预定位装置及划片机制造方法及图纸

本发明专利技术揭示了预定位装置及划片机，其中预定位装置包括基板及两根平行且等高的支撑限位臂，两根支撑限位臂可沿垂直于其长度方向平移地设置在基板上且它们的第一端连接设置在基板下方的第一皮带传动机构，第一皮带传动机构中的一个第一带轮连接驱动其自转的电机，第一皮带传动机构通过第二皮带传动机构连接基板上设置的第三皮带传动机构，第三皮带传动机构连接两根支撑限位臂的第二端以使每根支撑限位臂的第一端与第二端同步同向移动。本发明专利技术通过第三皮带传动机构来驱动两个支撑限位臂的第二端与第一端同步移动，这样能够有效避免现有技术容易造成两个支撑限位臂的第二端在预定位时张开的问题，保证两个支撑限位臂的预定位的精度、有效性和稳定性。有效性和稳定性。有效性和稳定性。

【技术实现步骤摘要】
预定位装置及划片机


[0001]本专利技术涉及半导体器件领域，尤其是预定位装置及划片机。

技术介绍

[0002]在划片机放料过程中，对于产品（晶圆）放入过程放入位置准确度有较高要求，因此必须在将产品放入工作台之前对产品进行预定位动作。
[0003]如申请号为202210424358.1所揭示的现有技术中，产品仅通过一个皮带传动机构连接左侧夹臂和右侧夹臂的一端并带动左侧夹臂和右侧夹臂移动实现预定位。
[0004]这种结构存在以下问题：由于皮带传动机构仅对左侧夹臂和右侧夹臂的一端施力，同时，由于左侧夹臂和右侧夹臂的长度较长，因此，在左侧夹臂和右侧夹臂相向移动时，它们未与皮带传动机构连接的远端很容易出现向外张开的情况，即左侧夹臂和右侧夹臂会呈现为楔形的状态，这就会导致左侧夹臂和右侧夹臂无法与产品的边缘有效地贴合，从而影响到预定位的精度。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种预定位装置及划片机。
[0006]本专利技术的目的通过以下技术方案来实现：预定位装置，包括基板及两根平行且等高的支撑限位臂，两根所述支撑限位臂可沿垂直于其长度方向平移地设置在所述基板上且它们的第一端连接设置在所述基板下方的第一皮带传动机构，所述第一皮带传动机构中的一个第一带轮连接驱动其自转的电机，所述第一皮带传动机构通过第二皮带传动机构连接所述基板上设置的第三皮带传动机构，所述第三皮带传动机构连接两根所述支撑限位臂的第二端以使每根所述支撑限位臂的第一端与第二端同步同向移动。
[0007]优选的，所述预定位装置中，两根所述支撑限位臂的第二端分别连接第一移动件，所述第一移动件可移动地设置第一导轨上，所述第一导轨设置在所述基板上且沿垂直于所述支撑限位臂的长度方向水平延伸。
[0008]优选的，所述预定位装置中，所述第一移动件包括滚动设置在所述第一导轨两侧的第一滚轮，每个所述第一滚轮的轮面形成有第一环槽，所述第一导轨上形成有嵌入到所述第一环槽中的第一凸棱，所述第一滚轮可自转地设置在第一连接块上。
[0009]优选的，所述预定位装置中，所述第一导轨的顶面开设有第一V形导槽，所述第一连接块的底平面下方设置有第一弧形滑动条，所述第一弧形滑动条的弧面与所述V形导槽的两侧壁贴合，且所述第一连接块的底平面与所述第一导轨的顶面保持间隙。
[0010]优选的，所述预定位装置中，所述第一连接块为聚四氟乙烯块体。
[0011]优选的，所述预定位装置中，每根所述支撑限位臂设置在一支撑板上，所述支撑板连接第二移动件，所述第二移动件可移动设置在第二导轨上，所述第二导轨设置在所述基
板上且与所述第一导轨平行。
[0012]优选的，所述预定位装置中，所述第二皮带传动机构包括两个第二同步轮、套装在两个所述第二同步轮上的第二皮带以及用于对所述第二皮带进行张紧的张紧轮。
[0013]优选的，所述预定位装置中，所述张紧轮设置在张紧滑动块上，所述张紧滑动块可沿垂直于所述支撑限位臂的长度方向平移地设置在所述基板上，所述张紧滑动块连接一张紧弹簧的一端，所述张紧弹簧的轴线与所述滑动块的移动方向一致，所述张紧弹簧的另一端连接所述基板上设置的固定块。
[0014]优选的，所述预定位装置中，所述第一皮带传动机构的第一皮带通过第一连接件连接所述支撑限位臂，所述第一连接件上设置有传感器触发件，所述传感器触发件与两个传感器配合来确定所述支撑限位臂的移动行程。
[0015]划片机，包括上述任一的预定位装置。
[0016]本专利技术技术方案的优点主要体现在：本专利技术通过第二皮带传动机构连接第三皮带传动机构，并使第三皮带传动机构来驱动两个支撑限位臂的第二端与第一端同步移动，这样能够有效避免仅通过第一皮带传动机构驱动容易造成两个支撑限位臂的第二端在预定位时张开的问题，从而保证两个支撑限位臂的预定位的精度、有效性和稳定性，同时不需要增加额外的动力源。
[0017]本专利技术的第一移动件与第一导轨采用滚动配合的结构，能够有效地保证两个支撑限位臂的第二端移动的顺畅性，改善了两个支撑限位臂的第二端和第一端移动的同步性，保证了预定位的精度。同时，第一移动件采用弧形滑动条与第一导轨上的V形导槽连接，能够有效地提高第一连接块的支撑性，并尽可能地减小它们的接触面积，使所述第一连接块采用聚四氟乙烯块体，能够充分的减小第一连接块滑动地阻力。
[0018]本专利技术的第二皮带传动机构带有张紧轮，并且使张紧轮能够根据第二皮带的张紧状态进行自动调整，能够使第二皮带时刻保持张紧状态，从而改善传动的稳定性，从而充分提高了第一皮带传动机构和第三皮带传动机构的同步性，有效避免了两者不同步造成的两端移动不同步的问题。
[0019]本专利技术将传感器触发件设置在第一连接件上，能够更好地保证传感器触发件的位置精度和稳定性，避免传感器触发件直接设置在第一皮带上容易发生晃动的问题。
附图说明
[0020]图1是本专利技术的预定位装置的立体图；图2是本专利技术的预定位装置中的第一皮带传动机构、第二皮带传动机构、第三皮带传动机构的爆炸图；图3是本专利技术的预定位装置中的第一连接件的局部结构、传感器触发件及传感器的分解状态图；图4是本专利技术的第一移动件与第一导轨的端视图；图5是本专利技术的张紧轮具有一种自动张紧结构的示意图；图6是本专利技术的张紧轮具有另一种自动张紧结构的剖视图。
具体实施方式
[0021]本专利技术的目的、优点和特点，将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图示和解释。这些实施例仅是应用本专利技术技术方案的典型范例，凡采取等同替换或者等效变换而形成的技术方案，均落在本专利技术要求保护的范围之内。
[0022]在方案的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。并且，在方案的描述中，以操作人员为参照，靠近操作者的方向为近端，远离操作者的方向为远端。
[0023]实施例1下面结合附图对本专利技术揭示的预定位装置进行阐述，如附图1所示，其包括基板1及两根平行且等高的支撑限位臂2，两根所述支撑限位臂2可沿垂直于其长度方向平移地设置在所述基板1上所述支撑限位臂2为L形，产品放置在两根支撑限位臂2的台阶面上，并且在两个支撑限位臂2相向移动时，两个支撑限位臂2的竖平面将产品夹持定位。
[0024]如附图1所示，两根所述支撑限位臂2的第一端连接设置在所述基板1下方的第一皮带传动机构3，所述第一皮带传动机构3中的一个第一带轮31连接驱动其自转的电机4。
[0025]如附图1、附图2所示，所述第一皮带传动机构3包括两个第一带轮31及套装在两个所述第一带轮31上的第一皮带3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.预定位装置，包括基板及两根平行且等高的支撑限位臂，两根所述支撑限位臂可沿垂直于其长度方向平移地设置在所述基板上且它们的第一端连接设置在所述基板下方的第一皮带传动机构，所述第一皮带传动机构中的一个第一带轮连接驱动其自转的电机，其特征在于：所述第一皮带传动机构通过第二皮带传动机构连接所述基板上设置的第三皮带传动机构，所述第三皮带传动机构连接两根所述支撑限位臂的第二端以使每根所述支撑限位臂的第一端与第二端同步同向移动。2.根据权利要求1所述的预定位装置，其特征在于：两根所述支撑限位臂的第二端分别连接第一移动件，所述第一移动件可移动地设置第一导轨上，所述第一导轨设置在所述基板上且沿垂直于所述支撑限位臂的长度方向水平延伸。3.根据权利要求2所述的预定位装置，其特征在于：所述第一移动件包括滚动设置在所述第一导轨两侧的第一滚轮，每个所述第一滚轮的轮面形成有第一环槽，所述第一导轨上形成有嵌入到所述第一环槽中的第一凸棱，所述第一滚轮可自转地设置在第一连接块上。4.根据权利要求3所述的预定位装置，其特征在于：所述第一导轨的顶面开设有第一V形导槽，所述第一连接块的底平面下方设置有第一弧形滑动条，所述第一弧形滑动条的弧面与所述V形导槽的两侧壁贴合，且所述第一连接块的底平面与所述第一导轨的顶面...

【专利技术属性】
技术研发人员：于光明，王永强，胡小波，刘炳先，孙志超，
申请(专利权)人：江苏京创先进电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：