【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及尾气排放处理，较为具体的，涉及到一种硅烷排气二次配管系统。
技术介绍
1、太阳能电池的制造需要经过制绒、扩散、刻蚀、pecvd镀膜、丝网印刷和烧结测试这七大工序，其中，在pecvd镀膜工序后会产生硅烷废气，此废气需经过处理后才能排放。
2、现有的专利(公开号：cn215637221 u、cn105333444a)均将生产产生的硅烷废气直接输出进行燃烧，而未对其进行分别处理，导致消耗大，成本高。
3、公开号：cn215637221 u，一种硅烷尾气排放处理系统，公开了本技术提出一种硅烷尾气排放处理系统，通过真空泵组的输出端连接有燃烧桶组的输入端，燃烧桶组的输出端连接废气塔组的输入端，废气塔组的输出端连接风机组的输入端，风机组的输出端连接烟囱，通过烟囱将处理好的硅烷尾气排放至室外，真空泵组的输出端设有压力传感器。
4、公开号：cn105333444a，一种硅烷尾气燃烧除尘净化系统，公开了包括燃烧桶、粉尘集尘机、尾气净化塔；所述燃烧桶下部设置有废气进气口，顶部设置有燃烧桶顶部出气口；所述粉尘集尘机与所述燃烧桶顶部出气口通过管道连通；所述粉尘集尘机出口通过管道设有一排风机；所述尾气净化塔顶部设有尾气净化塔进气口，所述尾气净化塔进气口与所述排风机通过管道连通；所述尾气净化塔顶部设有排气口；所述尾气净化塔包括燃烧室、洗涤室；所述燃烧室下部与所述洗涤室下部相通。
5、因此,如何解决硅烷废气处理消耗大、成本高是本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路<
1、有鉴于此，为了解决现有硅烷废气处理成本高、消耗大的问题，本专利技术提出一种硅烷排气二次配管系统，所述真空泵组1的输入端连接硅烷车间尾气排放主机台的输出端，真空泵组1的输出端连接废气处理组2的输入端，当主机台监测到的气体是二氧化硅或者磷烷时，所述真空泵组1会将二氧化硅气体或者磷烷通过输气管输送到第一废气处理设备7进行处理，当主机台监测到硅烷气体时，所述真空泵组1会将硅烷气体运输到其他废气处理装置进行处理，为提高系统的设计和操作的安全性，在处理硅烷气体时会二次运输到另一个废气处理装置进行气体的二次处理，提高安全性。
2、一种硅烷排气二次配管系统，包括真空泵组1、废气处理组2，所述硅烷车间尾气排放主机台的输出端与真空泵组1输出端通过管道与废气处理组2连接，其特征在于：所述废气处理组2包括第一废气处理设备7、第二废气处理设备8、第三废气处理设备11，所述硅烷车间尾气排放主机台的输出端与真空泵组1的输入端连接，所述真空泵组1的输出端处设有第一输气管3组件，所述真空泵组1通过第一输气管3组件分别与第一废气处理设备7、第二废气处理设备8连接，所述第二废气处理设备8的输出端通过第四输气管9和第二废气主管10连接第三废气处理设备11，所述第一输气管3、第一废气主管6、第四输气管9和第二废气主管10的折弯处均可拆卸设有卡箍31，用于管道的拆卸维修。
3、进一步的，第一输气管3组件包括第一输气管3、第一三通阀32、第二输气管4、第三输气管5，第一输气管3输出端处设有第一三通阀32，所述第一三通阀32一输出端通过第二输气管4与第一废气主管6输入端连接，第一废气主管6输出端与第一废气处理设备7输入端连接，第一三通阀32另一输出端通过第三输气管5与第二废气处理设备8输入端连接。
4、进一步的，真空泵组1由6-8个真空泵组1成，每台真空泵111输出端处均有设第一输气管3，每一第一输气管3输出端处均设有第一三通阀32，第一三通阀32一输出端通过第二输气管4与第一废气主管6输入端连接，第一废气主管6输出端与第一废气处理设备7输入端连接，第一三通阀32另一输出端通过第三输气管5与第二废气处理设备8输入端连接。
5、进一步的，废气处理组2通过备用废气输送管20与备用废气处理组2连接，所述备用废气处理组2通过第一备用输气管23与备用真空泵组21连接，所述备用废气处理组2包括第一备用废气处理设备27、第二备用废气处理设备28和第三废气处理设备11，所述备用废气处理组2与废气处理组2结构相同，真空泵组1与备用真空泵组21结构相同，当真空泵组1停运或第二废气处理设备8停运时，可以启用备用真空泵组21或备用废气处理组2进行处理。
6、进一步的，备用废气处理组2上的第二备用废气处理设备28通过第一备用输气管23组件与备用真空泵组21连接，所述第一备用输气管23组件包括第一备用输气管23、第二三通阀321、第二备用输气管24、第三备用输气管25，所述备用真空泵组21含有6-8个备用真空泵222，每台备用真空泵222输出端处均有设第一备用输气管23，每一第一备用输气管23输出端处也设有第二三通阀321，所述第二三通阀321一输出端通过第二备用输气管24与第一备用废气主管26输入端连接，第一备用废气主管26输出端与第一备用废气处理设备27输入端连接，第二三通阀321另一输出端通过第三备用输气管25与第二备用废气处理设备28输入端连接。
7、进一步的，第二备用废气处理设备28的输入端连接第三备用输气管25的输出端，所述第二备用废气处理设备28的输出端通过第四备用输气管29和第二废气主管10连接第三废气处理设备11。
8、进一步的，第一备用输气管23、第二备用输气管24、第三备用输气管25、第一备用废气主管26、第四备用输气管29和第二废气主管10的折弯处均设有卡箍31，用于管道的拆卸维修。
9、进一步的，第一三通阀32在连接第二输气管4的输出端上设有第一二通阀33，用于控制输出端管道的开通与截止，所述第一三通阀32与第一二通阀33之间设有第一变径阀34，用于第一三通阀32的阀口与管道的连接，所述第二三通阀321在连接第二备用输气管24的输出端上设有第二二通阀331，用于控制输出端管道的开通与截止，所述第二三通阀321与第二二通阀331之间设有第二变径阀341，用于第二三通阀321的阀口与管道的连接。
10、进一步的，第一废气主管6和第一备用废气主管26的输出端设有第一阀门35，所述第二废气主管10的输入端设有第二阀门36，所述第二废气主管10的输出端设有第三阀门37，每个阀门都可以控制管道的开通与截止，便于管道的检修，所述第一阀门35、第二阀门36和第三阀门37的两端均设有卡箍31，便于每个阀门的拆卸维修。
11、进一步的，第一输气管3、第一备用输气管23、第二输气管4、第二备用输气管24、第三输气管5、第三备用输气管25、第四输气管9、第四备用输气管29和备用废气输送管20的管道内径相同，所述第一废气主管6、第一备用废气主管26、第二废气主管10的管道内径相同，所述第一废气主管6的管道内径大于第一输气管3的管道内径，所述第一备用废气主管26的管道内径大于第一备用输气管23的管道内径，所述第二废气主管10的管道内径大于第四输气管9和第四备用输气管29的管道内径。
12、本专利技术的有益效果是：本专利技术提出一种硅烷排气二次配管系统，所述真空泵组1的本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种硅烷排气二次配管系统，包括真空泵组(1)、废气处理组(2)，所述硅烷车间尾气排放主机台的输出端与真空泵组(1)输出端通过管道与废气处理组(2)连接，其特征在于：所述废气处理组(2)包括第一废气处理设备(7)、第二废气处理设备(8)、第三废气处理设备(11)，所述硅烷车间尾气排放主机台的输出端与真空泵组(1)的输入端连接，所述真空泵组(1)的输出端处设有第一输气管(3)组件，所述真空泵组(1)通过第一输气管(3)组件分别与第一废气处理设备(7)、第二废气处理设备(8)连接，所述第二废气处理设备(8)的输出端通过第四输气管(9)和第二废气主管(10)连接第三废气处理设备(11)，所述第一输气管(3)、第一废气主管(6)、第四输气管(9)和第二废气主管(10)的折弯处均可拆卸设有卡箍(31)，用于管道的拆卸维修。
2.如权利要求1所述的硅烷排气二次配管系统，其特征在于：所述第一输气管(3)组件包括第一输气管(3)、第一三通阀(32)、第二输气管(4)、第三输气管(5)，第一输气管(3)输出端处设有第一三通阀(32)，所述第一三通阀(32)一输出端通过第二输气管(4)
3.如权利要求2所述的硅烷排气二次配管系统，其特征在于：所述真空泵组(1)由6-8个真空泵组(1)成，每台真空泵(111)输出端处均有设第一输气管(3)，每一第一输气管(3)输出端处均设有第一三通阀(32)，所述第一三通阀(32)一输出端通过第二输气管(4)与第一废气主管(6)输入端连接，第一废气主管(6)输出端与第一废气处理设备(7)输入端连接，第一三通阀(32)另一输出端通过第三输气管(5)与第二废气处理设备(8)输入端连接。
4.如权利要求1所述的硅烷排气二次配管系统，其特征在于：所述废气处理组(2)通过备用废气输送管(20)与备用废气处理组(2)连接，所述备用废气处理组(2)通过第一备用输气管(23)与备用真空泵组(21)连接，所述备用废气处理组(2)包括第一备用废气处理设备(27)、第二备用废气处理设备(28)和第三废气处理设备(11)，所述备用废气处理组(2)与废气处理组(2)结构相同，真空泵组(1)与备用真空泵组(21)结构相同，当真空泵组(1)停运或第二废气处理设备(8)停运时，可以启用备用真空泵组(21)或备用废气处理组(2)进行处理。
5.如权利要求4所述的硅烷排气二次配管系统，其特征在于：所述备用废气处理组(2)上的第二备用废气处理设备(28)通过第一备用输气管(23)组件与备用真空泵组(21)连接，所述第一备用输气管(23)组件包括第一备用输气管(23)、第二三通阀(321)、第二备用输气管(24)、第三备用输气管(25)，所述备用真空泵组(21)含有6-8个备用真空泵(222)，每台备用真空泵(222)输出端处均有设第一备用输气管(23)，每一第一备用输气管(23)输出端处也设有第二三通阀(321)，所述第二三通阀(321)一输出端通过第二备用输气管(24)与第一备用废气主管(26)输入端连接，第一备用废气主管(26)输出端与第一备用废气处理设备(27)输入端连接，第二三通阀(321)另一输出端通过第三备用输气管(25)与第二备用废气处理设备(28)输入端连接。
6.如权利要求4所述的硅烷排气二次配管系统，其特征在于：所述第二备用废气处理设备(28)的输入端连接第三备用输气管(25)的输出端，所述第二备用废气处理设备(28)的输出端通过第四备用输气管(29)和第二废气主管(10)连接第三废气处理设备(11)。
7.如权利要求4所述的硅烷排气二次配管系统，其特征在于：所述第一备用输气管(23)、第二备用输气管(24)、第三备用输气管(25)、第一备用废气主管(26)、第四备用输气管(29)和第二废气主管(10)的折弯处均设有卡箍(31)，用于管道的拆卸维修。
8.如权利要求2所述的硅烷排气二次配管系统，其特征在于：所述第一三通阀(32)在连接第二输气管(4)的输出端上设有第一二通阀(33)，用于控制输出端管道的开通与截止，所述第一三通阀(32)与第一二通阀(33)之间设有第一变径阀(34)，用于第一三通阀(32)的阀口与管道的连接，所述第二三通阀(321)在连接第二备用输气管(24)的输出端上设有第二二通阀(331)，用于控制输出端管道的开通与截止，所述第二三通阀(321)与第二二通阀(331)之间设有第二变径阀(341)，用于第二三通阀(321)的阀口与管道的连接。
<...【技术特征摘要】
1.一种硅烷排气二次配管系统，包括真空泵组(1)、废气处理组(2)，所述硅烷车间尾气排放主机台的输出端与真空泵组(1)输出端通过管道与废气处理组(2)连接，其特征在于：所述废气处理组(2)包括第一废气处理设备(7)、第二废气处理设备(8)、第三废气处理设备(11)，所述硅烷车间尾气排放主机台的输出端与真空泵组(1)的输入端连接，所述真空泵组(1)的输出端处设有第一输气管(3)组件，所述真空泵组(1)通过第一输气管(3)组件分别与第一废气处理设备(7)、第二废气处理设备(8)连接，所述第二废气处理设备(8)的输出端通过第四输气管(9)和第二废气主管(10)连接第三废气处理设备(11)，所述第一输气管(3)、第一废气主管(6)、第四输气管(9)和第二废气主管(10)的折弯处均可拆卸设有卡箍(31)，用于管道的拆卸维修。
2.如权利要求1所述的硅烷排气二次配管系统，其特征在于：所述第一输气管(3)组件包括第一输气管(3)、第一三通阀(32)、第二输气管(4)、第三输气管(5)，第一输气管(3)输出端处设有第一三通阀(32)，所述第一三通阀(32)一输出端通过第二输气管(4)与第一废气主管(6)输入端连接，第一废气主管(6)输出端与第一废气处理设备(7)输入端连接，第一三通阀(32)另一输出端通过第三输气管(5)与第二废气处理设备(8)输入端连接。
3.如权利要求2所述的硅烷排气二次配管系统，其特征在于：所述真空泵组(1)由6-8个真空泵组(1)成，每台真空泵(111)输出端处均有设第一输气管(3)，每一第一输气管(3)输出端处均设有第一三通阀(32)，所述第一三通阀(32)一输出端通过第二输气管(4)与第一废气主管(6)输入端连接，第一废气主管(6)输出端与第一废气处理设备(7)输入端连接，第一三通阀(32)另一输出端通过第三输气管(5)与第二废气处理设备(8)输入端连接。
4.如权利要求1所述的硅烷排气二次配管系统，其特征在于：所述废气处理组(2)通过备用废气输送管(20)与备用废气处理组(2)连接，所述备用废气处理组(2)通过第一备用输气管(23)与备用真空泵组(21)连接，所述备用废气处理组(2)包括第一备用废气处理设备(27)、第二备用废气处理设备(28)和第三废气处理设备(11)，所述备用废气处理组(2)与废气处理组(2)结构相同，真空泵组(1)与备用真空泵组(21)结构相同，当真空泵组(1)停运或第二废气处理设备(8)停运时，可以启用备用真空泵组(21)或备用废气处理组(2)进行处理。
5.如权利要求4所述的硅烷排气二次配管系统，其特征在于：所述备用废气处理组(2)上的第二备用废气处理设备(28)通过第一备用输气管(23)组件与备用真空泵组(21)连接，所述第一备用输气管(23)组件包括第一备用输气管(23)、第二三通阀(321)、第二备用输气管(24)、第三备用输气管(25)，所述备用真空泵组(21)...
【专利技术属性】
技术研发人员：项琼，宋吉庆，李群，
申请(专利权)人：江苏源一工程科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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