大尺寸可旋转及前后移动的托盘制造技术

本实用新型专利技术公开了大尺寸可旋转及前后移动的托盘，包括：托盘容纳腔（1），所述托盘容纳腔的底部安装有滚轮（8）；托盘（2），所述托盘通过轴承（3）转动连接在托盘容纳腔内，所述托盘的底部边缘设有托盘锥齿轮；托盘盖板（4），所述托盘盖板安装在托盘上；电机平台（5），所述电机平台位于托盘容纳腔之外；旋转电机（6），所述旋转电机安放在电机平台上；转动杆（7），所述转动杆一端与旋转电机传动连接，所述转动杆的另一端从托盘容纳腔侧面伸入并设有转动杆锥齿轮，所述转动杆锥齿轮与托盘锥齿轮啮合。本实用新型专利技术的有益效果是通过转动杆锥齿轮和托盘锥齿轮的啮合，通过旋转电机带动托盘进行360

【技术实现步骤摘要】
大尺寸可旋转及前后移动的托盘


[0001]本技术涉及半导体材料与设备
，特别涉及氢化物气相外延(HVPE)技术生长氮化物半导体材料时，用于HVPE的大尺寸可旋转及前后移动的托盘。

技术介绍

[0002]HVPE生长氮化物的主要原理是：以金属镓作为III族镓源，氨气(NH3)作为V族氮 源，氯化氢(HCl)作为反应气体并在载气(氢气或是氮气)的携带下，通过镓舟，与其中的金属镓发生化学反应，生成氯化镓(GaCl)，在通过载气(氢气或是氮气)的携带下在衬底上方与NH3反应生成GaN，并在衬底上沉积，主要的化学反应如下：
[0003][0004]氢化物气相外延设备为化合物生长工艺设备，主要用于在高温环境下通过如H2、HCl等氢化物气体，使衬底表面外延生长一层如GaAs、GaN等的厚膜或晶体。
[0005]其中托盘用于承载衬底，现有的托盘在反应腔内无法转动，也无法来回移动，因此无法根据环境调节托盘位置，衬底生长晶体的均匀性和全面性无法保证。

技术实现思路

[0006]本技术要解决的技术问题是现有的HVPE设备中托盘的位置无法进行灵活调整，为此提供一种大尺寸可旋转及前后移动的托盘。
[0007]本技术的技术方案是：大尺寸可旋转及前后移动的托盘,包括：托盘容纳腔，所述托盘容纳腔的底部安装有滚轮；托盘，所述托盘通过轴承转动连接在托盘容纳腔内，所述托盘的底部边缘设有托盘锥齿轮；托盘盖板，所述托盘盖板安装在托盘上；电机平台，所述电机平台位于托盘容纳腔之外；旋转电机，所述旋转电机安放在电机平台上；转动杆，所述转动杆一端与旋转电机传动连接，所述转动杆的另一端从托盘容纳腔侧面伸入并设有转动杆锥齿轮，所述转动杆锥齿轮与托盘锥齿轮啮合。
[0008]上述方案的改进是所述电机平台底部设有滑块，所述滑块滑动配合在导轨内。
[0009]上述方案的进一步改进是所述电机平台安装有把手。
[0010]上述方案中所述转动杆是石英杆。
[0011]本技术的有益效果是通过转动杆锥齿轮和托盘锥齿轮的啮合，通过旋转电机带动托盘进行360
°
旋转，同时电机平台可以直线移动，调节托盘容纳腔的位置。
附图说明
[0012]图1是本技术的爆炸示意图；
[0013]图2是本技术中转动杆锥齿轮和托盘锥齿轮啮合示意图；
[0014]图中，1、托盘容纳腔，2、托盘，3、轴承，4、托盘盖板，5、电机平台，6、旋转电机，7、转
动杆，8、滚轮，9、滑块，10、把手，11、导轨。
具体实施方式
[0015]下面结合附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所有其他实施例，都属于本技术的保护范围。
[0016]如图1所示，本技术包括：托盘容纳腔1，所述托盘容纳腔的底部安装有滚轮8；托盘2，所述托盘通过轴承3转动连接在托盘容纳腔内，所述托盘的底部边缘设有托盘锥齿轮；托盘盖板4，所述托盘盖板安装在托盘上；电机平台5，所述电机平台位于托盘容纳腔之外；旋转电机6，所述旋转电机安放在电机平台上；转动杆7，所述转动杆一端与旋转电机传动连接，所述转动杆的另一端从托盘容纳腔侧面伸入并设有转动杆锥齿轮，所述转动杆锥齿轮与托盘锥齿轮啮合。
[0017]托盘容纳腔位于反应腔内，旋转电机、电机平台和转动杆位于反应腔外，为了便于移动托盘容纳腔在反应腔内的位置，所述电机平台底部设有滑块9，所述滑块滑动配合在导轨11内。
[0018]为了便于推动电机平台移动，本技术优选在电机平台安装有把手10。
[0019]为了避免转动杆被反应腔内的高温环境烧毁，优选其材质为石英杆。
[0020]本技术的使用方法如下：推动电机平台，让装载有衬底的托盘容纳腔在反应腔内移动至指定位置，开始反应后，启动旋转电机，旋转电机带动转动杆旋转，转动杆通过转动杆锥齿轮和托盘锥齿轮的啮合带动托盘水平360
°
旋转，使得晶体均匀分布在衬底表面。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.大尺寸可旋转及前后移动的托盘,其特征是：包括：托盘容纳腔（1），所述托盘容纳腔的底部安装有滚轮（8）；托盘（2），所述托盘通过轴承（3）转动连接在托盘容纳腔内，所述托盘的底部边缘设有托盘锥齿轮；托盘盖板（4），所述托盘盖板安装在托盘上；电机平台（5），所述电机平台位于托盘容纳腔之外；旋转电机（6），所述旋转电机安放在电机平台上；转动杆（7），所述转动杆一端与旋转电机传动连接，所述转动杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑小超，姚军勇，孟庆宇，
申请(专利权)人：镓特半导体科技铜陵有限公司，
类型：新型
国别省市：