动阀组3输出端与单晶炉设备组6输入端通过冷却水供水主管4连接，单晶炉设备组6输出端与冷却塔组1输入端通过冷却水回水主管5连接，工艺冷却水池组2由至少2个工艺冷却水池21组成，工艺冷却水池21顶部设有第三补水口22、第四补水口23，第三补水口22用于为工艺冷却水池21接收正常RO水补水，第四补水口23用于为工艺冷却水池21接收应急自来水水补水，RO水补水主管8通过管道与第三补水口22连接，补水主管7通过管道与第四补水口23连接，工艺冷却水池21内设有电导率传感器，用于监测工艺冷却水池21内水质，工艺冷却水池21底部设有主出水口24、次出水口25，主出水口24与电动阀组3输入端通过管道连接，用于将工艺冷却水池21内的冷却水输出至
电动阀组3内，次出水口25连接设有自循环水管装置9，用于将工艺冷却水池21中的超量达标水通过自循环水管装置9输出至补水主管7为冷却塔组1补水，自循环水管装置9一端与次出水口25连接，自循环水管装置9另一端与补水主管7连接。
[0007]进一步的，自循环水管装置9包括自循环主管91、自循环主管91从上到下依次设有第一蝶阀、第一压力表92、第一Y型过滤器93、第一泄水阀94、第一软接头、第一电动水泵95、第二软接头、第二压力表96、第一止回阀97、第二蝶阀、第三蝶阀、过滤器98、第四蝶阀，第一电动水泵95与电导率传感器电性连接。
[0008]进一步的，所述工艺冷却水池21的溢流液位高度设有溢流口211，所述工艺冷却水池21的底部的侧边设有排水口212，溢流口211与排水口212通过管道连接，排水口212用于排出工艺冷却水池21溢流的冷却水。
[0009]进一步的，所述工艺冷却水池21内还设有液位传感器、温度传感器、PH值传感器、氯离子传感器，用于监测工艺冷却水池21内的液位高度、温度、PH值、氯离子浓度。
[0010]进一步的，工艺冷却水池21的最低报警液位为1.0m，正常液位为2.9m，报警液位为3.0m，溢流液位为3.1m。
[0011]在一些实施方式中，冷却塔组1由多个闭式冷却塔11组成，闭式冷却塔11底部依次设有第一补水口12、第二补水口13，第一补水口12用于接收正常自来水补水，第二补水口13用于接收应急RO水补水，补水主管7通过管道与第一补水口12连接，RO水补水主管8通过管道与第二补水口13连接。
[0012]在一些实施方式中，所述电动阀组3有多个电动水泵装置31组成，所述电动水泵装置31包括第一冷却水供水管32、第五蝶阀、第三压力表33、第二Y型过滤器34、第二泄水阀35、第三软接头、第二电动水泵36、第四软接头、第四压力表37、第二止回阀38、第六蝶阀，第一冷却水供水管32一端与工艺冷却水池组2输出端连接，第一冷却水供水管32另一端与单晶炉设备组6输入端连接，第一冷却水供水管32从上到下依次连接第五蝶阀、第三压力表33、第二Y型过滤器34、第二泄水阀35、第三软接头、第二电动水泵36、第四软接头、第四压力表37、第二止回阀38、第六蝶阀。
[0013]在一些实施方式中，相邻的工艺冷却水池21通过管道连接，相邻的工艺冷却水池21连接的管道上设有蝶阀组件用于开闭管道。
[0014]本技术的有益效果：本技术提出一种单晶拉棒车间冷却控制系统，工艺冷却水池21底部设有主出水口24、次出水口25，主出水口24与电动阀组3输入端通过管道连接，用于将工艺冷却水池21内的冷却水输出至电动阀组3内，次出水口25连接设有自循环水管装置9，自循环水管装置9另一端与补水主管7连接，通过在工艺冷却水池21的次出水口25处连接自循环水管装置9，自循环水管装置9将达标但超过溢流口211水位的工艺水输送输出至补水主管7为冷却塔组1补水，提高资源利用率，降低消耗，降低生产成本。
附图说明
[0015]图1为本技术的单晶拉棒车间冷却控制系统的结构示意图。
[0016]图2为本技术的单晶拉棒车间冷却控制系统的局部结构示意图。
[0017]图3为本技术的单晶拉棒车间冷却控制系统的局部结构示意图。
[0018]图4为本技术的单晶拉棒车间冷却控制系统的局部结构示意图。
[0019]图5为本技术的单晶拉棒车间冷却控制系统的局部结构示意图。
[0020]主要元件符号说明
[0021][0022][0023]如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本技术。
具体实施方式
[0024]如图1所示，为本技术的单晶拉棒车间冷却控制系统的结构示意图；如图2所示，为本技术的单晶拉棒车间冷却控制系统的局部结构示意图；如图3所示，为本技术的单晶拉棒车间冷却控制系统的局部结构示意图；如图4所示，为本技术的单晶拉棒车间冷却控制系统的局部结构示意图；如图5所示，为本技术的单晶拉棒车间冷却控制系统本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶拉棒车间冷却控制系统，包括冷却塔组(1)、工艺冷却水池组(2)、电动阀组(3)、冷却水供水主管(4)、冷却水回水主管(5)、单晶炉设备组(6)、补水主管(7)、RO水补水主管(8)、自循环水管装置(9)，其特征在于：冷却塔组(1)输出端与工艺冷却水池组(2)输入端通过管道连接，工艺冷却水池组(2)输出端与电动阀组(3)通过管道连接，电动阀组(3)输出端与单晶炉设备组(6)输入端通过冷却水供水主管(4)连接，单晶炉设备组(6)输出端与冷却塔组(1)输入端通过冷却水回水主管(5)连接，工艺冷却水池组(2)由至少2个工艺冷却水池(21)组成，工艺冷却水池(21)顶部设有第三补水口(22)、第四补水口(23)，第三补水口(22)用于为工艺冷却水池(21)接收正常RO水补水，第四补水口(23)用于为工艺冷却水池(21)接收应急自来水补水，RO水补水主管(8)通过管道与第三补水口(22)连接，补水主管(7)通过管道与第四补水口(23)连接，工艺冷却水池(21)内设有电导率传感器，用于监测工艺冷却水池(21)内水质，工艺冷却水池(21)底部设有主出水口(24)、次出水口(25)，主出水口(24)与电动阀组(3)输入端通过管道连接，用于将工艺冷却水池(21)内的冷却水输出至电动阀组(3)内，次出水口(25)连接设有自循环水管装置(9)，用于将工艺冷却水池(21)中的超量达标水通过自循环水管装置(9)输出至补水主管(7)为冷却塔组(1)补水，自循环水管装置(9)一端与次出水口(25)连接，自循环水管装置(9)另一端与补水主管(7)连接。2.如权利要求1所述的单晶拉棒车间冷却控制系统，其特征在于：自循环水管装置(9)包括自循环主管(91)、自循环主管(91)从上到下依次设有第一蝶阀、第一压力表(92)、第一Y型过滤器(93)、第一泄水阀(94)、第一软接头、第一电动水泵(95)、第二软接头、第二压力表(96)、第一止回阀(97)、第二蝶阀、第三蝶阀、过滤器(98)、第四蝶阀，第一电动水泵(95)与电导率传感器电性连接。3.如权利要求1所述的单晶拉棒车间冷却控制系统，其特征在于：所述工艺冷...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡玉超，宋吉庆，李群，
申请(专利权)人：江苏源一工程科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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