中转装置及清洗设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于半导体制造技术领域，涉及一种中转装置及清洗设备,中转装置包括：承接台，用于承接载片篮；驱动连杆机构，设置为两组，并分别位于承接台的两侧，包括驱动件和多个连杆组件，连杆组件连接于驱动件和承接台之间，且连杆组件配置为将驱动件的驱动端的往复运动转换为承接台的升降运动，两组驱动连杆机构同步运动。本实用新型专利技术使机械手无需再浸入槽内液体即可完成传送，从而能够保证机械手的洁净，且各槽体之间的液体不会互相污染；通过该装置可实现载片篮晃动，从而加快槽体内部的反应；减小机械手的升降运动幅度，提高机械手的运动稳定性，且缩短升降运动时间。且缩短升降运动时间。且缩短升降运动时间。

【技术实现步骤摘要】
中转装置及清洗设备


[0001]本技术涉及半导体制造
，尤其涉及中转装置及清洗设备。

技术介绍

[0002]晶圆在制造加工过程中，由于物理或化学吸附作用，可能使晶圆表面受到某些有机物、金属离子、灰尘、颗粒的沾污，必须通过清洗去除后才能得到合格的产品。因为晶圆清洗制程工艺存在多种方式，使用不同的载片篮，通过载片篮来承载批量晶圆，并通过机械手将载片篮移栽到相应槽体中进行清洗。
[0003]在现有技术上，机械手将载片篮放入槽体，机械手会粘附槽体内的工艺液体，使得机械手会被污染，当机械手在多个槽体间互相传送时，槽内化学品会互相污染，从而影响清洗液的清洗效果和晶圆产品质量。

技术实现思路

[0004]鉴于上述现有技术的不足，本申请的目的在于提供中转装置及清洗设备，旨在解决晶圆清洗过程中机械手易被污染且各槽体内化学品互相污染的问题。
[0005]本申请提供一种中转装置，用于载片篮的清洗中转，包括：
[0006]承接台，用于承接载片篮；以及
[0007]驱动连杆机构，设置为两组，并分别位于所述承接台的两侧，包括驱动件和多个连杆组件，所述连杆组件连接于所述驱动件和所述承接台之间，且所述连杆组件配置为将所述驱动件的驱动端的往复运动转换为所述承接台的升降运动，两组所述驱动连杆机构同步运动。
[0008]上述中转装置，通过设置驱动连杆机构和承接台，使机械手无需再浸入槽内液体即可完成传送，从而能够保证机械手的洁净，且各槽体之间的液体不会互相污染；通过该装置可实现载片篮晃动，从而加快槽体内部的反应；减小机械手的升降运动幅度，提高机械手的运动稳定性，且缩短升降运动时间。
[0009]可选地，所述连杆组件包括连接杆和拉杆，所述连接杆转动连接于第一固定轴上，且所述连接杆的两端分别与所述驱动件的驱动端和所述拉杆的第一端铰接，所述拉杆的第二端与所述承接台铰接。如此，通过相铰接的连接杆和拉杆，并且，连接杆转动连接于第一固定轴上起到杠杆作用，使连接杆两端的升降动作相反，能够通过连杆组件将驱动件的动力转换为承接台的升降运动，从而实现升降台的升降作业。
[0010]可选地，所述连接杆的数量与所述拉杆的数量相同，并一一对应。如此，可以根据使用需求设置多个连杆组件，每个连杆组件中包括一个连接杆和一个拉杆，二者对应铰接。
[0011]可选地，多个所述连接杆通过第一活动轴与所述驱动件的驱动端铰接，所述第一活动轴与所述第一固定轴平行设置。如此，驱动件的驱动端驱动第一活动轴作往复升降运动时，会带动多个连接杆与第一活动轴铰接的第一端同步作升降运动，由于连接杆转动连接在第一固定轴上，使得连接杆的两端升降动作相反。
[0012]可选地，多个所述拉杆通过第二活动轴与多个所述连接杆对应铰接，所述第二活动轴与所述第一固定轴平行设置。如此，连接杆与第二活动轴铰接的第二端作升降运动时，会通过第二活动轴带动拉杆同步作升降运动。
[0013]可选地，所述承接台通过第三活动轴与多个所述拉杆铰接，所述第三活动轴与所述第一固定轴平行设置。如此，拉杆在连接杆作用下作升降运动时，会通过第三活动轴同步带动承接台作升降运动，从而利用承接台的升降，进行载片篮的承接、卸载和清洗作业。
[0014]可选地，所述驱动件包括气缸或油缸，所述气缸或所述油缸的缸体转动连接于第二固定轴上，所述第二固定轴与所述第一固定轴平行，且所述第二固定轴低于所述第一固定轴。如此，驱动件用于驱动所述连杆组件动作，从而使承接台升降，驱动件选用气缸或油缸，其结构简单成本低廉，占用空间小，控制容易；并且，缸体转动连接于第二固定轴上，在驱动件进行往复作业过程中，缸体可绕第二固定轴转动，使得驱动件和连杆组件能够满足配合作业需求。
[0015]可选地，所述中转装置还包括两个相对设置的盖板，每个所述盖板具有自由端和转动端，所述转动端铰接于驱动件的驱动端，所述盖板配置为在驱动件的作用下开启或闭合。如此，通过设置盖板，可在清洗作业时盖上盖板，保证槽内液体不会大量挥发，进而保证环境安全。
[0016]可选地，每个所述盖板与对应的所述连接杆之间具有设定角度。如此，可在驱动件驱动连接杆作业时使盖板同步运动，且满足盖板开启或闭合的作业需求。
[0017]基于同样的技术构思，本申请还提供一种清洗设备，包括槽体、机械手和如上所述的中转装置。
[0018]上述清洗设备，使机械手利用中转装置传送载片篮，无需再浸入槽内液体即可完成传送，从而能够保证机械手的洁净，且各槽体之间的液体不会互相污染；通过该装置可实现载片篮晃动，从而加快槽体内部的反应；减小机械手的升降运动幅度，提高机械手的运动稳定性，且缩短升降运动时间。
附图说明
[0019]图1为本技术实施例的中转装置整体结构示意图；
[0020]图2为本技术实施例的中转装置盖板闭合状态示意图；
[0021]图3为本技术实施例的中转装置部分结构俯视图；
[0022]图4为本技术实施例的中转装置作业方式示意图一；
[0023]图5为本技术实施例的中转装置作业方式示意图二；
[0024]图6为本技术实施例的中转装置作业方式示意图三；
[0025]图7为本技术实施例的中转装置作业方式示意图四；
[0026]图8为本技术实施例的中转装置作业方式示意图五；
[0027]图9为本技术实施例的中转装置作业方式示意图六。
[0028]附图标记说明：
[0029]10
‑
承接台；20
‑
驱动件；30
‑
连杆组件；31
‑
连接杆；32
‑
拉杆；40
‑
盖板；51
‑
第一固定轴；52
‑
第一活动轴；53
‑
第二活动轴；54
‑
第三活动轴；55
‑
第二固定轴；
[0030]100
‑
槽体；200
‑
机械手；300
‑
载片篮。
具体实施方式
[0031]为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的较佳实施方式。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本申请的公开内容理解的更加透彻全面。
[0032]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请。
[0033]目前晶圆在制造加工后进行清洗作业时，往往批量进行，通过载片篮来承载批量晶圆，并通过机械手进行载片篮在各个清洗槽体中的转运。机械手在将载片篮移入或移出槽体时，往往需要于槽体内的工艺液体接触，从而导致机械手被污染，并且当机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种中转装置，用于载片篮的清洗中转，其特征在于，包括：承接台，用于承接载片篮；以及驱动连杆机构，设置为两组，并分别位于所述承接台的两侧，包括驱动件和多个连杆组件，所述连杆组件连接于所述驱动件和所述承接台之间，且所述连杆组件配置为将所述驱动件的驱动端的往复运动转换为所述承接台的升降运动，两组所述驱动连杆机构同步运动。2.如权利要求1所述的中转装置，其特征在于，所述连杆组件包括连接杆和拉杆，所述连接杆转动连接于第一固定轴上，且所述连接杆的两端分别与所述驱动件的驱动端和所述拉杆的第一端铰接，所述拉杆的第二端与所述承接台铰接。3.如权利要求2所述的中转装置，其特征在于，所述连接杆的数量与所述拉杆的数量相同，并一一对应。4.如权利要求2所述的中转装置，其特征在于，多个所述连接杆通过第一活动轴与所述驱动件的驱动端铰接，所述第一活动轴与所述第一固定轴平行设置。5.如权利要求2所述的中转装置，其特征在于，多个所述拉...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄宗友，
申请(专利权)人：重庆康佳光电技术研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：