本发明专利技术公开了一种高低温智能测试装置，包括电器柜，所述电器柜顶端设置有工作台，且工作台顶端设置有协作机械臂，所述协作机械臂的末端设置有多用途抓夹，且多用途抓夹一侧设置有检测相机，所述工作台顶端表面设置有托盘，所述托盘包括待测盘、合格盘和不合格盘等部件。本发明专利技术还公开了基于该高低温智能测试装置的测试方法，包括启动电器柜和测试台，并通过控制终端对待测盘、合格盘和不合格盘的位置进行定位等步骤。本发明专利技术能有效避免可能的存在辅助元器件的失效导致器件测试失效，以及从温箱中引出需要通过较长的线缆而引入了噪声与延迟，能显著的提高元器件的高低温测试效率。能显著的提高元器件的高低温测试效率。能显著的提高元器件的高低温测试效率。
【技术实现步骤摘要】
一种高低温智能测试装置及其测试方法
[0001]本专利技术涉及集成电路测试
，特别是涉及一种高低温智能测试装置及其测试方法。
技术介绍
[0002]随着半导体技术的发展，元器件的测试工作，特别是三温测试（指在高温、常温、低温这三个温度下进行功能测试）也受到更多的关注，越来越多的元器件设计，生产，使用等单位对元器件的测试环节投入的成本也越来越大。目前元器件的三温测试方式主要有两种，第一种为箱外测试法，即把元器件单独放置在高低温试验箱中，保温一定时间后取出进行测试；第二种为箱内测试法，即把需要测试的元器件与测试板整体放置在高低温试验箱中，保温一定时间后直接测试。
[0003]但是在实际使用过程中，第一种箱外测试法，元器件从高低温箱取出后，会有一个温度回升的情况存在，对于低温失效的器件，不能很好地进行检测。对于第二种箱内测试法，首先在对元器件进行测试时，由于整个测试板置于低温环境，如果测试板有其他辅助元器件，可能存在辅助元器件的失效导致器件测试失效。其次，需要从温箱中引出较长的线缆，会不可避免的引入噪声与延迟，对于需要精确测试的器件，测试结果不能真实反应器件的性能，且大部分设备只能手动测试，人员成本较大。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于克服上述问题，提供一种高低温智能测试装置及其测试方法。
[0005]本专利技术通过以下技术方案来实现：一种高低温智能测试装置，其包括有电器柜，所述电器柜顶端设置有工作台，且工作台顶端设置有协作机械臂，所述协作机械臂的末端设置有多用途抓夹，且多用途抓夹一侧设置有检测相机，所述工作台顶端表面设置有托盘，所述托盘包括待测盘、合格盘和不合格盘，所述电器柜右侧设置有测试台，且测试台上方设置有测试夹具，该测试夹具的顶部套设有顶壳，该顶壳通过管道与测试台内部的高低温系统相连接。
[0006]进一步地，所述测试夹具由测试座，设置在测试座上方的定位模块，设置在定位模块上方的锁紧模块，与锁紧模块相连接的升降温系统以及设置在该升降温系统端面上的变温模块组成。
[0007]为更好的实现本专利技术，所述升降温系统优先由加热盘管，设置在该加热盘管上方的热交换器组成；所述变温模块的端面与加热盘管的下端面紧贴相连；所述顶壳则套接在热交换器的顶部，其下端通过螺纹与加热盘管相连接。
[0008]为确保检测效果，在所述电器柜前端还设置有纠偏相机。
[0009]所述电器柜左侧设置有控制终端，且控制终端内部设置有控制装置，所述控制装置通过电信号控制加热盘管、检测相机和协作机械臂。
[0010]为对待测芯片及变温模块进行更好的保护，本专利技术在所述锁紧模块底端设置有弹
性橡胶，且锁紧模块中部开设有与变温模块相互配合的通孔。
[0011]所述高低温系统则包括低温系统、高温系统和常温系统；所述低温系统包括至少一个低温箱以及用于为该低温箱提供冷气的制冷回路，所述高温系统包括至少一个高温箱以及用于为高温箱提供热气的制热回路，所述常温系统包括至少一个常温箱以及用于为常温箱供给气体的常温回路；所述热交换器的热交换口则分别与制冷回路、制热回路和常温回路相连接。
[0012]本专利技术还提供了一种高低温智能测试装置的测试方法，其包括以下步骤：S1、启动电器柜和测试台，并通过控制终端对待测盘、合格盘和不合格盘的位置进行定位；S2、设置需要测试的温度，启动协作机械臂，使协作机械臂带动多用途抓夹进行移动，并通过检测相机对待测芯片的位置进行定位；S3、多用途抓夹将待测芯片拿取后放入测试座中，然后启动锁紧模块和定位模块对待测芯片进行限位，再将变温模块贴合在待测芯片的表面上；S4、控制终端通过升降温系统控制变温模块进行升温或者降温，当温度达到预置的温度值之后，开始进行测试；S5、变温模块将温度传导至待测芯片上，测试完成后抬起锁紧模块和变温模块，并使用多用途抓夹从测试座中取出待测芯片；S6、控制终端根据测试结果控制多用途抓夹将已测试完的芯片放置到合格盘或不合格盘中，然后再重复步骤S3～S6，直至所有待测芯片检测完为止。
[0013]本专利技术与现有技术相比，具有以下优点及有益效果：1、本专利技术通过设置的协作机械臂、升降温系统和热交换接口等，有效降低了可能因存在辅助元器件的失效而导致器件测试失败的概率。
[0014]2、本专利技术还能有效的解决传统测试装置需要从温箱中引出较长的线缆而引入的噪声与延迟现象。
[0015]3、本专利技术能自动的使协作机械臂控制多用途抓夹和检测相机相互配合来对待测芯片进行夹持，并将待测芯片放置在测试座，并自动的通过锁紧模块、定位模块、变温模块和升降温系统的配合实现常温、低温、高温的测试，明显的提高了元器件的高低温测试效率。
附图说明
[0016]图1为本专利技术的立体结构示意图；图2为本专利技术测试夹具的爆炸立体结构示意图；图3为本专利技术的流程框图。
[0017]其中附图中的附图标记分别为：1、电器柜；2、工作台；3、协作机械臂；4、多用途抓夹；5、检测相机；6、托盘；61、待测盘；62、合格盘；63、不合格盘；7、测试台；8、测试夹具；9、锁紧模块；10、定位模块；11、变温模块；12、加热盘管；13、热交换接口；14、待测芯片；15、纠偏相机；16、控制终端；17、顶壳；18、测试座。
具体实施方式
[0018]为了使本专利技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本专利技术，但下述实施例仅仅为本专利技术的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其他实施例，都属于本专利技术的保护范围。下述实施例中的实验方法，如无特殊说明，均为常规方法，下述实施例中所用的材料、试剂等，如无特殊说明，均可从商业途径得到。
[0019]实施例：请参阅图1～图3，本专利技术所述的高低温智能测试装置其主要包括有电器柜1、工作台2、协作机械臂3、多用途抓夹4、检测相机5、托盘6、测试台7、测试夹具8及高低温系统。同时，在电器柜1的左侧设置有控制终端16，且控制终端16内部设置有控制装置。
[0020]工作台2设置在电器柜1的顶端，协作机械臂3则设置在工作台2上。所述的多用途抓夹4设置在协作机械臂3的末端，同时在该多用途抓夹4的一侧设置了检测相机5。所述的托盘6设置在工作台2的顶端表面，该托盘6包括有待测盘61、合格盘62和不合格盘63。
[0021]测试台7设置在电器柜1的右侧，且测试夹具8直接设置在该测试台7的上方。在测试台7的内部设有高低温系统，而该高低温系统的作用便是为整个装置提供适合的温度，以确保待测芯片14有合适的测试环境。
[0022]所述测试夹具8由测试座18，设置在测试座18上方的定位模块10，设置在定位模块10上方的锁紧模块9，与锁紧模块9相连接的升降温系统以及设置在该升降温系统端面上的变温模块11组成。为保护锁紧模块9和变温模块11，在锁紧模块9底端设置有弹性橡胶，且锁紧模块9中部开设有与变温模块11相互配合的通孔，变温模块11通过本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高低温智能测试装置，包括电器柜（1），其特征在于：所述电器柜（1）顶端设置有工作台（2），且工作台（2）顶端设置有协作机械臂（3），所述协作机械臂（3）的末端设置有多用途抓夹（4），且多用途抓夹（4）一侧设置有检测相机（5），所述工作台（2）顶端表面设置有托盘（6），所述托盘（6）包括待测盘（61）、合格盘（62）和不合格盘（63），所述电器柜（1）右侧设置有测试台（7），且测试台（7）上方设置有测试夹具（8），该测试夹具（8）的顶部套设有顶壳（17），该顶壳（17）通过管道与测试台（7）内部的高低温系统相连接。2.根据权利要求1所述的一种高低温智能测试装置，其特征在于，所述测试夹具（8）由测试座（18），设置在测试座（18）上方的定位模块（10），设置在定位模块（10）上方的锁紧模块（9），与锁紧模块（9）相连接的升降温系统以及设置在该升降温系统端面上的变温模块（11）组成。3.根据权利要求2所述的一种高低温智能测试装置，其特征在于，所述升降温系统由加热盘管（12），设置在该加热盘管（12）上方的热交换器组成；所述变温模块（11）的端面与加热盘管（12）的下端面紧贴相连；所述顶壳（17）则套接在热交换器的顶部，其下端通过螺纹与加热盘管（12）相连接。4.根据权利要求3所述的一种高低温智能测试装置，其特征在于：所述电器柜（1）前端还设置有纠偏相机（15）。5.根据权利要求3所述的一种高低温智能测试装置，其特征在于：所述电器柜（1）左侧设置有控制终端（16），且控制终端（16）内部设置有控制装置，所述控制装置通过电信号控制加热盘管（12）、检...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵杰，李品，李涛，黄振东，
申请(专利权)人：北京京瀚禹电子工程技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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