闸阀制造技术

本发明专利技术得到一种阀板与阀杆的连结部分的紧贴性优异的闸阀。在阀板的上表面以跨越连结孔的孔前表面与连结轴的轴前表面的面对部分的方式配置连结配件，利用连结螺钉固定于连结轴，在连结配件与连结轴的抵接部分形成第一倾斜面与第二倾斜面抵接的第一紧贴机构部，在连结配件与阀板的抵接部分形成第三倾斜面与第四倾斜面抵接的第二紧贴机构部，在阀板的下端部与连结轴的下端部抵接的部分形成第五倾斜面与第六倾斜面抵接的第三紧贴机构部，利用3个紧贴机构部将阀板与连结轴在上下3个部位相互拉近，由此使连结孔的孔前表面与连结轴的轴前表面整面地紧贴。前表面整面地紧贴。前表面整面地紧贴。

【技术实现步骤摘要】
闸阀


[0001]本专利技术涉及闸阀，更详细而言，涉及提高了阀板与阀杆的连结部分的紧贴性的闸阀。

技术介绍

[0002]在半导体处理装置中，在形成于真空腔室的闸门的开闭中使用闸阀。该闸阀构成为，将安装于阀杆的顶端的阀板收容于阀箱内，将该阀箱安装于真空腔室，利用所述阀板对以与所述闸门连通的方式形成于该阀箱的开口进行开闭。此时，通过将安装于所述阀板的密封构件压靠于所述开口的周围的阀座来进行所述开口的封闭。
[0003]在所述闸阀中，随着其使用，所述密封构件由于磨损或龟裂等而逐渐劣化，因此需要在劣化的阶段与新的密封构件进行更换。在该情况下，以往的闸阀需要暂时从真空腔室拆下，因此所述密封构件的更换需要较多的工夫和时间。
[0004]另外，目前，半导体的线宽越来越窄，因此需要减少该处理工序时产生的颗粒(零颗粒为目标)，因此，如何消除在闸阀工作时各部件间的摩擦的产生成为重要的课题。特别是，当在所述阀板与阀杆的连结部分两者未充分紧贴时，在它们之间容易产生摩擦，因此提高所述阀板与阀杆的紧贴性是重要的。
[0005]相对于此，在专利文献1中公开了一种提高阀板与阀杆的连结部分的紧贴性的闸阀。该改良型的闸阀在安装于所述阀板的上表面的连结板和嵌合于所述阀板的安装孔内的阀杆的阀板安装部形成相互抵接的倾斜面，并且在所述阀板的下端部和所述阀板安装部的下端部也形成相互抵接的倾斜面，使所述倾斜面彼此压接，由此利用楔效应使所述阀板与阀板安装部紧贴。
[0006]所述改良型的闸阀与一般的闸阀相比，所述阀板与阀板安装部的紧贴性优异，但通过在所述阀板安装部的对角方向的2个部位形成用于产生楔效应的所述倾斜面，在该2个部位将所述阀板与阀板安装部的相向面彼此相互压靠，因此有时难以使该相向面彼此整面且均等地紧贴，还留有改良的余地。特别是，在所述阀杆的内部设置加热器并利用该加热器对阀板进行加热的类型的闸阀中，需要良好地保持所述阀杆与阀板之间的传热性，因此尽可能地提高该阀杆与阀板的紧贴性是重要的。
[0007]现有技术文献
[0008]专利文献
[0009]专利文献1：日本特开2012
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225468号公报

技术实现思路

[0010]专利技术所要解决的课题
[0011]本专利技术的技术课题在于提供一种进一步提高了阀板与阀杆的连结部分的紧贴性的闸阀。
[0012]用于解决课题的手段
[0013]为了解决所述课题，本专利技术的闸阀具有对阀箱的开口进行开闭的阀板和与该阀板连结的阀杆，所述阀板具有朝向所述开口侧的阀前表面、该阀前表面的相反侧的阀后表面、阀上表面及阀下表面、以及上下贯通该阀板的连结孔，所述阀杆具有插入到所述连结孔的连结轴，所述连结孔具有孔前表面及孔后表面，所述连结轴具有轴前表面及轴后表面，所述孔前表面与所述轴前表面面对，并且所述孔后表面与所述轴后表面面对，在所述阀板的上表面配设有将该阀板与所述阀杆连结的连结配件，通过将连结螺钉穿过该连结配件的螺钉插通孔而与所述连结轴的顶端的螺纹孔螺纹连接，从而该连结配件配置成与所述连结轴的一部分及所述阀板的一部分抵接的状态。
[0014]并且，在所述连结配件与所述连结轴抵接的部分，形成有该连结配件的第一倾斜面与所述连结轴的第二倾斜面抵接的第一紧贴机构部，在该连结配件与所述阀板抵接的部分，形成有该连结配件的第三倾斜面与所述阀板的第四倾斜面抵接的第二紧贴机构部，所述第一紧贴机构部及第二紧贴机构部在通过拧入所述连结螺钉而使所述第一倾斜面与所述第二倾斜面压接并且使所述第三倾斜面与所述第四倾斜面压接时，在所述连结轴的上端部和所述阀板的上端部产生使所述连结轴的轴前表面与所述连结孔的孔前表面相互紧贴的方向的分力。
[0015]另外，在所述阀板的下端部与所述连结轴的所述轴前表面的下端部的突壁部抵接的部分，形成有所述阀板的第五倾斜面与所述连结轴的第六倾斜面抵接的第三紧贴机构部，所述第三紧贴机构部在通过拧入所述连结螺钉而使所述第五倾斜面与所述第六倾斜面压接时，在所述阀板的下端部产生使所述阀孔的孔前表面与所述连结轴的轴前表面紧贴的方向的分力。
[0016]在本专利技术中，所述第一紧贴机构部和所述第二紧贴机构部相对于通过所述螺纹孔的中心的中心轴位于彼此相反侧的位置，所述第一倾斜面及第二倾斜面的倾斜方向与所述第三倾斜面及第四倾斜面的倾斜方向是彼此相反的方向，并且是越趋向上方越逐渐接近所述中心轴的方向。
[0017]所述第一倾斜面及第二倾斜面相对于所述中心轴的倾斜角度小于所述第三倾斜面及第四倾斜面相对于所述中心轴的倾斜角度。
[0018]在本专利技术中，所述连结配件在所述第一紧贴机构部及第二紧贴机构部以外的部分不与所述阀板及阀杆接触。
[0019]另外，所述连结配件以不从该阀板的上表面向上方突出的方式收容在形成于所述阀板的上表面的凹部内。
[0020]在本专利技术中，也可以是，所述第四倾斜面及第五倾斜面形成于固定地安装于所述阀板的第一辅助配件及第二辅助配件，另外，所述第二倾斜面形成于固定于所述阀杆的连结轴的轴辅助配件。
[0021]另外，在本专利技术中，也可以是，在所述阀杆的内部以延伸至所述连结轴的内部的方式形成有加热器孔，在该加热器孔的内部收容有加热器。
[0022]专利技术效果
[0023]根据本专利技术，利用倾斜面彼此抵接的第一～第三紧贴机构部使阀板的连结孔的孔前表面与阀杆的连结轴的轴前表面在所述阀板及连结轴的上下3个部位相互压接，因此能够使所述连结孔的孔前表面与所述连结轴的轴前表面在面对的整个面中可靠地紧贴。
附图说明
[0024]图1是本专利技术的闸阀的主视图。
[0025]图2是将图1的主要部分剖开的放大剖视图。
[0026]图3是示出阀板与阀杆的连结的基本构造的剖视图。
[0027]图4是将阀板与阀杆连结的第一连结构造的立体图。
[0028]图5是图4的分解图。
[0029]图6是沿着图4的VI
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VI线的剖视图。
[0030]图7是沿着图4的VII
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VII线的剖视图。
[0031]图8是沿着图4的VIII
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VIII线的剖视图。
[0032]图9是沿着图4的IX
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IX线的剖视图。
[0033]图10是连结配件的俯视图。
[0034]图11是连结配件的后视图。
[0035]图12是沿着图10的XII
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XII线的剖视图。
[0036]图13是第一辅助配件的俯视图。
[0037]图14是第一辅助配件的后视图。
[0038]图15是沿着图13的XV
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XV线的剖视图。
[0039]图16是第二辅助配件的俯视图。
[0040]图17是第二辅助配件的后视图。
[0041]图18是沿着图16的XVIII
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XVIII线的剖视图。
[0042]图19是将阀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种闸阀，其特征在于，所述闸阀具有对阀箱的开口进行开闭的阀板和与该阀板连结的阀杆，所述阀板具有朝向所述开口侧的阀前表面、该阀前表面的相反侧的阀后表面、阀上表面及阀下表面、以及上下贯通该阀板的连结孔，所述阀杆具有插入到所述连结孔的连结轴，所述连结孔具有孔前表面及孔后表面，所述连结轴具有轴前表面及轴后表面，所述孔前表面与所述轴前表面面对，并且所述孔后表面与所述轴后表面面对，在所述阀板的上表面配设有将该阀板与所述阀杆连结的连结配件，通过将连结螺钉穿过该连结配件的螺钉插通孔而与所述连结轴的顶端的螺纹孔螺纹连接，从而该连结配件配置成与所述连结轴的一部分及所述阀板的一部分抵接的状态，在所述连结配件与所述连结轴抵接的部分，形成有该连结配件的第一倾斜面与所述连结轴的第二倾斜面抵接的第一紧贴机构部，在该连结配件与所述阀板抵接的部分，形成有该连结配件的第三倾斜面与所述阀板的第四倾斜面抵接的第二紧贴机构部，所述第一紧贴机构部及第二紧贴机构部在通过拧入所述连结螺钉而使所述第一倾斜面与所述第二倾斜面压接并且使所述第三倾斜面与所述第四倾斜面压接时，在所述连结轴的上端部和所述阀板的上端部产生使所述连结轴的轴前表面与所述连结孔的孔前表面相互紧贴的方向的分力，在所述阀板的下端部与所述连结轴的所述轴前表面的下端部的突壁部抵接的部分，形成有所述阀板的第五倾斜面与所述连结轴的第六倾...

【专利技术属性】
技术研发人员：越智健，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：