探针设备的工作台、探针设备、控制方法及探针测试方法技术

本申请涉及半导体器件检测技术领域，具体而言，涉及一种探针设备的工作台、探针设备、控制方法及探针测试方法，所述纵向导轨安装于所述底座，所述接物组件与所述纵向导轨在竖直方向上滑动配合，在竖直方向上所述拉力弹簧的一端固定于所述接物组件、另一端固定于所述底座，在竖直方向上所述凸轮位于所述底座和所述接物组件之间，所述顶杆的顶端固定于所述接物组件，所述顶杆的底端与所述凸轮的边沿滑动配合，所述电机与所述凸轮固定连接；相邻的两个所述偏心部的边沿的交点位于所述基圆部的边沿上。本申请的目的在于针对背景技术中所述的至少一种技术问题，提供一种探针设备的工作台、探针设备、控制方法及探针测试方法。控制方法及探针测试方法。控制方法及探针测试方法。

【技术实现步骤摘要】
探针设备的工作台、探针设备、控制方法及探针测试方法


[0001]本申请涉及半导体器件检测
，具体而言，涉及一种探针设备的工作台、探针设备、控制方法及探针测试方法。

技术介绍

[0002]探针设备主要用于半导体芯片/器件的电性能测试，该测试是保证半导体器件能否正常使用的核心关键工艺。通过芯片/器件与连接测试仪探针的良好、稳定接触，完成各项电性能参数的精确测量。
[0003]传统的探针设备的工作台，采用电机带动偏心凸轮作为升降驱动机构，实现放置在承片平台上的芯片/器件在竖直方向上的升降运动，实现芯片/器件与探针的接触和分离。运行过程中电机带动凸轮运行至凸轮的高点与承片平台接触时，芯片/器件与探针接触，当高点与承片平台分离时，实现芯片/器件与探针的分离，当凸轮的低点与承片平台接触时，芯片/器件到达回零位置。由于偏心凸轮结构不存在稳定的低点位置，会造成芯片/器件回零位置不准确，芯片/器件无法精准回到已经设置的原点位置，因此会造成设备Z向反复回零或者无法进行回零操作，降低了自动测试效率。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于针对
技术介绍
中所述的至少一种技术问题，提供一种探针设备的工作台、探针设备、控制方法及探针测试方法。
[0005]为了实现上述目的，本申请采用以下技术方案：
[0006]本申请的一个方面提供一种探针设备的工作台，包括底座、纵向导轨、接物组件和升降组件，所述纵向导轨安装于所述底座，所述接物组件与所述纵向导轨在竖直方向上滑动配合，所述升降组件包括顶杆、电机、凸轮和拉力弹簧，在竖直方向上所述拉力弹簧的一端固定于所述接物组件、另一端固定于所述底座，在竖直方向上所述凸轮位于所述底座和所述接物组件之间，所述顶杆的顶端固定于所述接物组件，所述顶杆的底端与所述凸轮的边沿滑动配合，所述电机与所述凸轮固定连接；
[0007]所述凸轮包括基圆部和连接于所述基圆部的多个偏心部，各所述偏心部在所述基圆部的周向上均匀分布，所述偏心部的边沿为弧形，相邻的两个所述偏心部的边沿的交点位于所述基圆部的边沿上。
[0008]可选的，所述接物组件包括接物转盘和滑块，所述顶杆和所述接物转盘均安装于所述滑块，所述接物转盘水平设置，所述滑块与所述纵向导轨在竖直方向上滑动配合。
[0009]可选的，所述接物组件还包括安装于所述滑块的转动驱动件，所述接物转盘通过所述转动驱动件安装于所述滑块。
[0010]可选的，所述顶杆的底端为弧形端或尖端。
[0011]可选的，包括两个拉力弹簧。
[0012]本申请的另一个方面提供一种探针设备，包括本申请所提供的探针设备的工作
台。
[0013]可选的，包括主体平台、承片平台、显微镜模块、上下料模块、测试模块和所述工作台，所述显微镜模块安装于所述主体平台，所述工作台位于所述主体平台下方，所述承片平台设置在所述工作台上，在竖直方向上从上到下所述显微镜模块、所述承片平台和所述工作台依次设置，在水平方向所述上下料模块固定于所述工作台的侧面，所述测试模块用于与测试物品接触。
[0014]本申请的另一个方面提供一种探针设备的工作台的控制方法，包括：
[0015]控制探针设备的工作台中的电机运转，以使所述凸轮带动所述接物组件在竖直方向上运动。
[0016]本申请的另一个方面提供一种探针测试方法，包括：
[0017]判断当前预设的测试程序是否完成，若否，则基于该测试程序控制探针设备中的所述工作台在水平方向上的水平面中运动，以及，控制所述凸轮带动位于所述接物组件上的承片平台中的测试物品在竖直方向上运动，使得所述测试物品与所述探针接触后进行探针测试，或者使得所述测试物品与所述探针在探针测试结束后进行分离。
[0018]可选的，在所述判断当前预设的测试程序是否完成之前，还包括：
[0019]控制所述探针设备中的承片平台、显微镜模块、测试模块和工作台进行初始化设置；
[0020]控制机械手在所述探针设备中的上下料模块中抓取测试物品并置于所述承片平台上；
[0021]控制所述工作台和所述显微镜模块运动，以使显微镜对焦后获取的测试物品图像显示在所述显示器中；根据所述显示器中的测试物品图像控制所述工作台移动，直至确定该测试物品的首测点并进行试测，得到探针测试工艺参数，并启动所述探针测试工艺参数对应的测试程序。
[0022]本申请提供的技术方案可以达到以下有益效果：
[0023]本申请实施例所提供的探针设备的工作台、探针设备、控制方法及探针测试方法，在使用时，将探针设备的承片平台设置在接物组件的顶部，将测试物品放置于承片平台，启动电机，电机带动凸轮，随着凸轮的转动，顶杆的底端沿凸轮的外沿相对滑动，交替的经过凸轮上的高点和低点，当顶杆的底端与凸轮的高点接触时，测试物品的位置升至最高并与探针接触，顶杆的底端离开凸轮的高点，测试物品与探针分离，顶杆与凸轮的低点接触时，测试物品的位置降至最低，测试物品的位置在竖直方向上回零，由于低点是相邻的两个偏心部的边沿与基圆部的边沿的共同交点，且相邻的两个偏心部之间具有唯一低点，因此低点是在凸轮的边沿上的精确的稳定的位置，进而使测试物品的位置在竖直方向上回零的精度更高，在相邻的两个高点之间不易出现反复回零和/或无法回零的问题，改善了自动测试效率。
[0024]本申请的附加技术特征及其优点将在下面的描述内容中阐述地更加明显，或通过本申请的具体实践可以了解到。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本申请具体实施方式的技术方案，下面将对具体实施方式描述
中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1为本申请实施例提供的探针设备的工作台的一种实施方式的部分立体结构示意图；
[0027]图2为本申请实施例提供的凸轮与顶杆配合的一种实施方式的结构示意图；
[0028]图3为本申请实施例提供的探针设备的一种实施方式的立体结构示意图；
[0029]图4为本申请实施例提供的探针设备的工作台的控制方法的流程示意图；
[0030]图5为本申请实施例提供的探针测试方法的流程示意图。
[0031]附图标记：
[0032]01
‑
接物转盘；
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
02
‑
纵向导轨；
[0033]03
‑
电机；
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
04
‑
底座；
[0034]05
‑
凸轮；
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
06
‑
拉力弹簧；
[0035]07
‑...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.探针设备的工作台，其特征在于，包括底座、纵向导轨、接物组件和升降组件，所述纵向导轨安装于所述底座，所述接物组件与所述纵向导轨在竖直方向上滑动配合，所述升降组件包括顶杆、电机、凸轮和拉力弹簧，在竖直方向上所述拉力弹簧的一端固定于所述接物组件、另一端固定于所述底座，在竖直方向上所述凸轮位于所述底座和所述接物组件之间，所述顶杆的顶端固定于所述接物组件，所述顶杆的底端与所述凸轮的边沿滑动配合，所述电机与所述凸轮固定连接；所述凸轮包括基圆部和连接于所述基圆部的多个偏心部，各所述偏心部在所述基圆部的周向上均匀分布，所述偏心部的边沿为弧形，相邻的两个所述偏心部的边沿的交点位于所述基圆部的边沿上。2.根据权利要求1所述的探针设备的工作台，其特征在于，所述接物组件包括接物转盘和滑块，所述顶杆和所述接物转盘均安装于所述滑块，所述接物转盘水平设置，所述滑块与所述纵向导轨在竖直方向上滑动配合。3.根据权利要求2所述的探针设备的工作台，其特征在于，所述接物组件还包括安装于所述滑块的转动驱动件，所述接物转盘通过所述转动驱动件安装于所述滑块。4.根据权利要求1所述的探针设备的工作台，其特征在于，所述顶杆的底端为弧形端或尖端。5.根据权利要求1
‑
4中任意一项所述的探针设备的工作台，其特征在于，包括两个拉力弹簧。6.探针设备，其特征在于，包括如权利要求1
‑
5中任意一项所述的探针设备的工作台。7.根据权利要求6所述的探针设备，其特征在于，包括主体平台、承片平台、显微镜模块、上下料模块、测试模块和所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：党景涛，王洪洲，裴兵全，薛书亮，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：