一种机械手旋转摆臂取放装置制造方法及图纸

技术编号:35429920 阅读:23 留言:0更新日期:2022-11-03 11:34
本实用新型专利技术公开了一种机械手旋转摆臂取放装置,包括驱动电机和旋转座,旋转座上设有旋转摆臂,旋转摆臂为呈90到180

【技术实现步骤摘要】
一种机械手旋转摆臂取放装置


[0001]本技术属于半导体设备领域,具体涉及一种机械手旋转摆臂取放装置。

技术介绍

[0002]随着发光二极管的发展,晶圆切割成多个晶粒(die or chip,又称为芯片)后,须依其质量、性能、产品特性予以分级分类,以将等级互异的晶粒应用于不同的领域,特别是在发光二极管(Light Emitted Diode,LED)的产业中,二极管的发光亮度、波长、色温、操作电压等会因制程条件的些许差异,即使在同一片LED生产晶圆上,各个晶粒之间多少都会存在着些许微小差异。而随着发光二极管的分类要求渐趋于精细,目前已经发展出150类的分类细目,为求效率,一般会使用机械手臂进行分类。因此,晶粒的挑拣分类速度便直接影响到生产速度,在现有技术中,LED芯片挑拣机必须经过捡取LED芯片、旋转LED芯片及向下放置LED芯片等数个步骤才能完成将LED芯片由芯片承载面放置于芯片贴附面的芯片分拣过程,并且,这样的LED芯片在拾取及贴附过程中,摆臂的前后位移会造成吸嘴在上下方向的微量位移,从而对芯片的贴附精度造成影响,如图1所示,旋转摆臂上的吸嘴进行吸取和贴附放置芯片时,吸嘴在垂直压力作用下会以旋转摆臂的底部为轴前后做微旋转转动(如图1中箭头所示),从而使吸嘴在上下和前后位置上存在位移,由于吸嘴旋转所带来的上下位移误差在芯片分拣的过程中不易被察觉,往往直到LED芯片放置于芯片贴附面时才会被发现,然而此时已经无法处理,造成质量异常。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于解决现有机械手臂摆臂在受到压缩作用力时,存在摆臂会沿着其下端作为轴线小角度旋转的问题,致使位于摆臂上端的吸嘴会产生上下方向的位移,从而对芯片产品排列精度的影响,使得部分芯片产品出现质量异常,为此,本技术提供了一种机械手旋转摆臂取放装置,很好地保证产品的排列精度,控制位置误差在合理范围内。
[0004]本技术所采用的技术方案如下:
[0005]一种机械手旋转摆臂取放装置,包括驱动电机和与所述驱动电机转轴连接的旋转座,所述旋转座上安装有旋转摆臂,所述旋转摆臂为两端呈90
°
~180
°
夹角、且呈对称设置的长型面板结构,其中部与所述驱动电机转轴呈垂直设置,且延伸出所述旋转座的外侧,靠近所述旋转摆臂的两端部位置分别设有一组吸头座和导向机构,所述吸头座的后端与所述导向机构连接,位于所述吸头座前端的吸嘴伸出所述旋转摆臂的端部,所述吸嘴受压时,所述导向机构将所述吸嘴限制在沿其受压方向上移动。
[0006]优选地,所述导向机构包括导向杆、复位弹簧、导向座和滑套,所述导向座靠近所述旋转摆臂的两端边缘设置,所述导向杆与所述驱动电机转轴呈垂直设置,所述滑套贯穿设置于所述导向座中,二者形成相对固定连接,所述导向杆的前端与所述吸头座形成可拆卸的固定连接,所述导向杆贯穿所述滑套,二者形成滑动连接,所述导向杆的后端设有限位
块,所述复位弹簧套装于所述吸头座与所述导向座之间的所述导向杆上。
[0007]进一步优选地,所述限位块上还设有限位顶丝,所述限位顶丝沿着与所述导向杆的平行方向设置,所述限位顶丝与所述滑套的后端形成相抵。
[0008]进一步优选地,所述限位块呈可拆卸方式夹持在所述导向杆的后端。
[0009]所述滑套为一滑动轴承,其外圈与所述导向座紧配合连接,其内圈与所述导向杆形成轴向滑动连接。
[0010]所述导向座上平行设置至少两个导向孔,每个所述导向孔中固定一个所述滑套,所述的导向杆对应贯穿于所述滑套中,每一所述导向杆的前端与所述吸头座形成可拆卸的固定连接,每个所述导向杆上分别套装有所述的复位弹簧。
[0011]或优选地,所述导向机构包括导向杆、复位弹簧和导向座,所述导向座靠近所述旋转摆臂的两端边缘设置,所述导向杆与所述驱动电机转轴呈垂直设置,所述导向杆的后端与所述导向座固定连接,所述吸头座上设有导向孔,所述导向杆贯穿于所述吸头座上的导向孔,二者形成滑动连接,且在所述导向杆的前端设有限位块,所述复位弹簧套装于所述吸头座与所述导向座之间的所述导向杆上。
[0012]进一步地,所述导向座上平行设置至少两个导向孔,所述的导向杆对应贯穿所述导向孔中,且与所述导向座形成可拆卸的固定连接,每个所述导向杆上分别套装有所述的复位弹簧。
[0013]所述吸头座包括吸嘴和带有充气腔的密闭腔体,所述吸嘴设置于所述密闭腔体的前端,所述导向杆固定于所述密闭腔体的后端,所述密闭腔体上还设有与其连通的气动接头。
[0014]所述导向座上平行设置两个导向孔,各个所述导向孔间呈上下和/或水平设置。
[0015]本技术技术方案,具有如下优点:
[0016]A.本技术将带有吸嘴的吸头座与导向机构连接,在旋转摆臂工作时,吸嘴在取放芯片受到挤压作用力时只沿着导向机构产生水平一个方向上的位移,不会使吸嘴产生上下方向的位移,执行排布作业时保证芯片的排列精度在设定范围内,从而解决了现有技术中因摆臂的微旋转对芯片排列精度存在超出误差范围的技术问题,有效控制了产品的质量。
[0017]B.本技术在导向机构中的导向杆后端或前端设置限位块,可以根据所需要的吸嘴位置进行实时调节,有效控制了吸嘴的受力强度,使吸嘴在吸取或取放芯片时受到最佳的挤压作用力,提升吸嘴寿命,且调整操作更便利。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术具体实施方式,下面将对具体实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本技术的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1是现有技术所采用的取放装置立体结构示意图;
[0020]图2是本技术所提供的取放装置立体结构示意图;
[0021]图3是本技术中所提供的导向机构与吸头座间的第一种连接结构图;
[0022]图4是本技术中所提供的导向机构与吸头座间的第二种连接结构图;
[0023]图5是图4所示俯视图;
[0024]图6是图5所示注视图。
[0025]图中标识如下:
[0026]1‑
驱动电机
[0027]11

转轴
[0028]2‑
旋转座
[0029]3‑
旋转摆臂
[0030]4‑
吸头座
[0031]41

吸嘴,42

密闭腔体,43

气动接头
[0032]5‑
导向机构
[0033]51

导向杆,52

复位弹簧,53

导向座,54

限位块,55

滑套
[0034]6‑
限位顶丝
[0035]a

导向孔。
具体本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机械手旋转摆臂取放装置,包括驱动电机(1)和与所述驱动电机(1)转轴(11)连接的旋转座(2),所述旋转座(2)上安装有旋转摆臂(3),其特征在于,所述旋转摆臂(3)为两端呈90
°
~180
°
夹角、且呈对称设置的长型面板结构,其中部与所述驱动电机(1)转轴(11)呈垂直设置,且延伸出所述旋转座(2)的外侧,靠近所述旋转摆臂(3)的两端部位置分别设有一组吸头座(4)和导向机构(5),所述吸头座(4)的后端与所述导向机构(5)连接,位于所述吸头座(4)前端的吸嘴(41)伸出所述旋转摆臂(3)的端部,所述吸嘴(41)受压时,所述导向机构(5)将所述吸嘴(41)限制在沿其受压方向上移动。2.根据权利要求1所述的机械手旋转摆臂取放装置,其特征在于,所述导向机构包括导向杆(51)、复位弹簧(52)、导向座(53)和滑套(55),所述导向座(53)靠近所述旋转摆臂(3)的两端边缘设置,所述导向杆(51)与所述驱动电机(1)的转轴(11)呈垂直设置,所述滑套(55)贯穿设置于所述导向座(53)中,二者形成相对固定连接,所述导向杆(51)的前端与所述吸头座(4)形成可拆卸的固定连接,所述导向杆(51)贯穿所述滑套(55),二者形成滑动连接,所述导向杆(51)的后端设有限位块(54),所述复位弹簧(52)套装于所述吸头座(4)与所述导向座(53)之间的所述导向杆(51)上。3.根据权利要求2所述的机械手旋转摆臂取放装置,其特征在于,所述限位块(54)上还设有限位顶丝(6),所述限位顶丝(6)沿着与所述导向杆(51)的平行方向设置,所述限位顶丝(6)与所述滑套(55)的后端形成相抵。4.根据权利要求3所述的机械手旋转摆臂取放装置,其特征在于,所述限位块(54)呈可拆卸方式夹持在所述导向杆(51)的后端。5.根据权利要求4所述的机械手旋转摆臂取放装置,其特征在于,所述滑套(55)为一滑动轴承,其外圈与所述导向座(53)紧配合连接,...

【专利技术属性】
技术研发人员:卢国强
申请(专利权)人:深圳市优界科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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