本发明专利技术公开了基于卷风降磨型粉末包覆原子层反离心式沉积设备，包括覆层容器、支撑架、下料箱、旋转卷风型直搅机构和液流型环形通电离散机构，所述支撑架对称设于覆层容器两侧，所述下料箱设于覆层容器底壁，所述旋转卷风型直搅机构设于覆层容器内部，所述液流型环形通电离散机构设于覆层容器侧壁，所述旋转卷风型直搅机构包括直搅风散机构和场力吸附机构。本发明专利技术属于原子层沉积技术领域，具体是指基于卷风降磨型粉末包覆原子层反离心式沉积设备；本发明专利技术提供了一种能够降低粉末摩擦，减少粉末在覆层作业时磨损量的基于卷风降磨型粉末包覆原子层反离心式沉积设备。原子层反离心式沉积设备。原子层反离心式沉积设备。
【技术实现步骤摘要】
基于卷风降磨型粉末包覆原子层反离心式沉积设备
[0001]本专利技术属于原子层沉积
，具体是指基于卷风降磨型粉末包覆原子层反离心式沉积设备。
技术介绍
[0002]粉末材料的表面镀膜或包覆有多种方式，其中最重要的化学气相反应镀膜(或包覆)的主要方法包括化学气相沉积CVD，以及原子层沉积ALD。化学气相沉积(Chemical vapor deposition)的特征是在气相环境中，通过同时导入反应气体，通过反应气体在基体材料表面发生反应，生长形成薄膜包覆材料。
[0003]现有的粉末覆层设备在对粉末进行反应气体覆层作业时，粉末容易与反应容器内壁摩擦，且粉末之间在搅拌的作用下发生相互摩擦，使得粉末磨损量增多，降低粉末的覆层效率。
技术实现思路
[0004]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本专利技术提供一种基于卷风降磨型粉末包覆原子层反离心式沉积设备，针对粉末在覆层作业时磨损量增多的问题，本专利技术通过吸附旋转结构的设置，使粉末在卷风的作用下，绕旋转轴外侧进行旋转的与反应气体进行接触，同时在吸附力的介入下，能够降低卷风中粉末的离散几率，避免粉末与反应容器内壁发生摩擦，同时粉末绕卷风向同一方向进行旋转，降低粉末之间的相互摩擦；其次，在导电液体的流动作用下，使得电极板间断通电对卷风中的粉末进行短暂离散，从而改变粉末在卷风中的位置，便于更好使粉末与反应气体接触，实现了对粉末的高效率通气覆层作业，解决了现有技术难以解决的在对粉末进行均匀覆层时，反应容器内部内能容易增大引发粉尘爆炸的问题；最后，本专利技术提供了一种能够降低粉末摩擦，减少粉末在覆层作业时磨损量的基于卷风降磨型粉末包覆原子层反离心式沉积设备。
[0005]本专利技术采取的技术方案如下：本专利技术提出的基于卷风降磨型粉末包覆原子层反离心式沉积设备，包括覆层容器、支撑架、下料箱、旋转卷风型直搅机构和液流型环形通电离散机构，所述支撑架对称设于覆层容器两侧，所述下料箱设于覆层容器底壁，所述旋转卷风型直搅机构设于覆层容器内部，所述液流型环形通电离散机构设于覆层容器侧壁，所述旋转卷风型直搅机构包括直搅风散机构和场力吸附机构，所述直搅风散机构设于覆层容器内壁，所述场力吸附机构设于直搅风散机构上，所述液流型环形通电离散机构包括电力输入吸附机构和环形液流机构，所述电力输入吸附机构设于覆层容器侧壁，所述环形液流机构设于电力输入吸附机构上。
[0006]作为本案方案进一步的优选，所述直搅风散机构包括搅拌电机、旋转轴、转块、吹风板、通风口、负压扇、反应气体进入管、气体单向控制阀、出料管、出料单向控制阀、出料口、过滤网、螺纹口和密封板，所述搅拌电机设于覆层容器侧壁，所述转块设于覆层容器远
离搅拌电机的一侧，所述吹风板对称设于覆层容器两端内壁，所述通风口多组设于吹风板侧壁，所述负压扇设于通风口内部，所述旋转轴依次贯穿覆层容器、吹风板设于搅拌电机动力端与转块之间，所述旋转轴转动设于转块侧壁，所述反应气体进入管连通设于搅拌电机上方的覆层容器侧壁，所述气体单向控制阀设于反应气体进入管上，所述出料管连通设于覆层容器远离反应气体进入管的一侧，所述出料管远离覆层容器的一端连通设于下料箱侧壁，所述出料单向控制阀设于出料管上，所述出料口设于下料箱远离出料管的一侧，所述过滤网设于出料口内壁，所述螺纹口设于覆层容器上壁，所述密封板设于螺纹口内壁，所述密封板与螺纹口螺纹连接；所述场力吸附机构包括静电发生器、导电槽、导电条板、吸附转叶、动力杆和贴合环块，所述静电发生器设于覆层容器靠近转块的一侧，所述导电槽多组设于旋转轴侧壁，所述导电槽为一端开口的腔体，所述导电条板设于导电槽内壁，所述吸附转叶多组设于导电条板外侧，所述动力杆贯穿覆层容器设于静电发生器动力端，所述贴合环块设于动力杆远离静电发生器的一侧，所述贴合环块设于旋转轴外侧，所述贴合环块与导电条板侧壁贴合；密封板从螺纹口内部旋出，将待覆层的粉末倒入进覆层容器内部，密封板重新旋入到螺纹口内部，负压扇启动将覆层容器内部粉末吹散飘起，此时，静电发生器通过动力端对动力杆传导静电，动力杆通过贴合环块对导电条板传导静电，导电条板对吸附转叶传导静电，吸附转叶对飘散的粉末进行吸附，使得旋转轴在旋转过程中带动粉末进行涡流旋转，避免粉末与覆层容器内壁摩擦，降低粉末的消耗、磨损，减少覆层容器内部的内能，气体单向控制阀开启，反应气体进入到覆层容器内部，覆层容器内部粉末在绕旋转轴旋转的过程中与反应气体相接触，从而更好的对粉末进行覆层作业，粉末覆层完成后，关闭气体单向控制阀，打开出料单向控制阀，负压扇启动向出料管的一侧进行同步吹风，粉末随风进入到出料管内部，出料管将粉末输送到下料箱内部，粉末经过过滤网过滤后留在下料箱内部，气体排出到下料箱外部。
[0007]优选地，所述电力输入吸附机构包括供电电源、供电导柱、液流筒、输入导柱、圆弧板和电极板，所述供电电源多组设于覆层容器侧壁，所述供电导柱设于供电电源动力端，所述圆弧板多组设于吹风板侧壁之间，所述电极板设于圆弧板底壁，所述输入导柱依次贯穿覆层容器、圆弧板设于电极板上壁，所述输入导柱与电极板电性连接，所述液流筒设于供电导柱与输入导柱之间，所述输入导柱远离电极板的一端贯穿设于液流筒内壁，所述供电导柱远离供电电源的一端贯穿设于液流筒内壁；所述环形液流机构包括液流管、液流单向阀、脉冲发生器和脉冲管，所述液流管连通设于液流筒之间，所述液流单向阀设于液流管上，所述脉冲发生器设于覆层容器侧壁，所述脉冲管连通设于液流管与脉冲发生器动力端之间；向液流筒内部加入导电液体，脉冲发生器通过脉冲管向液流管内部输出脉冲波，导电液体在脉冲波的的冲力下，通过液流单向阀的单向流动力使得导电液体沿液流筒和液流管转动，当导电液体被吹入到液流筒内部后，供电电源对供电导柱进行供电，脉冲管将电力通过导电液体输送到输入导柱内部，输入导柱对电极板进行供电，电极板通电产生静电，电极板通过静电的吸附力对绕旋转轴转动的粉末进行离散，从而使粉末更加均匀的与气体进行接触，在脉冲发生器间断的喷吹下，导电液体循环的对覆层容器内部不同方位的电极板进行通电，进而完成对粉末的覆层作业。
[0008]具体地，所述覆层容器侧壁设有控制器，所述控制器分别与搅拌电机、负压扇、静电发生器和脉冲发生器电性连接。
[0009]其中，所述控制器的型号为SYC89C52RC
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401。
[0010]采用上述结构本专利技术取得的有益效果如下：与现有技术相比，本专利技术通过直线涡流机构对反应容器内部粉末进行吸附式旋转，有效的降低粉末与反应容器内壁的摩擦，降低反应容器内部内能的出现几率，保证粉末在搅拌下与反应气体接触的稳定性，避免发生粉尘爆炸，减少粉末的覆层作业时的磨损率；其次，在脉冲波的介入下，导电液体沿管道内部循环转动，使得不同方位上的电极板间断通电产生静电，能够对旋转过程中的粉末进行离散作业，对粉末的旋转位置进行改变，进而使反应气体充分的与粉末进行接触，同时在脉冲波的冲击力下，又能使离散的粉末快速的复位到旋转轴外侧，实现在不与反应容器接触的情况下完成覆层作业；最后，通过单向流动路线的作用，在本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.基于卷风降磨型粉末包覆原子层反离心式沉积设备，包括覆层容器（1）、支撑架（2）和下料箱（3），其特征在于：还包括旋转卷风型直搅机构（4）和液流型环形通电离散机构（27），所述支撑架（2）对称设于覆层容器（1）两侧，所述下料箱（3）设于覆层容器（1）底壁，所述旋转卷风型直搅机构（4）设于覆层容器（1）内部，所述液流型环形通电离散机构（27）设于覆层容器（1）侧壁，所述旋转卷风型直搅机构（4）包括直搅风散机构（5）和场力吸附机构（20），所述直搅风散机构（5）设于覆层容器（1）内壁，所述场力吸附机构（20）设于直搅风散机构（5）上，所述液流型环形通电离散机构（27）包括电力输入吸附机构（28）和环形液流机构（35），所述电力输入吸附机构（28）设于覆层容器（1）侧壁，所述环形液流机构（35）设于电力输入吸附机构（28）上；所述直搅风散机构（5）包括搅拌电机（6）、旋转轴（7）、转块（8）、吹风板（9）、通风口（10）、负压扇（11）、反应气体进入管（12）、气体单向控制阀（13）、出料管（14）、出料单向控制阀（15）、出料口（16）、过滤网（17）、螺纹口（18）和密封板（19），所述搅拌电机（6）设于覆层容器（1）侧壁，所述转块（8）设于覆层容器（1）远离搅拌电机（6）的一侧；所述吹风板（9）对称设于覆层容器（1）两端内壁，所述通风口（10）多组设于吹风板（9）侧壁，所述负压扇（11）设于通风口（10）内部，所述旋转轴（7）依次贯穿覆层容器（1）、吹风板（9）设于搅拌电机（6）动力端与转块（8）之间，所述旋转轴（7）转动设于转块（8）侧壁，所述反应气体进入管（12）连通设于搅拌电机（6）上方的覆层容器（1）侧壁；所述电力输入吸附机构（28）包括供电电源（29）、供电导柱（30）、液流筒（31）、输入导柱（32）、圆弧板（33）和电极板（34），所述供电电源（29）多组设于覆层容器（1）侧壁，所述供电导柱（30）设于供电电源（29）动力端，所述圆弧板（33）多组设于吹风板（9）侧壁之间；所述电极板（34）设于圆弧板（33）底壁，所述输入导柱（32）依次贯穿覆层容器（1）、圆弧板（33）设于电极板（34）上壁，所述输入导柱（32）与电极板（34）电性连接，所述液流筒（31）设于供电导柱（30）与输入导柱（32）之间，所述输...
【专利技术属性】
技术研发人员：张仕明，郭鸿晨，孔善右，宋云，卢姣容，
申请(专利权)人：江苏仕邦柔性电子研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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