【技术实现步骤摘要】
一种机械手旋转摆臂取放装置
[0001]本技术属于半导体设备领域,具体涉及一种机械手旋转摆臂取放装置。
技术介绍
[0002]随着发光二极管的发展,晶圆切割成多个晶粒(die or chip,又称为芯片)后,须依其质量、性能、产品特性予以分级分类,以将等级互异的晶粒应用于不同的领域,特别是在发光二极管(Light Emitted Diode,LED)的产业中,二极管的发光亮度、波长、色温、操作电压等会因制程条件的些许差异,即使在同一片LED生产晶圆上,各个晶粒之间多少都会存在着些许微小差异。而随着发光二极管的分类要求渐趋于精细,目前已经发展出150类的分类细目,为求效率,一般会使用机械手臂进行分类。因此,晶粒的挑拣分类速度便直接影响到生产速度,在现有技术中,LED芯片挑拣机必须经过捡取LED芯片、旋转LED芯片及向下放置LED芯片等数个步骤才能完成将LED芯片由芯片承载面放置于芯片贴附面的芯片分拣过程,并且,这样的LED芯片在拾取及贴附过程中,摆臂的前后位移会造成吸嘴在上下方向的微量位移,从而对芯片的贴附精度造成影响,如图1所示,旋转摆臂上的吸嘴进行吸取和贴附放置芯片时,吸嘴在垂直压力作用下会以旋转摆臂的底部为轴前后做微旋转转动(如图1中箭头所示),从而使吸嘴在上下和前后位置上存在位移,由于吸嘴旋转所带来的上下位移误差在芯片分拣的过程中不易被察觉,往往直到LED芯片放置于芯片贴附面时才会被发现,然而此时已经无法处理,造成质量异常。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于解决现有机械手臂摆臂在受到压缩作 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种机械手旋转摆臂取放装置,包括驱动电机(1)和与所述驱动电机(1)转轴(11)连接的旋转座(2),所述旋转座(2)上安装有旋转摆臂(3),其特征在于,所述旋转摆臂(3)为两端呈90
°
~180
°
夹角、且呈对称设置的长型面板结构,其中部与所述驱动电机(1)转轴(11)呈垂直设置,且延伸出所述旋转座(2)的外侧,靠近所述旋转摆臂(3)的两端部位置分别设有一组吸头座(4)和导向机构(5),所述吸头座(4)的后端与所述导向机构(5)连接,位于所述吸头座(4)前端的吸嘴(41)伸出所述旋转摆臂(3)的端部,所述吸嘴(41)受压时,所述导向机构(5)将所述吸嘴(41)限制在沿其受压方向上移动。2.根据权利要求1所述的机械手旋转摆臂取放装置,其特征在于,所述导向机构包括导向杆(51)、复位弹簧(52)、导向座(53)和滑套(55),所述导向座(53)靠近所述旋转摆臂(3)的两端边缘设置,所述导向杆(51)与所述驱动电机(1)的转轴(11)呈垂直设置,所述滑套(55)贯穿设置于所述导向座(53)中,二者形成相对固定连接,所述导向杆(51)的前端与所述吸头座(4)形成可拆卸的固定连接,所述导向杆(51)贯穿所述滑套(55),二者形成滑动连接,所述导向杆(51)的后端设有限位块(54),所述复位弹簧(52)套装于所述吸头座(4)与所述导向座(53)之间的所述导向杆(51)上。3.根据权利要求2所述的机械手旋转摆臂取放装置,其特征在于,所述限位块(54)上还设有限位顶丝(6),所述限位顶丝(6)沿着与所述导向杆(51)的平行方向设置,所述限位顶丝(6)与所述滑套(55)的后端形成相抵。4.根据权利要求3所述的机械手旋转摆臂取放装置,其特征在于,所述限位块(54)呈可拆卸方式夹持在所述导向杆(51)的后端。5.根据权利要求4所述的机械手旋转摆臂取放装置,其特征在于,所述滑套(55)为一滑动轴承,其外圈与所述导向座(53)紧配合连接,...
【专利技术属性】
技术研发人员:卢国强,
申请(专利权)人:深圳市优界科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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