潜望式光路集成方法技术

本申请涉及光学设备装调测试技术领域，尤其是涉及一种潜望式光路集成方法。该潜望式光路集成方法包括以下步骤：安装第一光学组件，在第一光学组件沿光路方向后方安装定心仪，确定绕x向基准以及绕y向基准；移动定心仪直至对准潜望镜组的预定安装位置；在预定安装位置处安装并调整潜望镜组，使第一光学组件与定心仪绕x向基准上及绕y向基准准直；移动定心仪使其与第一光学组件沿y向基准准直；安装并调整第二光学组件，使第二光学组件的出射光轴与定心仪沿y向同轴；将定心仪替换为镜面定位仪，沿z方向平移第一光学组件，使第一光学组件与第二光学组件沿z向基准上的准直。该潜望式光路集成方法能够装调集成有非平行光路的潜望式光路。路。路。

【技术实现步骤摘要】
潜望式光路集成方法


[0001]本申请涉及光学设备装调测试
，尤其是涉及一种潜望式光路集成方法。

技术介绍

[0002]随着半导体制造业朝着智能化方向发展，作为智能装备的核心功能部件，光学对准系统的对准精度和可靠性要求不断提高，而光路系统的集成精度直接影响着系统对准性能。
[0003]目前，一种光路系统的装调方法，是采取光轴调整组件来实现从仪器外部对仪器内部的光路调整，以及利用添加光学调整架，来实现管理股调节目的，但在装调过程中的操作难度较大，时间成本较高，尤其不易于使用在精度要求较高的智能设备中。
[0004]另一种光路系统的装调方法，是通过潜望镜租来改变光路位置，主要用于在平行光束的情境下使用，只涉及潜望式光路本身的调试，而未覆盖至潜望镜前后的光路调试，且对于具有非平行光路以及轴向间隔控制的情况下，也不适用。

技术实现思路

[0005]本申请的目的在于提供一种潜望式光路集成方法，以在一定程度上解决现有技术中存在的尚且无法对于具有非平行光路以及轴向间隔控制的光路系统进行有效装调的技术问题。
[0006]本申请提供了一种潜望式光路集成方法，用于对潜望式光路进行装调集成，所述潜望式光路包括第一光学组件、第二光学组件和沿光路传播方向位于所述第一光学组件与所述第二光学组件之间的潜望镜组；
[0007]所述潜望式光路集成方法包括以下步骤：
[0008]安装所述第一光学组件，在所述第一光学组件沿光路方向的后方安装定心仪，将所述定心仪与所述第一光学组件的出射光轴进行准直，以确定所述第一光学组件的绕x向基准以及绕y向基准；
[0009]移动定心仪，以使所述定心仪对准所述潜望镜组的预定安装位置，所述预定安装位置位于所述第一光学组件与所述定心仪之间；
[0010]在所述预定安装位置处安装所述潜望镜组；
[0011]调整所述潜望镜组的镜片角度，直至所述定心仪重新完成与所述第一光学组件的出射光轴绕x向基准以及绕y向基准的准直；
[0012]沿y向移动所述定心仪，直至所述定心仪完成与所述第一光学组件的出射光轴沿y向基准的准直；
[0013]在所述潜望镜组沿光路方向的后方安装所述第二光学组件，并对所述第二光学组件进行调整，直至所述第二光学组件的出射光轴与所述定心仪沿y向基准同轴；
[0014]将定心仪替换为镜面定位仪，并将所述第二光学组件与所述镜面定位仪相固定；
[0015]沿z方向平移所述第一光学组件，直至完成所述第一光学组件与所述第二光学组
件沿所述z向基准上的准直，将所述第一光学组件固定。
[0016]在上述技术方案中，进一步地，所述第一光学组件包括球面镜组和平面镜组，所述球面镜组和所述平面镜组沿所述光路方向位于所述第一光学组件的尾部；
[0017]所述将所述定心仪与所述第一光学组件的出射光轴进行准直，以确定所述第一光学组件的绕x向基准以及绕y向基准的步骤具体包括以下步骤：
[0018]通过所述定心仪检测所述第一光学组件的球面镜组的球心和所述平面镜组所在平面，将经过所述球面镜组的球心并沿所述第一光学组件的出射光轴方向延伸的轴线作为x向基准，将经过所述球面镜组的球心并与所述x向基准垂直的轴线作为y向基准，将所述平面镜组所在平面作为绕y向基准，将经过所述球面镜组的球心并与所述平面镜组所在平面相垂直的平面作为绕x向基准。
[0019]在上述任一技术方案中，进一步地，所述沿y向移动所述定心仪，直至所述定心仪完成与所述第一光学组件的出射光轴沿y向基准的准直的步骤具体包括以下步骤：
[0020]在所述定心仪保持绕x向基准以及绕y向基准的准直的状态下，沿y向移动所述定心仪，直至所述定心仪与所述球面镜组的球心像十字重合。
[0021]在上述任一技术方案中，进一步地，所述移动定心仪，以使所述定心仪对准所述潜望镜组的预定安装位置，所述预定安装位置位于所述第一光学组件与所述定心仪之间的步骤具体包括以下步骤：
[0022]在所述潜望镜组的预定安装位置安装平面反射镜，所述平面反射镜沿y向能够覆盖所述潜望镜组；
[0023]沿x向和y向移动所述定心仪，直至所述定心仪移动至所述潜望镜组的出口高度范围内。
[0024]在上述任一技术方案中，进一步地，所述在所述预定安装位置处安装所述潜望镜组的步骤具体包括以下步骤：
[0025]移除所述平面反射镜，在所述第一光学组件与所述定心仪沿所述光路方向的间隔处找到所述潜望镜组的预定安装位置；
[0026]在所述潜望镜组的预定安装位置安装所述潜望镜组。
[0027]在上述任一技术方案中，进一步地，所述在所述预定安装位置处安装所述潜望镜组的步骤具体包括以下步骤：
[0028]移除所述平面反射镜，在所述第一光学组件与所述定心仪沿所述光路方向的间隔处找到所述潜望镜组的预定安装位置；
[0029]在所述潜望镜组的预定安装位置安装所述潜望镜组。
[0030]在上述任一技术方案中，进一步地，所述对所述第二光学组件进行调整，直至所述第二光学组件的出射光轴与所述定心仪沿y向基准同轴的步骤具体包括以下步骤：
[0031]对所述第二光学组件进行转动和平移，直至所述第二光学组件的出射光轴与所述定心仪同轴。
[0032]在上述任一技术方案中，进一步地，所述定心仪为内调焦定心仪。
[0033]在上述任一技术方案中，进一步地，所述将所述定心仪与所述第一光学组件的出射光轴进行准直，以确定所述第一光学组件的绕x向基准以及绕y向基准的步骤所确定的绕x向基准的精度和绕y向基准的精度均不大于5
″
。
[0034]在上述任一技术方案中，进一步地，所述调整所述潜望镜组的镜片角度，直至所述定心仪重新完成与所述第一光学组件的出射光轴绕x向基准以及绕y向基准的准直的步骤所确定的绕x向基准的精度以及绕y向基准的精度均不大于2
″
。
[0035]与现有技术相比，本申请的有益效果为：
[0036]本申请提供的潜望式光路集成方法先固定第一光学组件，以第一光学组件为基准，通过定位仪确定绕x向基准以及绕y向基准，再相对于第一光学组件调整潜望镜组，直至潜望镜组的姿态满足绕x向基准以及绕y向基准的要求，再基于确定的第一光学组件和潜望镜组，也就是在满足绕x向基准以及绕y向基准的前提下，对定位仪的姿态进行调整，确保定心仪与第一光学组件沿y向基准对准，再基于调整后的定位仪调整第二光学组件的位置，直至第二光学组件与定位仪同轴，也即第二光学组件同时满足y向基准、绕x向基准以及绕y向基准，最后，调整第一光学组件的沿z向的位置，直至潜望式光路同时满足z向基准、y向基准、绕x向基准以及绕y向基准的精度要求，即可将第一光学组件、潜望镜组以及第二光学组件的位置固定，完成该潜望式光路的装调集成。
[0037]该潜望式光路集成方法，可以在z向基准、y向基准、绕x向基准以及绕y向基准上均进行高精度调试，能够有效解耦多自由本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种潜望式光路集成方法，其特征在于，用于对潜望式光路进行装调集成，所述潜望式光路包括第一光学组件、第二光学组件和沿光路传播方向位于所述第一光学组件与所述第二光学组件之间的潜望镜组；所述潜望式光路集成方法包括以下步骤：安装所述第一光学组件，在所述第一光学组件沿光路方向的后方安装定心仪，将所述定心仪与所述第一光学组件的出射光轴进行准直，以确定所述第一光学组件的绕x向基准以及绕y向基准；移动定心仪，以使所述定心仪对准所述潜望镜组的预定安装位置，所述预定安装位置位于所述第一光学组件与所述定心仪之间；在所述预定安装位置处安装所述潜望镜组；调整所述潜望镜组的镜片角度，直至所述定心仪重新完成与所述第一光学组件的出射光轴绕x向基准以及绕y向基准的准直；沿y向移动所述定心仪，直至所述定心仪完成与所述第一光学组件的出射光轴沿y向基准的准直；在所述潜望镜组沿光路方向的后方安装所述第二光学组件，并对所述第二光学组件进行调整，直至所述第二光学组件的出射光轴与所述定心仪沿y向基准同轴；将定心仪替换为镜面定位仪，并将所述第二光学组件与所述镜面定位仪相固定；沿z方向平移所述第一光学组件，直至完成所述第一光学组件与所述第二光学组件沿所述z向基准上的准直，将所述第一光学组件固定。2.根据权利要求1所述的潜望式光路集成方法，其特征在于，所述第一光学组件包括球面镜组和平面镜组，所述球面镜组和所述平面镜组沿所述光路方向位于所述第一光学组件的尾部；所述将所述定心仪与所述第一光学组件的出射光轴进行准直，以确定所述第一光学组件的绕x向基准以及绕y向基准的步骤具体包括以下步骤：通过所述定心仪检测所述第一光学组件的球面镜组的球心和所述平面镜组所在平面，将经过所述球面镜组的球心并沿所述第一光学组件的出射光轴方向延伸的轴线作为x向基准，将经过所述球面镜组的球心并与所述x向基准垂直的轴线作为y向基准，将所述平面镜组所在平面作为绕y向基准，将经过所述球面镜组的球心并与所述平面镜组所在平面相垂直的平面作为绕x向基准。3.根据权利要求2所述的潜望式光路集成方法，其特征在于，所述沿y向移动所述定心仪，直至所述定心仪完成与所述第一光学组件的出射光轴沿y向基准的准直的步骤具体包括以下步骤：在所述定心仪保持绕x向基准以及绕y...

【专利技术属性】
技术研发人员：申淙，任妍，田锐，谭胜旺，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：