一种芯片测试机的翻转机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种芯片测试机的翻转机构，包括机体、测试台和固定板一，所述工作台的顶部对称安装有支柱，所述工作台的顶部安装有测试台，一组所述驱动滑块的顶部安装有固定板一，所述测试台的顶部安装有安装板，所述机体的背面安装有安装箱。本实用新型专利技术通过在安装箱的顶部内侧安装有负压泵，负压泵运行经传输管对连接筒内部的气体进行抽取使吸盘内部形成负压，实现了吸盘对测试芯片的紧固吸附，防止了定位时与测试芯片表面接触对其造成损坏，伸缩杆一和伸缩杆二工作对放置在吸盘上方的测试芯片两侧进行夹持，避免了测试过程中测试芯片位置发生偏移导致较大测量误差的产生，提高了测量精度，增强了实用性能。增强了实用性能。增强了实用性能。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片测试机的翻转机构


[0001]本技术涉及集成电路芯片及产品制造
，具体为一种芯片测试机的翻转机构。

技术介绍

[0002]芯片是半导体元件产品的统称，集成电路芯片或微电路、微芯片、晶片，在电子学中是一种把电路小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上，在芯片生产过程中为了有效的检测芯片的性能质量，需要通过芯片测试机对其进行检测，由于芯片测试机独特的测试手法，需要在测试过程中对其翻转移动，从而对芯片进行准确的接触测试。
[0003]现有技术中翻转机构存在的缺陷是：
[0004]专利文件CN207636711U一种芯片测试机的翻转机构“包括升降气缸、支架、滑轨、滑块、电动机、平移气缸和安装板，支架设置在升降气缸的输出轴上，并与升降气缸的输出轴固定连接，滑轨固定设置在支架顶端，滑轨右端面开设有滑槽，滑块位于滑槽内部，并与滑槽滑动连接，安装板固定设置在滑轨右端面后侧，平移气缸设置在安装板前端面，滑块设置在平移气缸的输出轴上，并与平移气缸的输出轴固定连接，电动机固定设置在滑块右端面，该设计增加了对芯片探针的移动轨迹，便于对芯片进行全方位的探测。”现有技术中翻转机构对测试芯片的固定不够稳固，容易使测试芯片位置发生偏移导致测量结果出现偏差，且不便于对测试位置进行调节，降低了测试效率，无法满足使用需求。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种芯片测试机的翻转机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种芯片测试机的翻转机构，包括机体、测试台和固定板一，所述机体的顶部安装有工作台，所述工作台的顶部对称安装有支柱，所述支柱的内侧安装有滑槽架；
[0007]所述工作台的顶部安装有测试台，所述测试台的顶部对称安装有滑轨座，所述滑轨座的顶部嵌合安装有驱动滑块，一组所述驱动滑块的顶部安装有固定板一，所述固定板一的外侧安装有电动机，所述电动机的输出端贯穿固定板一的外侧安装有伸缩杆一，另一组所述驱动滑块的顶部安装有固定板二；
[0008]所述测试台的顶部安装有安装板，所述安装板的顶部安装有升降杆，所述升降杆的输出端安装有连接筒，所述机体的背面安装有安装箱。
[0009]优选的，所述机体的正面铰接安装有开关门。
[0010]优选的，所述滑槽架的外侧嵌合安装有驱动装置，驱动装置的正面安装有气缸，气缸的输出端安装有测试头。
[0011]优选的，所述滑轨座的顶部安装有限位块，且限位块与驱动滑块相配合。
[0012]优选的，所述固定板二的内侧活动安装有伸缩杆二，伸缩杆一和伸缩杆二的输出
端安装有夹持板。
[0013]优选的，所述连接筒的顶部安装有吸盘。
[0014]优选的，所述安装箱的顶部内侧安装有负压泵，负压泵的输入端安装有传输管，且传输管的输入端与连接筒的内部连接。
[0015]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0016]1、本技术通过在安装箱的顶部内侧安装有负压泵，负压泵运行经传输管对连接筒内部的气体进行抽取使吸盘内部形成负压，实现了吸盘对测试芯片的紧固吸附，防止了定位时与测试芯片表面接触对其造成损坏，伸缩杆一和伸缩杆二工作对放置在吸盘上方的测试芯片两侧进行夹持，避免了测试过程中测试芯片位置发生偏移导致较大测量误差的产生，提高了测量精度，增强了实用性能。
[0017]2、本技术通过在滑轨座的顶部嵌合安装有驱动滑块，驱动滑块运行在滑轨座上移动带动固定板进行水平方向上的位置调整，测试芯片一面测试完成后电动机运行带动伸缩一转动，伸缩杆二传动使得夹持板同步旋转，实现了测试芯片的稳定翻面转动，为工作人员提供了便捷，提高了测试效率，满足使用需求。
附图说明
[0018]图1为本技术的立体结构示意图；
[0019]图2为本技术的正面结构示意图；
[0020]图3为本技术的吸盘立体结构示意图；
[0021]图4为本技术的安装箱内部结构示意图。
[0022]图中：1、机体；101、工作台；102、开关门；2、支柱；201、滑槽架；202、驱动装置；203、气缸；204、测试头；3、测试台；301、滑轨座；302、驱动滑块；303、限位块；4、固定板一；401、电动机；402、伸缩杆一；403、固定板二；404、伸缩杆二；405、夹持板；5、安装板；501、升降杆；502、连接筒；503、吸盘；6、安装箱；601、负压泵；602、传输管。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0025]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接或活动连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可
以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0026]请参阅图1和图2，本技术提供的一种实施例：一种芯片测试机的翻转机构；
[0027]包括机体1、支柱2和驱动装置202，机体1的顶部安装有工作台101，机体1的正面铰接安装有开关门102，工作台101对支柱2进行支撑，工作台101的顶部对称安装有支柱2，支柱2的内侧安装有滑槽架201，滑槽架201的外侧嵌合安装有驱动装置202，驱动装置202的正面安装有气缸203，气缸203的输出端安装有测试头204，支柱2为滑槽架201提供了安装位置，驱动装置202运行在滑槽架201内侧移动带动气缸203进行水平方向上的移动，气缸203工作推动测试头204向下移动与测试芯片进行接触。
[0028]请参阅图1和图2，一种芯片测试机的翻转机构；
[0029]包括测试台3、固定板一4和固定板二403，工作台101的顶部安装有测试台3，测试台3的顶部对称安装有滑轨座301，滑轨座301的顶部嵌合安装有驱动滑块302，滑轨座301的顶部安装有限位块303，且限位块303与驱动滑块302相配合，驱动滑块302运行在滑本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片测试机的翻转机构，包括机体(1)、测试台(3)和固定板一(4)，其特征在于：所述机体(1)的顶部安装有工作台(101)，所述工作台(101)的顶部对称安装有支柱(2)，所述支柱(2)的内侧安装有滑槽架(201)；所述工作台(101)的顶部安装有测试台(3)，所述测试台(3)的顶部对称安装有滑轨座(301)，所述滑轨座(301)的顶部嵌合安装有驱动滑块(302)，一组所述驱动滑块(302)的顶部安装有固定板一(4)，所述固定板一(4)的外侧安装有电动机(401)，所述电动机(401)的输出端贯穿固定板一(4)的外侧安装有伸缩杆一(402)，另一组所述驱动滑块(302)的顶部安装有固定板二(403)；所述测试台(3)的顶部安装有安装板(5)，所述安装板(5)的顶部安装有升降杆(501)，所述升降杆(501)的输出端安装有连接筒(502)，所述机体(1)的背面安装有安装箱(6)。2.根据权利要求1所述的一种芯片测试机的翻转机构，其特征在于：所述机体(1)的正面铰接安装有开关门(102...

【专利技术属性】
技术研发人员：李永刚，李佳慧，邵富民，
申请(专利权)人：昊丰电子科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：