叠压装置及叠压机制造方法及图纸

本申请涉及半导体生产技术领域，具体而言，涉及一种叠压装置及叠压机，包括叠压工作台和上压模组件，所述叠压工作台包括下压模和定位销，所述定位销用于从所述下压模的顶面伸出，所述上压模组件包括上压模，在所述上压模的底面上形成有定位孔，所述定位孔用于与所述定位销配合。本申请的目的在于针对现有叠压装置仅采用真空吸附方式进行对陶瓷膜片进行固定，对陶瓷膜片的定位并不牢固，叠压过程中陶瓷膜片容易产生移动，降低了叠压精度和产品质量的问题，提供一种叠压装置及叠压机。提供一种叠压装置及叠压机。提供一种叠压装置及叠压机。

【技术实现步骤摘要】
叠压装置及叠压机


[0001]本申请涉及半导体生产
，具体而言，涉及一种叠压装置及叠压机。

技术介绍

[0002]随着电子设备不断向小型化、轻型化、高性能方向发展，叠层式电子元件在电子设备得到广泛应用。陶瓷膜片叠压加工是该类电子元件制造的关键工序，叠压装置即应用在该生产过程中。现有的叠压装置在对陶瓷膜片叠压过程中，仅采用真空吸附方式进行对陶瓷膜片进行固定，对陶瓷膜片的定位并不牢固，叠压过程中陶瓷膜片容易产生移动，降低了叠压精度和产品质量。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于针对现有叠压装置仅采用真空吸附方式进行对陶瓷膜片进行固定，对陶瓷膜片的定位并不牢固，叠压过程中陶瓷膜片容易产生移动，降低了叠压精度和产品质量的问题，提供一种叠压装置及叠压机。
[0004]为了实现上述目的，本申请采用以下技术方案：
[0005]本申请提供一种叠压装置，包括叠压工作台和上压模组件，所述叠压工作台包括下压模和定位销，所述定位销用于从所述下压模的顶面伸出，所述上压模组件包括上压模，在所述上压模的底面上形成有定位孔，所述定位孔用于与所述定位销配合。
[0006]可选的，所述叠压工作台还包括工作台主体，所述定位销固定于所述工作台主体，在所述下压模上形成有通孔，所述通孔与所述定位销位置相对应，以使所述下压模能够相对所述工作台主体在竖直方向上移动。
[0007]该技术方案的有益效果在于：这样，在完成陶瓷膜片的叠压之后，可以使下压模上升，并带动完成叠压后的陶瓷膜片上升与定位销分离，再将完成叠压的陶瓷膜片取下，便于完成叠压后的对陶瓷膜片进行下料。
[0008]可选的，所述叠压工作台还包括导向件和驱动件，所述驱动件的一端连接所述工作台主体，所述驱动件的另一端连接所述下压模，以使所述下压模的顶面能够高于所述定位销的顶端，所述导向件安装于所述工作台主体，所述导向件用于与所述下压模滑动配合，以对所述下压模在竖直方向上的移动进行导向。
[0009]该技术方案的有益效果在于：也就是说，在上压模的压力未作用在下压模上时，在驱动件的作用下，下压模的顶面能够高于所述定位销的顶端，定位销隐没于下压模内，在对陶瓷膜片进行叠压时，在上压模压力和下压模自身重力的作用下，下压模下移，定位销从下压模的顶面伸出，完成叠压后，下压模在驱动件的作用下再次上升，并使陶瓷膜片与定位销分离，进而便于完成叠压后的陶瓷膜片进行下料。
[0010]可选的，包括机架，所述上压模组件还包括直线驱动件、连接板和拉杆，所述连接板水平设置，所述上压模安装于所述连接板的底面，在所述连接板的顶面固定有连接件，所述拉杆的顶端固定于所述直线驱动件，所述拉杆的底端与所述连接件套装，以使所述拉杆
与所述连接件能够在竖直方向上滑动配合，并使所述拉杆能够带动所述连接板在竖直方向上移动。
[0011]可选的，所述连接件为套状结构，且所述连接件套装于所述拉杆的底端，在所述连接件的顶部端口的内沿形成有第一限位部，在所述拉杆的底端的外沿形成有第二限位部，所述第一限位部用于与所述第二限位部配合，在竖直方向上所述第一限位部与所述连接板的顶面之间的距离大于所述第二限位部在竖直方向上的尺寸。
[0012]该技术方案的有益效果在于：这样，当直线驱动件带动拉杆上下移动时，通过第一限位部和第二限位部之间的配合，拉杆也能过带动连接板和上压模上下移动，而当对陶瓷膜片进行叠压时，上压模在竖直方向上的位置基本不变，由于在竖直方向上所述第一限位部与所述连接板的顶面之间的距离大于所述第二限位部在竖直方向上的尺寸，拉杆仍能够在连接件内向下移动一定距离却不与连接板的顶面接触，这通过拉杆实现了上压模与直线驱动件之间的柔性连接，当由于上压模的加工误差对上压模的叠压精度产生影响时，采用上述柔性连接可以使上压模适当的适应陶瓷膜片的形状和尺寸，将对生产精度的影响降到较低的程度。
[0013]可选的，所述上压模组件包括两个所述拉杆，在水平方向上两个所述拉杆对称的设置在所述直线驱动件的两侧，在所述连接板上固定有两个所述连接件，两个所述连接件与两个所述拉杆一一对应的配合。
[0014]该技术方案的有益效果在于：这样，提高了直线驱动件带动连接板及上压模移动的稳定性。
[0015]可选的，所述上压模组件还包括垫块和碟形弹簧，所述碟形弹簧安装于所述连接板的顶面，所述垫块位于所述直线驱动件和所述碟形弹簧之间，且所述垫块与所述直线驱动件和所述碟形弹簧接触，所述垫块用于将所述直线驱动件的作用力传递给所述碟形弹簧。
[0016]该技术方案的有益效果在于：这样，在叠压时，连接板的顶面仅与碟形弹簧之间产生作用力，而不与拉杆之间产生作用力，而在向上移动连接板时，碟形弹簧与连接板之间不产生作用力，而仅拉杆与连接板之间产生作用力，进一步实现直线驱动件与上压模之间的柔性连接。
[0017]可选的，所述上压模组件还包括安装于所述直线驱动件的压力传感器，在竖直方向上所述压力传感器位于所述直线驱动件与所述垫块之间，所述压力传感器与所述垫块接触。
[0018]该技术方案的有益效果在于：通过设置传感器可以及时获取压力信息，进而便于根据该压力信息进行进一步控制。
[0019]可选的，所述上压模组件还包括真空罩，所述真空罩套装与所述上压模，且所述真空罩与所述上压模在竖直方向上滑动配合，在所述真空罩的内壁与所述上压模的外壁之间设置有第一密封圈，在所述真空罩的底部形成有用于与下压模的上表面贴合的端口，在所述端口的外沿设置有第二密封圈，在所述上压模上形成有抽真空孔。
[0020]该技术方案的有益效果在于：在进行叠压之前，下压模位于真空罩下部，在进行叠压时，真空罩的端口与下压模的上表面贴合，并通过第二密封圈与下压模之间密封，这样，在上压模、真空罩和下压模之间形成了一个真空仓，此时，通过抽真空孔对该真空仓抽真
空，完成抽真空后再进行叠压。这样，在真空环境下进行叠压，使叠压时陶瓷膜片之间不易产生气泡。
[0021]本申请实施例的另一个方面提供一种叠压机，包括本申请实施例所提供的叠压装置。
[0022]本申请提供的技术方案可以达到以下有益效果：
[0023]本申请所提供的叠压装置及叠压机，在对陶瓷膜片进行叠压之前，首先将陶瓷膜片放置在下压模上，并通过定位销与陶瓷膜片上的通孔配合，以及真空吸附对陶瓷膜片进行定位，在对陶瓷膜片进行叠压的过程中，定位销与上压模上的定位孔配合，避免定位销对叠压过程形成阻碍。这样，在对陶瓷膜片进行叠压的过程中，通过定位销对陶瓷膜片进行定位，使陶瓷膜片不易产生移动，提高了叠压精度和产品质量。
[0024]本申请的附加技术特征及其优点将在下面的描述内容中阐述地更加明显，或通过本申请的具体实践可以了解到。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本申请具体实施方式的技术方案，下面将对具体实施方式描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.叠压装置，其特征在于，包括叠压工作台和上压模组件，所述叠压工作台包括下压模和定位销，所述定位销用于从所述下压模的顶面伸出，所述上压模组件包括上压模，在所述上压模的底面上形成有定位孔，所述定位孔用于与所述定位销配合。2.根据权利要求1所述的叠压装置，其特征在于，所述叠压工作台还包括工作台主体，所述定位销固定于所述工作台主体，在所述下压模上形成有通孔，所述通孔与所述定位销位置相对应，以使所述下压模能够相对所述工作台主体在竖直方向上移动。3.根据权利要求2所述的叠压装置，其特征在于，所述叠压工作台还包括导向件和驱动件，所述驱动件的一端连接所述工作台主体，所述驱动件的另一端连接所述下压模，以使所述下压模的顶面能够高于所述定位销的顶端，所述导向件安装于所述工作台主体，所述导向件用于与所述下压模滑动配合，以对所述下压模在竖直方向上的移动进行导向。4.根据权利要求1所述的叠压装置，其特征在于，包括机架，所述上压模组件还包括直线驱动件、连接板和拉杆，所述连接板水平设置，所述上压模安装于所述连接板的底面，在所述连接板的顶面固定有连接件，所述拉杆的顶端固定于所述直线驱动件，所述拉杆的底端与所述连接件套装，以使所述拉杆与所述连接件能够在竖直方向上滑动配合，并使所述拉杆能够带动所述连接板在竖直方向上移动。5.根据权利要求4所述的叠压装置，其特征在于，所述连接件为套状结构，且所述连接件套装于所述拉杆的底端，在所述连接件的顶部端口的内沿形成有第一限位部，在所述拉杆的底端的外沿形成有第二限位部...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘洋，杨志，乔文远，邓珏琼，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：