本发明专利技术涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种非接触式传输装置及非接触式传输方法。所述非接触式传输装置包括空间位置调整机构、片叉和垂向运动机构，垂向运动机构包括检测组件，片叉可升降地设置在空间位置调整机构的输出端上；检测组件与空间位置调整机构通讯连接，用于检测片叉上的工件是否与工件台接触，空间位置调整机构能够根据检测组件的检测结果控制其输出端运动或停止运动。片叉能够相对于空间位置调整机构的输出端升降，然后通过检测组件检测并传递信号，便于空间位置调整机构及时调整，避免工件与工件台之间的作用力过大而损坏工件，从而可降低交接高度，提高交接精度。度。度。
【技术实现步骤摘要】
一种非接触式传输装置及非接触式传输方法
[0001]本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种非接触式传输装置及非接触式传输方法。
技术介绍
[0002]在半导体制作过程中，为了调节硅片表面局部区域的导电性能，广泛采用离子注入技术，对硅片表面的特定区域进行杂质掺杂。离子注入之后，由于所掺杂杂质原子处于硅晶格中缺陷的状态，一般需要进行激光退火的处理，以消除掺杂对于半导体材料晶格造成的损伤，同时能够有效地激活掺杂杂质。
[0003]由于激光退火设备工件台采用无pin方式吸附硅片，非接触式机械手片叉需要从硅片上表面吸附硅片，当硅片与工件台之间的交接高度大约3mm时，交接误差大约100～200um；当交接高度在2mm时，交接误差大约在50um之内；当交接高度在0.5mm时，交接误差大约在15um之内。通过数据分析可以得出：非接触式片叉交接位高度距离工件台高度越低，交接精度越高。
[0004]然而由于硅片厚度尺寸存在误差，且硅片还可能存在翘曲，而非接触式片叉作业过程中又需要一定的反应时间以达到完全停止的状态，若交接高度太低，片叉容易与硅片碰撞，从而造成硅片损伤。因此，交接高度通常设置在1.5～2mm，这导致非接触式机械手片叉交接精度不高，不能满足高精度交接需求。
[0005]因此，亟待需要一种交接精度高的非接触式传输装置以解决上述问题。
技术实现思路
[0006]本专利技术的一个目的在于提供一种非接触式传输装置，在保证不损坏工件的前提下，降低交接高度，提高交接精度。
[0007]本专利技术的另一个目的在于提供一种非接触式传输方法，能够在保证不损坏工件的前提下，降低交接高度，提高交接精度。
[0008]为实现上述目的，提供以下技术方案：
[0009]一方面，提供了一种非接触式传输装置，包括空间位置调整机构和片叉，所述空间位置调整机构用于调整所述片叉的位置，所述片叉用于吸附工件，所述非接触式传输装置还包括垂向运动机构，所述片叉可升降地设置在所述空间位置调整机构的输出端，所述垂向运动机构包括：
[0010]检测组件，与所述空间位置调整机构通讯连接，用于检测所述片叉上的工件是否与工件台接触，所述空间位置调整机构能够根据所述检测组件的检测结果控制其输出端运动或停止运动。
[0011]作为所述非接触式传输装置的可选方案，所述检测组件包括感应单元和触发件，所述触发件能够触发所述感应单元，所述空间位置调整机构能够根据所述感应单元的触发状态或未触发状态控制其输出运动或停止运动。
[0012]作为所述非接触式传输装置的可选方案，所述感应单元能够与所述片叉同步升降并能够相对于所述触发件升降，以检测所述片叉上的工件是否与工件台接触。
[0013]作为所述非接触式传输装置的可选方案，所述触发件能够与所述片叉同步升降并能够相对于所述感应单元升降，以检测所述片叉上的工件是否与工件台接触。
[0014]作为所述非接触式传输装置的可选方案，所述垂向运动机构还包括转接组件，所述转接组件可升降地设置在所述空间位置调整机构的输出端上，所述片叉固定在所述转接组件上，所述感应单元和所述触发件两个中的一个固定在所述转接组件上，另一个固定在所述空间位置调整机构的输出端上。
[0015]作为所述非接触式传输装置的可选方案，在初始状态下，所述转接组件位于所述感应单元能够被所述触发件触发的位置；所述工件与所述工件台接触后，所述转接组件能够带动所述感应单元和所述触发件两个中的一个相对于两个另一个运动以使所述感应单元处于未被触发状态。
[0016]作为所述非接触式传输装置的可选方案，所述转接组件包括间隔设置并固定连接的片叉转接件和检测转接件，所述片叉转接件用于安装固定所述片叉，所述感应单元或所述触发件固定安装在所述检测转接件上。作为所述非接触式传输装置的可选方案，所述检测转接件间隔设置于所述片叉转接件的上方。
[0017]作为所述非接触式传输装置的可选方案，所述安装件固定在所述空间位置调整机构的输出端上，所述触发件和所述感应单元两个中的一个安装在所述安装件上。
[0018]作为所述非接触式传输装置的可选方案，所述安装件间隔设置于所述检测转接件的上方，所述检测转接件上开设有第一导向孔，所述触发件包括连接部和触发部，所述连接部可滑动地穿设在所述第一导向孔中并与所述安装件固定连接，所述触发部位于所述检测转接件下方。
[0019]作为所述非接触式传输装置的可选方案，所述触发件安装在所述安装件上并能够触发所述感应单元。
[0020]作为所述非接触式传输装置的可选方案，所述垂向运动机构还包括限位件，所述限位件固定在所述检测转接件上，所述限位件用于限制所述感应单元和所述触发件的最小间距。
[0021]作为所述非接触式传输装置的可选方案，所述片叉转接件用于安装固定所述片叉，所述感应单元转接件间隔设置于所述片叉转接件的上方，所述感应单元固定安装在所述感应单元转接件的下表面上，所述限位件的下表面略低于所述感应单元的下表面并能够与所述触发部的上表面相抵接。
[0022]作为所述非接触式传输装置的可选方案，所述垂向运动机构还包括复位组件，所述复位组件用于使所述感应单元处于至被触发状态。
[0023]作为所述非接触式传输装置的可选方案，所述复位组件包括复位弹性件，所述复位弹性件能够使所述转接组件处于所述感应单元被触发的位置。进一步优选地，所述复位弹性件的一端与所述检测转接件相抵接，其另一端与所述安装件相抵接，所述检测转接件在外力作用下能够相对于所述安装件向上运动以压缩所述复位弹性件。
[0024]作为所述非接触式传输装置的可选方案，所述复位组件包括直线驱动器和推杆，所述直线驱动器固定在所述空间位置调整机构的输出端上，并能够驱动所述推杆沿水平方
向移动，以使所述转接组件维持在所述感应单元被触发的位置。进一步优选地，所述直线驱动器固定在所述空间位置调整机构的输出端上，所述推杆上设置有第一斜面，所述检测转接件上设置有与所述第一斜面相贴合的第二斜面，所述直线驱动器能够驱动所述推杆沿水平方向移动，以使所述检测转接件相对于所述安装件向下移动。
[0025]另一方面，提供了一种非接触式传输方法，包括如下步骤：
[0026]将片叉可升降地设置在空间位置调整机构的输出端上，利用片叉吸附工件；
[0027]在所述片叉上的工件未接触工件台或所述片叉未接触到工件台上的工件之前，所述空间位置调整机构根据预设路径调整所述片叉的位置，使所述片叉移动至所述工件台相对应的位置，并驱动所述片叉靠近所述工件台；
[0028]当所述片叉上的工件接触所述工件台或所述片叉接触到所述工件台上的工件时，所述空间位置调整机构响应接触信号并停止驱动所述片叉运动，响应接触信号至所述空间位置调整机构的输出端停止运动期间，所述片叉能够在所述工件台的作用下向远离所述工作台的方向运动。
[0029]作为所述非接触式传输方法的优选方案，所述接触信号为所述空间位置调整机构上的感应单元未本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种非接触式传输装置，包括空间位置调整机构(1)和片叉(2)，所述空间位置调整机构(1)用于调整所述片叉(2)的位置，所述片叉(2)用于吸附工件(100)，其特征在于，所述非接触式传输装置还包括垂向运动机构(3)，所述片叉(2)可升降地设置在所述空间位置调整机构(1)的输出端，所述垂向运动机构(3)包括：检测组件(32)，与所述空间位置调整机构(1)通讯连接，用于检测所述片叉(2)上的工件(100)是否与工件台(200)接触，所述空间位置调整机构(1)能够根据所述检测组件(32)的检测结果控制其输出端运动或停止运动。2.根据权利要求1所述的非接触式传输装置，其特征在于，所述检测组件(32)包括感应单元(321)和触发件(322)，所述触发件(322)能够触发所述感应单元(321)，所述空间位置调整机构(1)能够根据所述感应单元(321)的触发状态或未触发状态控制其输出运动或停止运动。3.根据权利要求2所述的非接触式传输装置，其特征在于，所述感应单元(321)能够与所述片叉(2)同步升降并能够相对于所述触发件(322)升降，以检测所述片叉(2)上的工件(100)是否与工件台(200)接触；或所述触发件(322)能够与所述片叉(2)同步升降并能够相对于所述感应单元(321)升降，以检测所述片叉(2)上的工件(100)是否与工件台(200)接触。4.根据权利要求3所述的非接触式传输装置，其特征在于，所述垂向运动机构(3)还包括转接组件(31)，所述转接组件(31)可升降地设置在所述空间位置调整机构(1)的输出端上，所述片叉(2)固定在所述转接组件(31)上，所述感应单元(321)和所述触发件(322)两个中的一个固定在所述转接组件(31)上，另一个固定在所述空间位置调整机构(1)的输出端上。5.根据权利要求4所述的非接触式传输装置，其特征在于，在初始状态下，所述转接组件(31)位于所述感应单元(321)能够被所述触发件(322)触发的位置；所述工件(100)与所述工件台(200)接触后，所述转接组件(31)能够带动所述感应单元(321)和所述触发件(322)两个中的一个相对于另一个运动以使所述感应单元(321)处于未被触发状态。6.根据权利要求4所述的非接触式传输装置，其特征在于，所述转接组件(31)包括间隔设置并固定连接的片叉转接件(311)和检测转接件(312)，所述片叉转接件(311)用于安装固定所述片叉(2)，所述感应单元(321)或所述触发件(322)固定安装在所述检测转接件(312)上。7.根据权利要求6所述的非接触式传输装置，其特征在于，所述检测转接件(312)间隔设置于所述片叉转接件(311)的上方。8.根据权利要求6所述的非接触式传输装置，其特征在于，所述垂向运动机构(3)还包括安装件(34)，所述安装件...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘凯，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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